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기판상에 블랙매트릭스 패턴을 형성하는 1 단계;
상기 블랙매트릭스 패턴 상에 칼라필터의 돌출영역의 수평 폭(w1)에 대응되는 투과율조절부를 구비한 하프톤마스크를 이용하여 상기 칼라필터의 돌출영역을 제거하는 2 단계;를 포함하되,
상기 투과율조절부의 수평 폭(w2)은 상기 칼라필터의 돌출영역의 수평 폭(w1) 이하로 형성되며,
상기 2단계의 상기 투과율조절부는,
Cr, Si, Mo, Ta, Ti, Al을 주원소로 하여, 상기 주원소 물질 또는 상기 주원소들 중 적어도 두 개 이상이 혼합된 복합 물질이거나, 상기 주원소 또는 복합물질에 C0x, Ox, Nx 중 적어도 하나가 첨가된 물질로 이루어지는 것을 특징으로 하는 칼라필터의 제조방법
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청구항 1에 있어서,
상기 투과율조절부를 반투과물질층으로 구현하고, 상기 반투과물질층에 광투과슬릿을 더 형성하여 투과율을 조절하는 것을 특징으로 하는 칼라필터의 제조방법
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청구항 2에 있어서,
상기 블랙매트릭스 상면에 형성된 칼라필터 돌출영역의 돌출부 높이(h3')는 칼라필터의 평탄부위 높이(h1')의 10~80%로 형성하는 것을 특징으로 하는 칼라필터의 제조방법
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청구항 3에 있어서,
상기 투과율 조절부는 중심부의 투과율보다 외곽부의 투과율이 높은 것을 특징으로 하는 칼라필터의 제조방법
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청구항 5에 있어서,
상기 2단계의 상기 투과율조절부의 투과율을 5 ~ 80 %인 것을 특징으로 하는 칼라필터의 제조방법
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8
기판상에 형성되는 블랙매트릭스 패턴;
상기 블랙매트릭스가 구획하는 셀 영역에 각각 형성되는 R, G, B의 칼라필터를 포함하되,
상기 각각의 칼라필터의 돌출높이(H')는 h1'=H'=(h1'+h2') 의 범위로 형성되며,
상기 블랙매트릭스 상면에 형성된 칼라필터 돌출영역의 돌출부 높이(h3')는 칼라필터의 평탄부위 높이(h1')의 10~80%로 형성되는, 칼라필터기판
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박막트랜지스터 어레이 기판 및 청구항 8의 칼라필터 기판 사이에 액정 층을 포함하여 형성되는 액정표시소자
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