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(a) 광중합성 관능기를 갖는 실리콘 수지 100 중량부,(b) 에틸렌성 불포화 결합을 가지는 다관능성 모노머 10 내지 100 중량부,(c) 광개시제 0
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제1항에 있어서, 상기 머켑토 관능기를 포함한 단량체는 하기 화학식 3으로 표시되는 화합물 중에서 선택된 1종 이상인 것인 감광성 실리콘 수지 조성물:[화학식 3]상기 화학식 3에서,R4은 직쇄 또는 분지쇄 탄소수 1 내지 12의 알킬기, 탄소수 3 내지 8의 시클로알킬기이고;Z는 트리알콕시실란기, 트리할라이드실란기, 에폭시기, 옥세탄기, 카르복실산기, 알코올기, 이소시아네이트기, 메타아크릴기, 아크릴기, 비닐기, 벤젠, 나프탈렌, 또는 안트라센이다
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제1항에 있어서, 상기 실리콘 수지는 광중합성 관능기를 갖는 하기 화학식 1로 표시되는 1종 이상의 단량체로부터 중합된 것인 감광성 실리콘 수지 조성물:[화학식 1]R1kR2lSiX4-k-l상기 화학식 1에서,R1은 불포화 결합을 1개 이상 가지는 탄소수 2 내지 30의 유기기를 나타내고,R2는 수소, 불소, C1 내지 C10의 직쇄 또는 분지쇄 알킬기, C3 내지 C10의 시클로알킬기, 또는 C6 내지 C15의 아릴기를 나타내며,X는 가수분해성기 또는 하이드록시기를 나타내고,k는 1 내지 3의 정수이며, l은 0 내지 2의 정수이고, 1≤k+l≤3이다
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제1항에 있어서, 상기 실리콘 수지는 광중합성 관능기를 갖는 하기 화학식 1로 표시되는 1종 이상의 단량체와 화학식 2을 갖는 단량체로부터 제조된 공중합체인 감광성 실리콘 수지 조성물:[화학식 1]R1kR2lSiX4-k-l상기 화학식 1에서,R1은 불포화 결합을 1개 이상 가지는 탄소수 2 내지 30의 유기기를 나타내고,R2는 수소, 불소, C1 내지 C10의 직쇄 또는 분지쇄 알킬기, C3 내지 C10의 시클로알킬기, 또는 C6 내지 C15의 아릴기를 나타내며,X는 가수분해성기 또는 하이드록시기를 나타내고,k는 1 내지 3의 정수이며, l은 0 내지 2의 정수이고, 1≤k+l≤3이며; 및 [화학식 2]R3mSiY4-m상기 화학식 2에서,R3은 각각 독립적으로 수소, 불소, 또는 탄소수 1 내지 15의 유기기이고,Y는 가수분해성기 또는 하이드록시기이고,m은 0 내지 2의 정수이다
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제1항 내지 제2항, 및 제4항 내지 제5항중 어느 한항에 있어서, 상기 광중합성 관능기는 메타아크릴기, 아크릴기, 또는 비닐기인 감광성 실리콘 수지 조성물
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제4항 또는 제5항에 있어서, 상기 가수분해성기는 염소, C1 내지 C10의 알콕시기, 또는 아세톡시기인, 감광성 수지 조성물
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제4항 또는 제5항에 있어서, 상기 화학식 1의 R1로 표시되는 광중합성 관능기의 몰수는, 실리콘 수지 내 실리콘 총 원자몰수에 대해 0
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제5항에 있어서, 상기 광중합성 관능기를 갖는 실리콘 수지는 상기 화학식 1의 k+l이 2 또는 3인 화합물과 화학식 2의 m이 2인 화합물의 총 함량이, 공중합된 광중합성 관능기를 갖는 실리콘 수지에 사용되는 화합물의 총 함량에 대해 10 몰%내지 40 몰%이고,또한 상기 화학식 2의 m이 0인 화합물의 함량이 공중합된 광중합성 관능기를 갖는 실리콘 수지에 사용되는 화합물 총 함량에 대해 5 몰% 내지 70 몰% 인 것인 감광성 실리콘 수지 조성물
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제1항에 있어서, 상기 실리콘 수지는 중량평균분자량(Mw)이 500 내지 10,000인 감광성 실리콘 수지 조성물
