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간섭효과를 이용하여 광디스크의 적어도 하나의 스페이서 레이어 또는 커버 레이어의 두께를 측정하는 방법에 있어서,
파장(λ)의 크기에 따른 반사광의 광도를 측정하여 스펙트럼 데이터를 검출하고, 상기 검출된 스펙트럼 데이터를 파장(λ)의 크기에 따른 굴절률의 차이를 반영한 식으로 보정하여 변환하는 단계;
상기 변환된 스펙트럼 데이터를 고속 푸리에 변환하는 단계; 및
상기 고속 푸리에 변환된 스펙트럼 데이터에 기초하여 적어도 하나의 스페이서 레이어 또는 커버 레이어의 두께를 검출하는 단계를 포함하며,
상기 파장(λ)의 크기에 따른 굴절률의 차이를 반영한 식은 n(λ) / 2 λ, 상기 n(λ)는 파장의 크기에 따른 굴절률, λ는 광의 파장에 해당하는 광디스크 레이어의 두께 측정방법
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제 1 항에 있어서,
상기 스페이서 레이어의 굴절률은 n₁이고, 상기 커버 레이어의 굴절률은 n₂이며, 상기 스페이서 레이어의 굴절률 n₁과 커버 레이어의 굴절률 n₂는 서로 다른 값을 갖고,
상기 굴절률 n은 스페이서 레이어의 굴절률 n₁이거나, 혹은 상기 커버 레이어의 굴절률 n₂인 광디스크 레이어의 두께 측정방법
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제 1 항에 있어서,
상기 변환된 스펙트럼 데이터가 피크값을 갖는 위치 d1 및 d2는 각각 해당되는 레이어의 두께를 나타내는 광디스크 레이어의 두께 측정방법
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제 1 항에 있어서,
상기 변환된 스펙트럼 데이터는 간섭이 일어나는 영역의 길이(d)의 함수에 대한 강도로 표현되며, 상기 길이(d)는 해당하는 레이어의 두께를 더 나타내는 광디스크 레이어의 두께 측정방법
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5
간섭효과를 이용하여 광디스크의 하나 이상의 레이어의 두께를 측정하는 시스템에 있어서,
파장(λ)의 크기에 따른 반사광의 광도를 측정하여 스펙트럼 데이터를 검출하고, 상기 검출된 스펙트럼 데이터를 파장(λ)의 크기에 따른 굴절률의 차이를 반영한 식으로 보정하여 변환하고,
상기 변환된 스펙트럼 데이터를 고속 푸리에 변환시키며,
상기 고속 푸리에 변환된 스펙트럼 데이터에 기초하여, 상기 광디스크의 하나 이상의 레이어의 두께 각각을 탐지할 수 있으며,
상기 파장(λ)의 크기에 따른 굴절률의 차이를 반영한 식은 n(λ) / 2 λ, 상기 n(λ)는 파장의 크기에 따른 굴절률, λ는 광의 파장에 해당하는 광디스크 레이어의 두께 측정시스템
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제 5 항에 있어서,
상기 광디스크는 적어도 하나의 스페이서 레이어와 적어도 하나의 커버 레이어를 포함하고, 상기 스페이서 레이어의 굴절률은 n1이고, 상기 커버 레이어의 굴절률은 n1과 다른 값인 n2이며,
상기 굴절률 n은 상기 스페이서 레이어의 굴절률 n₁이거나, 혹은 상기 커버 레이어의 굴절률 n₂인 광디스크 레이어의 두께 측정시스템
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7
제 5 항에 있어서,
상기 변환된 스펙트럼 데이터에서 피크값이 위치하는 d1과 d2는 각각 스페이서 레이어와 커버 레이어의 두께에 해당하는 광디스크 레이어의 두께 측정시스템
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8
제 5 항에 있어서,
상기 변환된 스펙트럼 데이터는 간섭영역의 길이(d)의 함수에 대한 강도로 표현되며, 상기 길이(d)는 해당하는 레이어의 두께를 나타내는 광디스크 레이어의 두께 측정시스템
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제 5 항에 있어서,
상기 스펙트럼 데이터는 제 1 요소와 제 2 요소의 함수를 변수로 하되, 상기 제 1 요소는 굴절률이고, 상기 제 2 요소는 파장인 광디스크 레이어의 두께 측정시스템
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10
간섭효과를 이용하여 광디스크의 적어도 하나 이상의 레이어의 두께를 측정하는 장치에 있어서,
파장(λ)의 크기에 따른 반사광의 광도를 측정하여 스펙트럼 데이터를 검출하고, 상기 검출된 스펙트럼 데이터를 파장(λ)의 크기에 따른 굴절률의 차이를 반영한 식으로 보정하여 변환하는 수단;
상기 변환된 스펙트럼 데이터를 고속 푸리에 변환하는 수단; 및
상기 고속 푸리에 변환된 스펙트럼 데이터에 기초하여, 상기 광디스크의 하나 이상의 레이어의 두께 각각을 검출할 수 있는 수단을 포함하며,
상기 파장(λ)의 크기에 따른 굴절률의 차이를 반영한 식은 n(λ) / 2 λ, 상기 n(λ)는 파장의 크기에 따른 굴절률, λ는 광의 파장에 해당하는 광디스크 레이어의 두께 측정장치
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11
제 10 항에 있어서,
상기 스펙트럼 데이터는 제 1 요소와 제 2 요소를 변수로 하되, 상기 제 1 요소는 굴절률이고, 상기 제 2 요소는 파장인 광디스크 레이어의 두께 측정장치
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12
적어도 하나의 커버 레이어와 적어도 하나의 스페이서 레이어를 포함하는 기록매체에 있어서,
파장(λ)의 크기에 따른 반사광의 광도를 측정하여 스펙트럼 데이터를 검출하고, 상기 검출된 스펙트럼 데이터를 파장(λ)의 크기에 따른 굴절률의 차이를 반영한 식으로 보정하여 변환하는 단계;
상기 변환된 스펙트럼 데이터를 고속 푸리에 변환하는 단계; 및
상기 고속 푸리에 변환된 스펙트럼 데이터에 기초하여 적어도 하나의 스페이서 레이어 또는 커버 레이어의 두께를 검출하는 단계를 포함하며,
상기 파장(λ)의 크기에 따른 굴절률의 차이를 반영한 식은 n(λ) / 2 λ, 상기 n(λ)는 파장의 크기에 따른 굴절률, λ는 광의 파장에 해당하는 방법을 이용하여, 상기 커버 레이어와 상기 스페이서 레이어의 두께가 측정될 수 있는 기록매체
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