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기판 상에 형성되고 제1 관통홀에 의하여 상호 분리된 후면전극;
상기 제1 관통홀과 제1 갭을 가지도록 상기 후면전극 상에 형성된 제1 마스크 패턴;
상기 제1 마스크 패턴과 제2 갭을 가지도록 상기 후면전극 상에 형성된 제2 마스크 패턴;
상기 제1 관통홀을 포함하는 상기 후면전극 상에 형성되고, 상기 제1 마스크 패턴 및 제2 마스크 패턴 보다 낮은 높이로 형성된 광 흡수층;
상기 광 흡수층 상에 형성되고, 제1 및 제2 마스크 패턴 보다 낮은 높이로 형성된 버퍼층;
상기 제1 마스크 패턴의 제거에 의해 형성된 제2 관통홀; 및
상기 제2 관통홀을 포함하는 상기 버퍼층 상에 형성된 전면전극을 포함하는 태양전지
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제1항에 있어서,
상기 제1 마스크 패턴 및 제2 마스크 패턴은 절연성 물질로 형성된 태양전지
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제1항에 있어서,
상기 제1 마스크 패턴 및 제2 마스크 패턴은 열경화성 수지 또는 광 경화성 수지로 형성된 태양전지
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제1항에 있어서,
상기 후면전극과 상기 광 흡수층이 접하는 계면에만 선택적으로 형성된 합금막을 포함하는 태양전지
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제1항에 있어서,
상기 전면전극은 상기 제2 관통홀을 통해 상기 후면전극 표면과 직접 접촉하는 태양전지
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6
기판 상에 제1 관통홀에 의하여 분리된 후면전극을 형성하는 단계;
상기 제1 관통홀과 제1 갭을 가지는 제1 마스크 패턴 및 상기 제1 마스크 패턴과 제2 갭을 가지는 제2 마스크 패턴을 상기 후면전극 상에 형성하는 단계;
상기 제1 관통홀을 포함하는 후면전극 상에 형성되고, 상기 제1 및 제2 마스크 패턴의 표면을 노출시키는 광 흡수층을 형성하는 단계;
상기 광 흡수층 상에 형성되고 상기 제1 및 제2 마스크 패턴의 표면을 노출시키는 버퍼층을 형성하는 단계;
상기 후면전극이 노출되도록 상기 제1 마스크 패턴을 제거하고 제2 관통홀을 형성하는 단계; 및
상기 제2 관통홀을 포함하는 버퍼층 상에 전면전극을 형성하는 단계를 포함하는 태양전지의 제조방법
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7
제6항에 있어서,
상기 제1 마스크 패턴 및 제2 마스크 패턴은 광 경화성 또는 열 경화성 수지로 형성되는 태양전지의 제조방법
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8
제6항에 있어서,
상기 제1 마스크 패턴 및 제2 마스크 패턴을 형성하는 단계는,
포토레지스트막을 상기 후면전극을 포함하는 상기 기판 상에 코팅하는 단계; 및
상기 포토레지스트막에 대한 선택적 노광 공정을 통해 형성되는 것을 포함하는 태양전지의 제조방법
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제6항에 있어서,
상기 광 흡수층은 전해도금공정(Electro plating)을 통해 형성되는 것을 포함하는 태양전지의 제조방법
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제6항에 있어서,
상기 전면전극을 형성하는 단계는,
상기 제2 관통홀이 갭필되도록 상기 제2 마스크 패턴을 포함하는 상기 버퍼층 상에 투명전극물질을 증착하는 단계; 및
상기 제2 마스크 패턴의 표면에 형성된 투명전극물질을 플라즈마 트리트 먼트 공정에 의하여 선택적으로 제거하는 단계를 포함하는 태양전지의 제조방법
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