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기판상에 형성되는 블랙매트릭스 영역과 일부가 중첩되며, 상기 중첩되는 부분에 돌출영역을 구비하는 구조를 가지는 칼라필터의 제조에 사용되는 칼라필터용 포토마스크에 있어서,
상기 칼라필터의 돌출영역의 수평 폭(w1)에 대응되는 투과율조절부가 적어도 1 이상 구비되며,
개개의 상기 투과율조절부의 투과율은 대응되는 칼라필터의 돌출영역의 돌출높이에 따라 변동되도록 조절되어, 투과율이 서로 다른 변동영역이 적어도 2 이상 포함되도록 형성되며,
상기 투과율조절부는 반투과물질로 형성되거나 슬릿을 구비한 광학패턴부로 구성되거나, 또는 이 둘의 조합으로 형성되는 칼라필터용 포토마스크
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청구항 1에 있어서, 상기 변동영역은,
상기 돌출영역의 최대 높이에서는 최소투과율, 최소높이에서는 최대투과율을 구비하도록 형성되는 칼라필터용 포토마스크
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5
청구항 4에 있어서,
상기 투과율조절부의 수평 폭(w2)은 상기 돌출영역의 수평 폭(w1) 이하로 형성되는 것을 특징으로 하는 칼라필터용 포토마스크
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6
청구항 4에 있어서,
상기 투과율조절부의 투과율을 5 ~80%의 범위에서 조절되는 것을 특징으로 하는 칼라필터용 포토마스크
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7
청구항 4에 있어서,
상기 투과율 조절부는 Cr, Si, Mo, Ta, Ti, Al을 주원소로 하여, 상기 주원소 물질 또는 상기 주원소들 중 적어도 두 개 이상이 혼합된 복합 물질이거나, 상기 주원소 또는 복합물질에 C0x, Ox, Nx 중 적어도 하나가 첨가된 물질로 이루어지는 것을 특징으로 하는 칼라필터용 포토마스크
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8
블랙매트릭스 영역에 형성되는 R, G, B 칼라필터의 돌출영역을 구비한 LCD 용 칼라필터에,
상기 돌출영역에 대응되는 수평 폭(w1)의 투과율조절부를 구비한 청구항 1, 청구항 4 내지 7 중 어느 한항의 포토마스크를 이용하여 현상/노광함으로써,
상기 블랙매트릭스 상면에 형성된 칼라필터 돌출영역의 돌출부 높이(h3')는 칼라필터의 평탄부위 높이(h1')의 10~80%로 형성하는 칼라필터용 포토마스크의 사용방법
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청구항 8의 포토마스크의 사용방법에 의해 제조된 R, G, B 칼라필터의 돌출영역이 보상된 구조의 칼라필터
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