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1
상부에 3차원 입체 구조물이 형성된 질화물 반도체 기판과;
상기 질화물 반도체 기판 상부 및 상기 3차원 입체 구조물에 형성된 발광 구조물로 구성된 발광 소자
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2
청구항 1에 있어서,
상기 3차원 입체 구조물은,
상기 질화물 반도체 기판과 동일 물질로 이루어진 것을 특징으로 하는 발광 소자
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3
청구항 1에 있어서,
상기 3차원 입체 구조물은,
상부의 폭이 하부의 폭보다 작은 것을 특징으로 하는 발광 소자
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4
청구항 1에 있어서,
상기 발광 구조물은,
제 1 극성을 갖는 제 1 반도체층, 활성층과 상기 제 1 극성과 반대의 제 2 극성을 갖는 제 2 반도체층으로 이루어진 LED용 발광 구조물인 것을 특징으로 하는 발광 소자
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5
청구항 1에 있어서,
상기 발광 구조물은,
n-접촉층, n-클래드층, n-광가이드층, 활성층, p-전자턱층, p-광가이드층, p-클래드층과 p-접촉층으로 이루어진 LD용 발광 구조물인 것을 특징으로 하는 발광 소자
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6
청구항 1에 있어서,
상기 발광 구조물은,
활성층을 포함하고 있고,
상기 활성층은 상기 3차원 입체 구조물의 하부에는 두껍게 형성되고, 상기 3차원 입체 구조물의 상부에는 얇게 형성된 것을 특징으로 하는 발광 소자
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7
청구항 1에 있어서,
상기 3차원 입체 구조물은,
상부에서 하부까지 폭이 점차적으로 커지는 것을 특징으로 하는 발광 소자
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8
청구항 1에 있어서,
상기 3차원 입체 구조물의 측면에서 상기 질화물 반도체 기판 상부면까지의 각도(θ)는,
둔각(鈍角)인 것을 특징으로 하는 발광 소자
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9
청구항 1에 있어서,
상기 3차원 입체 구조물은,
상부면이 평탄하고, 상부면의 폭이 하부폭보다 작으며,
상기 3차원 입체 구조물의 측면에 돌출된 복수개의 돌기들이 형성되어 있는 구조로 이루어진 것을 특징으로 하는 발광 소자
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10
청구항 1에 있어서,
상기 3차원 입체 구조물은,
원뿔 형상인 것을 특징으로 하는 발광 소자
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11
질화물 반도체 기판에 레이저를 조사하여 그루빙하여 3차원 입체 구조물을 형성하는 단계와;
상기 3차원 입체 구조물에 발광 소자 구조물을 형성하는 단계를 포함하여 구성된 발광 소자의 제조 방법
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12
청구항 11에 있어서,
상기 질화물 반도체 기판에 레이저를 조사하여 그루빙하는 것은,
상기 질화물 반도체 기판의 복수개의 상부 영역에 레이저로 그루브를 형성하는 것인 것을 특징으로 하는 발광 소자의 제조 방법
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13
청구항 12에 있어서,
상기 그루브는,
삼각형 형상의 수직 단면을 갖는 것을 특징으로 하는 발광 소자의 제조 방법
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14
청구항 11에 있어서,
상기 질화물 반도체 기판에 레이저를 조사하여 그루빙하는 것은,
상기 질화물 반도체 기판의 상부면의 한 점을 기준으로 레이저 그루빙을 회전시켜 수행하는 것을 특징으로 하는 발광 소자의 제조 방법
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15
질화물 반도체 웨이퍼를 준비하는 단계와;
상기 질화물 반도체 웨이퍼 상부에 레이저로 상기 질화물 반도체 웨이퍼를 그루빙하여 상기 질화물 반도체 웨이퍼와 동일 물질로 이루어진 복수개의 3차원 입체 구조물들을 형성하는 단계와;
상기 그루빙된 질화물 반도체 웨이퍼 및 상기 복수개의 3차원 입체 구조물들에 발광 구조물을 형성하는 단계와;
상기 복수개의 3차원 입체 구조물들 각각이 포함되는 소자 영역을 절단하여, 낱개의 발광 소자들로 분리시키는 단계를 포함하여 구성된 발광 소자의 제조 방법
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