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와이어 소용 와이어 가공방법 및 가공장치

  • 기술번호 : KST2015058717
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요약 웨이퍼를 슬라이스 하기 위한 와이어 소(wire saw)용 와이어에서 구리층을 제거하기 위한 와이어 가공방법 및 가공장치가 개시된다. 와이어 소용 와이어 가공방법은, 와이어에 처리액을 제공하여 상기 와이어 표면의 구리층을 제거하는 표면처리 단계, 상기 표면처리가 완료된 와이어를 세정하는 세정단계, 상기 세정이 완료된 와이어를 건조시키는 건조 단계 및 상기 건조가 완료된 와이어에 방청제를 제공하여 상기 와이어 표면의 산화를 방지하는 방청 단계를 포함하여 구성될 수 있다. 여기서, 와이어 가공방법은 상기 구리층의 두께 또는 상기 처리액의 농도에 따라 상기 와이어의 이동속도를 조절하여 수행될 수 있다.와이어 소(wire saw), 구리층 제거
Int. CL C23F 17/00 (2006.01) C23F 1/18 (2006.01)
CPC H01L 21/302(2013.01) H01L 21/302(2013.01) H01L 21/302(2013.01) H01L 21/302(2013.01) H01L 21/302(2013.01)
출원번호/일자 1020090086298 (2009.09.14)
출원인 주식회사 엘지실트론
등록번호/일자 10-1121309-0000 (2012.02.21)
공개번호/일자 10-2011-0028729 (2011.03.22) 문서열기
공고번호/일자 (20120323) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2009.09.14)
심사청구항수 16

