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광 측정소자가 설치된 광 측정부;
상기 광 측정부의 개구부에 대향하여 배치되는 테스트 척;
상기 광 측정부와 상기 테스트 척 사이에 프로브 카드; 및
상기 테스트 척과 상기 프로브 카드 사이에 배치되며 제1 개구가 형성된 제1 반사부재와, 상기 광 측정부와 상기 프로브 카드 사이에 배치되며 제2 개구가 형성된 제2 반사부재를 포함하는 반사부재를 포함하고,
상기 제1 개구 및 상기 제2 개구는 상기 테스트 척과 상기 광 측정부 사이에 광 경로를 형성하는 광 측정장치
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제 1항에 있어서,
상기 광 측정소자는 포토 디텍터 및 분광기 중 적어도 어느 하나를 포함하는 광 측정장치
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제 1항에 있어서,
상기 광 측정부는 경통 형태 또는 적분구 형태로 형성된 광 측정장치
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제 1항에 있어서,
상기 프로브 카드는 회로기판과, 상기 회로기판에 설치된 프로빙 니들이 형성된 브레이드를 포함하는 광 측정장치
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제 1항에 있어서,
상기 제1 반사부재 및 제2 반사부재는 상기 프로브 카드와 결합된 광 측정장치
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제 4항에 있어서,
상기 제1 반사부재에는 돌출부가 형성되고, 상기 돌출부는 상기 회로기판에 형성된 개구에 삽입되는 광 측정장치
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7
제 4항에 있어서,
상기 제2 반사부재에는 브레이드 홈이 형성되고, 상기 브레이드는 상기 브레이드 홈에 배치되는 광 측정장치
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8
제 1항에 있어서,
상기 제1 반사부재와 상기 제2 반사부재는 서로 접촉하는 광 측정장치
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제 1항에 있어서,
상기 제1 반사부재 또는 제2 반사부재는 금속 재질, 고반사도를 갖는 플라스틱 또는 레진으로 형성된 광 측정장치
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