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기판 상에 서로 이격되어 배치된 복수개의 후면전극 패턴;
상기 후면전극 패턴 상에 형성되어 후면전극 패턴의 일부가 노출되도록 콘택패턴 및 제1분리패턴이 동시에 형성된 광 흡수층; 및
상기 광 흡수층 상에 상기 제1분리패턴과 연결된 제2분리패턴이 형성된 전면전극을 포함하고,
상기 콘택패턴 및 분리패턴의 측벽은 경사진 것을 포함하는 태양전지
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제 1항에 있어서,
상기 콘택패턴의 상부의 폭은 상기 전면전극과 접하는 상기 콘택패턴의 하부의 폭보다 넓게 형성되고,
상기 제1분리패턴의 상부의 폭은 상기 제1분리패턴의 하부의 폭보다 넓게 형성된 것을 포함하는 태양전지
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제 1항에 있어서,
상기 콘택패턴 내부에서, 상기 후면전극 패턴의 표면의 연장선과 상기 광 흡수층의 측벽에 의한 연장선이 이루는 각은 91~120°로 형성된 것을 포함하는 태양전지
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제 1항에 있어서,
상기 제1분리패턴 내부에서, 상기 후면전극 패턴의 표면의 연장선과 상기 광 흡수층의 측벽에 의한 연장선이 이루는 각, 즉 상기 후면전극 패턴과 상기 광 흡수층의 측면이 이루는 노출된 각은 91~120°로 형성된 것을 포함하는 태양전지
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기판 상에 서로 이격되어 배치된 복수개의 후면전극 패턴을 형성하는 단계;
제1 마스크에 의해 상기 후면전극 패턴 상에 측벽 경사를 포함하는 콘택패턴 및 제1분리패턴이 형성된 광 흡수층을 형성하는 단계; 및
제2 마스크에 의해 상기 광 흡수층 상에 제1 분리패턴과 연결된 제2분리패턴이 형성된 전면전극을 형성하는 단계;
를 포함하는 태양전지의 제조방법
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6 |
6
제 5항에 있어서,
상기 광 흡수층은 상기 후면전극 패턴이 배치된 상기 기판 상에 제1마스크를 배치시킨 후, 상기 제1마스크 상으로 제1증착 공정을 진행하여 형성되며,
상기 광 흡수층의 형성과 동시에 상기 콘택패턴과 제1분리패턴이 형성되는 태양전지의 제조방법
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7 |
7
제 6항에 있어서,
상기 제1마스크와 상기 후면전극 패턴 사이의 거리를 조절하여, 상기 광 흡수층의 측벽 경사도를 조절하는 태양전지의 제조방법
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8
제 5항에 있어서,
상기 전면전극은 상기 광 흡수층 상에 제2마스크를 배치시킨 후, 상기 제2마스크 상으로 제2증착 공정을 진행하여 형성되며,
상기 전면전극이 형성과 동시에 제2분리패턴이 형성되는 태양전지의 제조방법
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제 5항에 있어서,
상기 콘택패턴 및 제1분리패턴의 상부의 폭이 상기 전면전극과 접하는 하부의 폭보다 넓게 형성된 것을 포함하는 태양전지의 제조방법
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