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감광성 폴리이미드계 중합체, 및 이를 포함하는 포지티브형감광성 수지 조성물

  • 기술번호 : KST2015056697
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요약 본 발명은 폴리이미드계 중합체 및 이를 바인더 수지로 포함하는 포지티브형 감광성 수지 조성물에 관한 것으로서, 본 발명의 감광성 수지 조성물은 반도체 버퍼 코팅(buffer coating)의 요구 특성인 고해상도, 고감도, 우수한 필름 특성 및 기계적 물성을 나타내는 효과가 있다.감광성, 포토레지스트, 폴리이미드, 폴리아믹산, i-선, 고해상도, 고감도
Int. CL C08G 73/10 (2006.01) C08L 79/08 (2006.01) G03F 7/004 (2006.01)
CPC C08G 73/101(2013.01) C08G 73/101(2013.01) C08G 73/101(2013.01) C08G 73/101(2013.01) C08G 73/101(2013.01) C08G 73/101(2013.01) C08G 73/101(2013.01)
출원번호/일자 1020090020367 (2009.03.10)
출원인 주식회사 엘지화학
등록번호/일자 10-1179116-0000 (2012.08.28)
공개번호/일자 10-2010-0101924 (2010.09.20) 문서열기
공고번호/일자 (20120907) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.07.14)
심사청구항수 8

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 주식회사 엘지화학 대한민국 서울특별시 영등포구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김상우 대한민국 대전광역시 유성구
2 박찬효 대한민국 대전광역시 유성구
3 신세진 대한민국 대전광역시 유성구
4 김경준 대한민국 대전광역시 유성구
5 성혜란 대한민국 대전광역시 유성구
6 오동현 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김희곤 대한민국 대전시 유성구 문지로 ***-*(문지동) *동(웰쳐국제특허법률사무소)
2 김인한 대한민국 서울특별시 서초구 사임당로 **, **층 (서초동, 신영빌딩)(특허법인세원)
3 박용순 대한민국 서울특별시 송파구 법원로*길 **, **층 D-****호(문정동)(주심국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 주식회사 엘지화학 서울특별시 영등포구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2009.03.10 수리 (Accepted) 1-1-2009-0145426-61
2 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2010.07.14 수리 (Accepted) 1-1-2010-0453669-53
3 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2012.02.02 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0066584-19
4 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2012.04.02 수리 (Accepted) 1-1-2012-0262312-14
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2012.04.02 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-0262313-60
6 등록결정서
Decision to grant
2012.08.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0488474-82
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.01.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-5000389-31
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.12.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-5161532-51
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.11.12 수리 (Accepted) 4-1-2018-5227604-80
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.12.19 수리 (Accepted) 4-1-2018-5261818-30