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제 1항에 있어서, 상기 에틸렌성 불포화 결합을 갖는 다관능성 단량체는 다가 알코올을 α,β-불포화 카르복실산에 에스테르화하여 얻어지는 화합물, 글리시딜기를 함유하는 화합물에 아크릴산 또는 메타아크릴산을 부가하여 얻어지는 화합물, 수산화기 또는 에틸렌성 불포화 결합을 갖는 화합물과 다가 카르복실산과의 에스테르화하여 얻어진 화합물, 및 수산화기 또는 에틸렌성 불포화 결합을 갖는 화합물과 다가 폴리이소시아네이트와의 부가물로 이루어지는 군에서 선택되는 1종 이상이며,상기 다가 알코올은 에틸렌글리콜디아크릴레이트, 에틸렌글리콜디메타아크릴레이트, 에틸렌기의 수가 2 내지 14인 폴리에틸렌글리콜 디아크릴레이트, 폴리에틸렌글리콜 디메타아크릴레이트, 트리메틸올프로판트리아크릴레이트, 트리메틸올프로판 트리메타아크릴레이트, 펜타에리스리톨트리아크릴레이트, 펜타에리스리톨 트리메타아크릴레이트, 펜타에리스리톨테트라아크릴레이트, 펜타에리스리톨 테트라메타아크릴레이트, 프로필렌기의 수가 2 내지 14인 프로필렌글리콜디아크릴레이트, 프로필렌글리콜디메타아크릴레이트, 디펜타에리스리톨펜타아크릴레이트, 디펜타에리스리톨펜타메타아크릴레이트, 디펜타에리스리톨헥사아크릴레이트, 또는 디펜타에리스리톨헥사메타아크릴레이트이고,상기 글리시딜기를 함유하는 화합물은 트리메틸올프로판 트리글리시딜에테르아크릴산 부가물, 또는 비스페놀 A 디글리시딜에테르아크릴산 부가물이고,상기 수산화기 또는 에틸렌성 불포화 결합을 갖는 화합물는 β-히드록시에틸아크릴레이트 또는 β-히드록시에틸메타크릴레이트의 프탈산에스테르인,감광성 실리콘 수지 조성물
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제 11항에 있어서, 상기 에틸렌성 불포화 결합을 갖는 다관능성 단량체는 에틸렌성 불포화 결합을 갖는 관능기수가 2 이상인 것을 특징으로 하는 감광성 실리콘 수지 조성물
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제1항에 있어서, 상기 광개시제는 아세토페논류, 벤조페논류, 미히라(Michler) 벤조일벤조에이트, 옥심에스테르류, 티옥산톤류 및 트리아진류로 이루어진 군으로부터 선택된 1종 이상인 감광성 실리콘 수지 조성물
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제 1항에 있어서, 상기 유기용매는 메탄올, 에탄올, n-프로파놀, 이소프로판올, 에틸렌글리콜, 프로필렌글리콜, 아세톤, 메틸에틸케톤, 시클로헥사논, n-메틸-2-피롤리돈, 톨루엔, 크실렌, 테트라메틸벤젠, 셀로솔브, 메틸셀로솔브, 에틸셀로솔브, 3-메톡프로필아세테이트, 프로필렌글리콜 모노메틸에테르, 프로필렌글리콜에틸에테르, 디프로필렌 글리콜모노메틸에테르, 디프로필렌글리콜에틸에테르, 에틸아세테이트, 부틸아세테이트, 셀로솔브아세테이트, 에틸셀로솔브아세테이트, 부틸셀로솔브아세테이트, 프로필렌글리콜 모노메틸에테르아세테이트, 프로필렌글리콜에틸에테르아세테이트, N,N-다이메틸아세타아마이드, N,N-다이메틸포름아마이드, 및 아세토나이트라로 이루어지는 군에서 선택되는 1종 이상인 감광성 실리콘 수지 조성물
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제1항에 있어서, 상기 조성물은 습윤제, 열경화보조제 또는 저장안정제를 추가로 포함하는 것인 감광성 실리콘 수지 조성물
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제1항에 있어서, 상기 조성물의 전 고형분 농도는 1 내지 60 중량%인 것인 감광성 실리콘 수지 조성물
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제1항에 따른 감광성 실리콘 수지 조성물로부터 제조된 경화막
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제19항에 있어서, 상기 감광성 실리콘 수지 조성물을 기재위에 도포하고, 프리베이크 및 노광하여 제조된 경화막상에, 패턴형성용 포토마스크를 이용하여 노광한 후 현상하여 제조되는 패턴화된 것인 경화막
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제1항에 따른 감광성 실리콘 수지 조성물로부터 제조된 경화막을 포함하는 반도체 소자
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제1항에 따른 감광성 실리콘 수지 조성물로부터 제조된 경화막을 포함하는 디스플레이 장치의 소자
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제 22항에 있어서, 상기 디스플레이 장치가 액정표시장치이고, 상기 경화막이 드레인 전극과 게이트 전극사이에 배치되는 Passivation막인 디스플레이 장치의 소자
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