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a) 경화도 99% 이상인 기본 수지 및 상기 기본 수지보다 경화도가 낮으며 경화도가 99% 미만인 연질의 중합체 입자를 포함하는 중합체 수지 시트를 제조하는 단계; 및b) 상기 중합체 수지 시트 내로 초임계 유체를 주입하고 발포시켜 상기 중합체 수지 시트 내에 기공을 형성하는 단계로서, b1) 상기 중합체 수지 시트 내에서 상기 초임계 유체가 상기 기본 수지보다 경화도가 낮은 연질의 중합체 입자의 주변으로 확산되는 단계; 및 b2) 상기 초임계 유체의 발포 시 상기 중합체 입자가 파열되면서 기공이 형성되는 단계를 포함하는 단계를 포함하는 다공성 시트의 제조방법
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청구항 1에 있어서, 상기 a) 단계의 기본 수지는, 열가소성 폴리우레탄, 열가소성 엘라스토머, 폴리올레핀, 폴리카보네이트, 폴리비닐알콜, 나일론, 엘라스토머성 고무, 스티렌계 공중합체, 폴리방향족, 플루오르중합체, 폴리이미드, 가교결합된 폴리우레탄, 가교결합된 폴리올레핀, 폴리에테르, 폴리에스테르, 폴리아크릴레이트, 엘라스토머성 폴리에틸렌, 폴리테트라플루오르에틸렌, 폴리에틸렌테라프탈레이트, 폴리아릴렌, 폴리스티렌, 폴리메틸메타크릴레이트, 이들의 공중합체 및 블록 공중합체, 및 이들의 블렌드로 이루어진 군에서 선택되는 1종 이상을 포함하는 것인 다공성 시트의 제조방법
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청구항 1에 있어서, 상기 a) 단계의 중합체 입자는, 폴리우레탄, 폴리스티렌, 폴리아미드, 폴리메틸메타크릴레이트(PMMA), 폴리페놀, 폴리에틸렌, 멜라민 수지, 에폭시 수지, 폴리페놀, 폴리비닐알콜, 폴리비닐피롤리돈, 폴리아크릴 산, 폴리에틸렌글리콜, 셀룰로오스 및 일부 가수 분해된 폴리아크릴산에스테르 중에서 선택된 1종 이상을 포함하는 것인 다공성 시트의 제조방법
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청구항 1에 있어서, 상기 a) 단계의 중합체 수지 시트에서, 상기 중합체 입자의 함량은 20 내지 40 중량%인 것인 다공성 시트의 제조방법
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청구항 1에 있어서, 상기 a) 단계의 중합체 수지 시트에서, 상기 중합체 입자의 밀도는 1 내지 1
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청구항 1에 있어서, 상기 a) 단계의 중합체 입자는 입경이 20 내지 50 ㎛인 것인 다공성 시트의 제조방법
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청구항 1에 있어서, 상기 a) 단계는, a1) 상기 중합체 입자를 상기 기본 수지 용액에 혼합시키는 단계; 및 a2) 상기 a1) 단계에서 혼합된 혼합물을 경화시키는 단계를 포함하는 것인 다공성 시트의 제조방법
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청구항 7에 있어서, 상기 a1) 단계는 상기 기본수지 및 기본수지 100 중량%에 대하여 중합체 입자 20 내지 40 중량%를 반응기에 투입하고, 30 내지 60 ℃의 온도에서 교반하여 수행하는 것인 다공성 시트의 제조방법
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청구항 7에 있어서, 상기 a1) 단계에서는, 디아민계 경화제 및 디올계 경화제 중에서 선택된 1종 이상의 경화제를 더 첨가하는 것인 다공성 시트의 제조방법
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청구항 7에 있어서, 상기 a2) 단계에서 경화는 상기 a1) 단계에서 제조된 혼합물을 몰드에 주입한 후 50 내지 150 ℃에서, 12 내지 24 시간 동안 열경화하는 것인 다공성 시트의 제조방법
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청구항 1에 있어서, 상기 b) 단계의 초임계 유체는 초임계이산화탄소, 초임계이소부탄, 초임계부탄, 초임계프로판 및 초임계펜탄 중에서 선택된 1종 이상을 포함하는 것인 다공성 시트의 제조방법
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청구항 1에 있어서, 상기 b) 단계에서 상기 중합체 수지 시트 내부로의 상기 초임계 유체 주입은 100 내지 200 bar의 압력조건 및 40 내지 60 ℃의 온도조건에서 수행되는 것인 다공성 시트의 제조방법
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청구항 1에 있어서, 상기 b) 단계에서 발포는 100 내지 250 bar의 압력조건 및 30 내지 100 ℃의 온도조건에서 수행되는 것인 다공성 시트의 제조방법
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청구항 1에 있어서, 상기 b) 단계에서 상기 중합체 수지 시트에 형성된 기공의 크기는 20 내지 50 ㎛인 것인 다공성 시트의 제조방법
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청구항 1에 있어서, 상기 b) 단계에서 상기 중합체 수지 시트에 형성된 기공 밀도는 0
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16
청구항 1에 있어서, 상기 b) 단계에서 상기 기공이 형성된 상기 중합체 수지 시트는 공극율이 0 초과 내지 35%인 것인 다공성 시트의 제조방법
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17
청구항 1 내지 16 중 어느 한 항에 따른 다공성 시트의 제조방법에 의해 제조된 다공성 시트
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청구항 17에 따른 다공성 시트를 포함하는 연마 패드
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청구항 1에 있어서, 상기 a) 단계의 중합체 입자는 경화도가 97% 이하 내지 50% 이상인 다공성 시트의 제조방법
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청구항 1에 있어서, 상기 b) 단계의 초임계 유체는 압력 5 내지 40 MPa 및 온도 100 내지 300 ℃를 적용하여 생성된 것인 다공성 시트의 제조방법
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청구항 1에 있어서, 상기 b) 단계에서 초임계 유체는 100 bar, 40 ℃ 조건 하에서 2 시간 동안 주입하고, 상기 초임계 유체 주입후 1 시간 경과한 다음 0 psi로 감압을 통하여 중합체 입자에서의 발포를 유도하는 다공성 시트의 제조방법
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청구항 17에 있어서, 비중이 0
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청구항 17에 있어서, 경도(hardness)가 shore D 40 내지 50인 다공성 시트
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