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.08.19 수리 (Accepted) 4-1-2019-5164284-96
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
다음 화학식 1로 표시되는 감광성 폴리이미드계 중합체:화학식 1상기 화학식 1에서, Z는 각각 1~100몰%의 5-(2,5-디케토테트라하이드로푸란-3-일)-3-메틸-3-사이클로헥센-1,2-디카르복실릭 언하이드라이드를 포함하는 테트라카르복실산 및 그 유도체를 구성하는 4가의 유기기이고, 반복단위 a는 1 내지 150이며; b는 1 내지 400이며; Y1, Y2는 각각 디아민을 구성하는 2가의 유기기로서, Y1은 , , ,및 중에서 선택된 것이고, Y2는 2가의 지방족 또는 방향족 유기기로서 p-페닐렌디아민, m-페닐렌디아민, 2,4,6-트리메틸-1,3-페닐렌디아민, 2,3,5,6-테트라메틸-1,4-페닐렌디아민, 4,4''-디아미노디페닐에테르, 3,4''-디아미노디페닐에테르, 3,3''-디아미노디페닐에테르, 4,4''-디아미노디페닐설피드, 4,4''-디아미노디페닐메탄, 3,4''-디아미노디페닐메탄, 3,3''-디아미노디페닐메탄, 4,4''-메틸렌-비스(2-메틸아닐린), 4,4''-메틸렌-비스(2,6-디메틸아닐린), 4,4''-메틸렌-비스(2,6-디에틸아닐린), 4,4''-메틸렌-비스(2-이소프로필-6-메틸아닐린), 4,4''-메틸렌-비스(2,6-디이소프로필아닐린), 4,4''-디아미노디페닐술폰, 3,3''-디아미노디페닐술폰, 벤지딘, o-톨리딘, m-톨리딘, 3,3'',5,5''-테트라메틸벤지딘, 2,2''-비스(트리플루오로메틸)벤지딘, 1,4-비스(4-아미노페녹시)벤젠, 1,3-비스(4-아미노페녹시)벤젠, 1,3-비스(3-아미노페녹시)벤젠, 비스[4-(4-아미노페녹시)페닐]술폰, 비스[4-(3-아미노페녹시)페닐]술폰, 2,2-비스[4-(4-아미노페녹시)페닐]프로판, 및 2,2-비스[4-(3-아미노페녹시)페닐]프로판으로 이루어진 그룹으로부터 선택된 1종 이상의 방향족 디아민; 1,6-헥산디아민, 1,4-시클로헥산디아민, 1,3-시클로헥산디아민, 1,4-비스(아미노메틸)시클로헥산, 1,3-비스(아미노메틸)시클로헥산, 4,4''-디아미노디시클로헥실메탄, 및 4,4''-디아미노-3,3''-디메틸디시클로헥실메탄으로 이루어진 그룹으로부터 선택된 1종 이상의 지방족 디아민 중에서 선택된 1종 이상의 혼합물이다
2 2
제 1항에 있어서, 상기 폴리이미드계 중합체는 i-선 파장에서의 투과율이 70% 이상인 것을 특징으로 하는 감광성 폴리이미드계 중합체
3 3
제 1항에 있어서, 상기 폴리이미드계 중합체는 중량평균분자량 1000 내지 100,000, 유리전이온도 200 내지 400℃인 것을 특징으로 하는 감광성 폴리이미드계 중합체
4 4
청구항 1항에 따른 상기 화학식 1로 표시되는 폴리이미드계 중합체를 바인더 수지로 포함하고; 여기에 o-퀴논디아지드 화합물, 알릴디아조늄염, 디알릴요오드늄염, 트리알릴술포늄염, o-니트로벤질에스테르, p-니트로벤질에스테르, 트리할로메틸기 치환 s-트리아진 유도체, 이미드술포네이트 유도체로 이루어진 그룹으로부터 선택된 1종 이상으로 구성된 광활성 화합물; 및 N,N-디메틸포름아미드, N,N-디메틸아세트아미드, N-메틸피롤리돈, N-비닐피롤리돈, N-메틸카프로락탐, 디메틸술폭시드, 테트라메틸요소, 피리딘, 디메틸술폰, 헥사메틸술폭시드, m-크레졸, γ-부티로락톤, 에틸셀로솔브, 부틸셀로솔브, 에틸카르비톨, 부틸카르비톨, 에틸카르비톨 아세테이트, 부틸카르비톨 아세테이트, 에틸렌글리콜, 젖산에틸, 젖산부틸, 시클로헥사논, 및 시클로펜타논으로 이루어진 그룹으로부터 선택된 1종 이상으로 구성된 용매를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 포지티브형 감광성 수지 조성물
5 5
제 4항에 있어서, 상기 바인더 수지는 다음 화학식 2로 표시되는 폴리아믹산을 전체 바인더 수지 중 1 내지 70중량부로 포함함을 특징으로 하는 포지티브형 감광성 수지 조성물
6 6
제 5항에 있어서, 상기 화학식 2로 표시되는 폴리아믹산은 신장률(elongation)이 40% 이상 130% 이하인 것을 특징으로 하는 포지티브형 감광성 수지 조성물
7 7
제 4항에 있어서, 상기 포지티브형 감광성 수지 조성물은 바인더 수지 100중량부에 대하여 광활성 화합물 1 내지 50중량부, 및 용매 30내지 90중량부로 포함되는 것을 특징으로 하는 포지티브형 감광성 수지 조성물
8 8
제 4항에 있어서, 상기 광활성 화합물은 다음 화학식에서 선택된 1종 이상의 화합물을 포함하는 것을 특징으로 하는 포지티브형 감광성 수지 조성물
9 9
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