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도포 물질을 도포할 기판이 투입되면 제1 방향으로 이동됨으로써 상기 기판의 측면 일부를 덮는 한 쌍의 서포트 바;상기 도포 물질을 상기 기판에 분사하는 노즐 헤드가 장착되는 것으로, 상기 제1 방향에 수직한 제2 방향을 따라 이동되는 노즐 헤드 아암;상기 기판상에 이격되며 상기 제2 방향을 따라 상기 기판의 일단부로부터 타단부로 이동됨으로써 상기 도포 물질을 도포하는 바형 코터;상기 기판의 타단부에 마련되며 상기 바형 코터로 밀려지는 상기 도포 물질을 회수하는 회수 바; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 도포 장치
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제1항에 있어서,상기 회수 바는, 상기 이동되는 바형 코터가 타고 올라오는 경사면과, 상기 도포 물질을 회수하는 회수 홈을 구비하는 것을 특징으로 하는 도포 장치
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제1항에 있어서,상기 서포트 바를 세정하는 세정 수단; 을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 도포 장치
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제1항, 제2항 및 제4항 중 어느 한 항에 있어서,상기 한 쌍의 서포트 바, 상기 회수 바 및 상기 바형 코터가 상기 기판의 안쪽에서 상기 기판상에 밀착됨으로써 도포 예정 영역을 형성하며, 상기 바형 코터의 앞쪽에 상기 도포 물질이 분사되면 상기 바형 코터가 도포 두께만큼 상승된 후 상기 바형 코터가 상기 기판의 일단부로부터 타단부로 이동하면서 상기 도포 예정 영역 전체에 걸쳐 상기 도포 물질을 균일한 두께로 도포하는 것을 특징으로 하는 도포 장치
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기판을 준비하는 단계;노즐 헤드로 도포 물질을 분사하여 상기 기판상에 소정 패턴을 형성하는 단계;바형 코터를 이용하여 상기 소정 패턴을 상기 기판 전면(全面)에 균일한 두께로 도포하는 단계;를 포함하며,한 쌍의 서포트 바, 회수 바 및 상기 바형 코터가 상기 기판의 안쪽에서 상기 기판상에 밀착됨으로써 에지부를 모서리로 하는 도포 예정 영역을 형성하며, 상기 바형 코터의 앞쪽에 상기 도포 물질이 분사되면 상기 바형 코터가 도포 두께만큼 상승한 후 상기 바형 코터가 상기 기판의 일단부로부터 타단부로 이동하면서 상기 도포 예정 영역 전체에 걸쳐 상기 도포 물질을 균일한 두께로 도포하는 것을 특징으로 하는 도포 방법
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기판상에 도포 물질을 도포하여 평판 디스플레이 장치를 제조하는 방법에 있어서,도포 물질이 도포될 기판 안쪽의 에지부까지 한 쌍의 서포트 바를 진입시키고,상기 한 쌍의 서포트 바 사이로 바형 코터를 상기 기판의 일단부로부터 타단부로 이동시킴으로써 상기 도포 물질을 균일한 두께로 도포하며,상기 기판의 타단부에 회수 바를 대기시켜 상기 바형 코터로 밀려진 상기 도포 물질을 회수하는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 장치의 제조 방법
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제12항에 있어서,상기 바형 코터는 상기 회수 바의 경사면을 타고 올라가면서 상기 회수 바에 마련된 회수 홈에 상기 도포 물질을 밀어넣는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 장치의 제조 방법
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제12항 또는 제13항에 있어서,상기 한 쌍의 서포트 바, 상기 회수 바 및 상기 바형 코터가 상기 기판의 안쪽에서 상기 기판상에 밀착됨으로써 상기 에지부를 모서리로 하는 도포 예정 영역을 형성하며, 상기 바형 코터의 앞쪽에 상기 도포 물질이 분사되면 상기 바형 코터가 도포 두께만큼 상승한 후 상기 바형 코터가 상기 기판의 일단부로부터 타단부로 이동하면서 상기 도포 예정 영역 전체에 걸쳐 상기 도포 물질을 균일한 두께로 도포하는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 장치의 제조 방법
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