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기판상에 블랙매트릭스 패턴 및 적어도 1 이상의 칼라필터를 형성하고,
상기 칼라필터 상에 메인스페이서 및 보조스페이서를 형성하며,
상기 보조스페이서의 중심영역과 외곽영역에 대응되는 투과율조절부를 구비한 포토마스크에 의해 노광 현상하여 형성하되,
상기 투과율조절부는 투과부 또는 반투과부로 구성되는 투과율이 서로 다른 변동영역이 적어도 2 이상 포함되도록 형성되며,
상기 투과율조절부는 반투과물질로 형성되거나 다수의 광학패턴부로 구성되거나, 또는 이 둘의 조합으로 형성되는 칼라필터기판의 제조방법
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청구항 1에 있어서, 상기 투과율조절부는,
상기 보조스페이서의 중심영역(X)에 대응되는 제1투과율변동부;
상기 보조스페이서의 외곽영역(Y)에 대응되는 제2투과율변동부; 로 형성하여
상기 외곽영역의 테이퍼앵글(Z)을 예각 또는 둔각으로 형성하는 것을 특징으로 하는 칼라필터 기판의 제조방법
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청구항 2에 있어서,
상기 제1 및 제2투과율변동부는 반투과물질을 이용하여 투과율을 조절하는 것을 특징으로 하는 칼라필터기판의 제조방법
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4
청구항 3에 있어서,
상기 투과율 조절부를구성하는 반투과 물질은 Cr, Si, Mo, Ta, Ti, Al을 주원소로 하여, 상기 주원소 물질 또는 상기 주원소들 중 적어도 두개 이상이 혼합된 복합 물질이거나, 상기 주원소 또는 복합물질에 C0x, Ox, Nx 중 적어도 하나가 첨가된 물질을 이용하여 형성되는 것을 특징으로 하는 칼라필터기판의 제조방법
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5
청구항 2에 있어서,
상기 제2투과율변동부의 투과율이 제1투과율변동부의 투과율보다 높은 포토마스크를 이용하는 것을 특징으로 하는 칼라필터 기판의 제조방법
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6
청구항 1 내지 5 중 어느 한 항에 있어서,
상기 메인 및 보조스페이서는 폴리 이미드 재질로 형성되는 것을 특징으로 하는 칼라필터 기판의 제조방법
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7
기판상에 블랙매트릭스영역 및 상기 블랙매트릭스 영역에 형성되는 칼라필터를 구비하며,
상기 칼라필터가 형성된 영역의 적어도 1 이상의 영역에 메인스페이서 및 보조스페이서를 구비하되,
상기 보조스페이서는 중심영역과 외각영역의 테이퍼앵글(Z)이 예각 또는 둔각으로 형성되도록 청구항 1 내지 5 중 어느 한 항의 제조방법에 의해 구현되는 것을 특징으로 하는 칼라필터 기판
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8
청구항 7에 있어서,
상기 보조스페이서의 테이퍼 각(Z)은 45~135도로 형성되는 것을 특징으로 하는 칼라필터 기판
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9
청구항 7에 있어서,
상기 보조스페이서는 컬럼스페이서(column spacer)로 형성되되,
상부 지름과 하부지름의 비율이 1:0
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10
청구항 7 내지 9 중 어느 한 항에 있어서,
상기 메인 및 보조스페이서는 폴리 이미드 재질로 형성되는 것을 특징으로 하는 칼라필터 기판
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