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 에스케이실트론 주식회사 대한민국 경상북도 구미시

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 구영수 대한민국 경상북도 구미시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 무한 대한민국 서울특별시 강남구 언주로 ***, *층(역삼동,화물재단빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 에스케이실트론 주식회사 경상북도 구미시
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2009.09.14 수리 (Accepted) 1-1-2009-0562681-12
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.01.10 수리 (Accepted) 4-1-2011-5005193-13
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2011.03.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2011.04.14 수리 (Accepted) 9-1-2011-0031264-88
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2011.06.14 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0323234-27
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2011.08.16 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0628573-63
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2011.08.16 수리 (Accepted) 1-1-2011-0628572-17
8 등록결정서
Decision to grant
2012.01.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0026942-35
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.05.28 수리 (Accepted) 4-1-2015-5070977-42
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.05.29 수리 (Accepted) 4-1-2015-5071326-18
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.08.31 수리 (Accepted) 4-1-2017-5140469-15
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.02.21 수리 (Accepted) 4-1-2018-5031039-07
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
와이어 소(wire saw)용 와이어의 가공방법에 있어서,와이어에 처리액을 제공하여 상기 와이어 표면의 구리층을 제거하는 표면처리 단계;상기 표면처리가 완료된 와이어를 세정하는 세정단계;상기 세정이 완료된 와이어를 건조시키는 건조 단계; 및상기 건조가 완료된 와이어에 방청제를 제공하여 상기 와이어 표면의 산화를 방지하는 방청 단계;를 포함하고, 상기 표면처리 단계에서 상기 처리액의 농도, 상기 와이어의 구리층 두께 및 상기 와이어에서 제거되는 구리층의 두께 중 어느 하나를 측정하고 상기 측정된 결과에 따라서 상기 와이어의 이동속도를 조절하는 와이어 소용 와이어 가공방법
2 2
제1항에 있어서,상기 표면처리 단계는 산성 용액을 사용하는 와이어 소용 와이어 가공방법
3 3
제1항에 있어서,상기 세정 단계는 순수를 사용하여 상기 와이어에서 처리액을 제거하거나 중화시키는 와이어 소용 와이어 가공방법
4 4
제1항에 있어서,상기 건조 단계는 상기 와이어를 적외선 램프와 건조 가스를 제공하여 상기 와이어를 건조시키는 와이어 소용 와이어 가공방법
5 5
제1항에 있어서,상기 방청제는 오일을 사용하는 와이어 소용 와이어 가공방법
6 6
와이어 소용 와이어의 가공장치에 있어서,처리액을 제공하여 와이어 표면의 구리층을 제거하는 표면처리부;상기 표면처리부를 통과한 와이어에 세정액을 제공하는 세정부;상기 세정이 완료된 와이어를 건조시키는 건조부;상기 건조가 완료된 와이어에 방청제를 제공하여 상기 와이어 표면의 산화를 방지하는 방청부; 및상기 표면처리부에 연결되어서 상기 처리액의 농도, 상기 와이어의 구리층 두께 및 상기 와이어에서 제거되는 구리층의 두께 중 어느 하나를 측정하고, 상기 측정된 결과에 따라 상기 와이어의 이동속도를 조절하는 제어부;를 포함하는 와이어 소용 와이어 가공장치
7 7
제6항에 있어서,상기 와이어가 상기 표면처리부, 상기 세정부, 상기 건조부 및 상기 방청부를 순차적으로 통과하도록 구비된 와이어 소용 와이어 가공장치
8 8
제7항에 있어서,상기 표면처리부 전에 구비되어 와이어가 권취되는 제1 롤러와 상기 방청부 이후에 구비되어 상기 방청부를 통과한 와이어가 권취되는 제2 롤러를 포함하고,상기 제1 롤러에서 권출된 와이어가 상기 표면처리부, 상기 세정부, 상기 건조부 및 상기 방청부를 순차적으로 통과하여 상기 제2 롤러에 권취되도록 구비된 와이어 소용 와이어 가공장치
9 9
삭제
10 10
제8항에 있어서,상기 제어부는 상기 측정된 결과에 따라 상기 와이어의 이동속도를 조절할 수 있도록 상기 제1 롤러 또는 상기 제2 롤러와 연결된 와이어 소용 와이어 가공장치
11 11
제8항에 있어서,상기 와이어를 지지하는 다수의 가이드 롤러를 더 포함하는 와이어 소용 와이어 가공장치
12 12
제6항에 있어서,상기 표면처리부는 처리액을 수용하는 처리조와 상기 처리조에 구비되어 상기 와이어에 상기 처리액을 제공하기 위한 브러시를 포함하고,상기 브러시는 상기 와이어가 상기 처리액에 침지되지 않고 상기 처리조 상부를 통과하도록 상기 와이어를 지지하는 한 쌍의 브러시로 이루어지고, 상기 한 쌍의 브러시 중 하나는 상기 처리액에 일부 침지되어 상기 브러시가 회전함에 따라 상기 와이어에 상기 처리액을 제공하는 와이어 소용 와이어 가공장치
13 13
제12항에 있어서,상기 브러시는 PVA 재질로 형성된 와이어 소용 와이어 가공장치
14 14
제6항에 있어서,상기 세정부는 상기 와이어가 처리조에 수용된 순수에 침지되도록 상기 와이어를 안내하는 PVA 재질의 브러시를 포함하는 와이어 소용 와이어 가공장치
15 15
제6항에 있어서,상기 건조부는 적외선 램프와 건조가스를 제공하는 건조가스 제공부를 포함하는 와이어 소용 와이어 가공장치
16 16
제6항에 있어서,상기 방청부는 오일이 수용된 처리조와 상기 처리조에 구비되어 상기 와이어를 안내하고 상기 와이어에 상기 오일을 제공하는 브러시를 포함하고,상기 브러시는 상기 와이어가 상기 오일에 침지되지 않고 상기 처리조 상부를 통과하도록 상기 와이어를 안내하는 한 쌍의 브러시로 이루어지고, 상기 한 쌍의 브러시 중 하나는 상기 오일에 일부 침지되어 상기 브러시가 회전함에 따라 상기 와이어에 상기 오일을 도포하는 와이어 소용 와이어 가공장치
17 17
와이어 소용 와이어의 가공장치에 있어서,산성 처리액을 제공하여 상기 와이어 표면의 구리층을 제거하는 표면처리부;상기 표면처리부를 통과한 와이어에 순수를 제공하여 상기 처리액을 제거하는 세정부;상기 세정이 완료된 와이어를 건조시키는 건조부;상기 건조가 완료된 와이어에 오일을 제공하여 상기 와이어 표면의 산화를 방지하는 방청부; 및상기 표면처리부에 연결되어서 상기 처리액의 농도, 상기 와이어의 구리층 두께 및 상기 와이어에서 제거되는 구리층의 두께 중 어느 하나를 측정하고, 상기 측정된 결과에 따라 상기 와이어의 이동속도를 조절하는 제어부;를 포함하고, 상기 와이어가 상기 표면처리부, 상기 세정부, 상기 건조부 및 상기 방청부를 순차적으로 통과하도록 구비된 와이어 소용 와이어 가공장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.