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웨이퍼의 노치 가공 방법 및 장치

  • 기술번호 : KST2015059460
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요약 본 발명은 반도체 소자의 기판으로 사용되는 웨이퍼의 에칭에 관한 것이다.본 발명은 웨이퍼의 노치를 연삭하는 단계; 상기 웨이퍼의 노치를 에칭액으로 식각하는 단계; 및 상기 웨이퍼의 노치를 연마하는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 웨이퍼의 노치 가공 방법을 제공한다.따라서, 본 발명에 의하면 연삭과 식각 및 연마 공정을 통하여 웨이퍼 표면, 특히 노치 부분의 거칠기를 개선하여 미세 먼지나 수분 등의 파티클을 충분히 제거할 수 있다.웨이퍼, 노치, 식각
Int. CL H01L 21/302 (2006.01)
CPC H01L 21/6708(2013.01) H01L 21/6708(2013.01)
출원번호/일자 1020090114568 (2009.11.25)
출원인 주식회사 엘지실트론
등록번호/일자 10-1151001-0000 (2012.05.22)
공개번호/일자 10-2011-0057936 (2011.06.01) 문서열기
공고번호/일자 (20120530) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2009.11.25)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 에스케이실트론 주식회사 대한민국 경상북도 구미시

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 공순현 대한민국 경상북도 구미시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김용인 대한민국 서울특별시 송파구 올림픽로 ** (잠실현대빌딩 *층)(특허법인(유한)케이비케이)
2 박영복 대한민국 서울특별시 강남구 논현로**길 **, *층(역삼동, 삼화빌딩)(특허법인 두성)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 에스케이실트론 주식회사 경상북도 구미시
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2009.11.25 수리 (Accepted) 1-1-2009-0725111-33
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.01.10 수리 (Accepted) 4-1-2011-5005193-13
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2011.04.14 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2011.05.17 수리 (Accepted) 9-1-2011-0042061-74
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2011.06.01 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0303042-00
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2011.07.26 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0576368-56
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2011.07.26 수리 (Accepted) 1-1-2011-0576369-02
8 최후의견제출통지서
Notification of reason for final refusal
2012.02.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0121040-29
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2012.03.08 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2012-0189164-17
10 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2012.03.08 수리 (Accepted) 1-1-2012-0189165-52
11 등록결정서
Decision to grant
2012.05.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0294255-40
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.05.28 수리 (Accepted) 4-1-2015-5070977-42
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.05.29 수리 (Accepted) 4-1-2015-5071326-18
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.08.31 수리 (Accepted) 4-1-2017-5140469-15
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.02.21 수리 (Accepted) 4-1-2018-5031039-07
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
에칭액 공급관; 및상기 에칭액 공급관의 측면에 소정 간격 이격되어 구비되고, 상기 에칭액 공급관과 수직한 방향으로 상기 에칭액을 분출하는 복수 개의 홀(hole)을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 웨이퍼의 노치 에칭 장치
2 2
제 1 항에 있어서,카세트 내의 각각의 웨이퍼에는 적어도 2개의 홀이 대응되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼의 노치 에칭 장치
3 3
제 2 항에 있어서,하나의 웨이퍼와 대응되는 적어도 2개의 홀은, 상기 웨이퍼와 나란한 방향으로 구비되고 상기 웨이퍼의 노치 내의 서로 다른 위치에 에칭액을 분출하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼의 노치 에칭 장치
4 4
제 2 항에 있어서,하나의 웨이퍼와 대응되는 적어도 2개의 홀은, 상기 웨이퍼와 나란한 방향으로 구비되어 상기 웨이퍼의 노치 내에 서로 다른 방향으로 에칭액을 분출하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼의 노치 에칭 장치
5 5
제 1 항에 있어서,상기 에칭액 공급관의 외곽에 구비된 에칭액 저장관을 구비하고, 상기 에칭액 공급관에서 분출된 에칭액은 상기 에칭액 저장관을 통하여 상기 홀로 분출되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼의 노치 에칭 장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.