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웨이퍼 캐리어 및 이를 채용한 웨이퍼 양면 연마장치

  • 기술번호 : KST2015059507
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  • 전화번호 :
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요약 본 발명은 웨이퍼 캐리어 및 이를 채용한 웨이퍼 양면 연마장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 웨이퍼의 양면 연마시 웨이퍼가 자전하도록 하여 평탄도를 향상시킬 수 있도록 하는 웨이퍼 캐리어 및 이를 채용한 웨이퍼 양면 연마장치에 관한 것이다.캐리어, 평탄도, 양면 연마, 웨이퍼
Int. CL H01L 21/304 (2006.01) H01L 21/673 (2006.01)
CPC B24B 37/28(2013.01) B24B 37/28(2013.01)
출원번호/일자 1020090115789 (2009.11.27)
출원인 주식회사 엘지실트론
등록번호/일자 10-1150849-0000 (2012.05.22)
공개번호/일자 10-2011-0059145 (2011.06.02) 문서열기
공고번호/일자 (20120613) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2009.11.27)
심사청구항수 2

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 에스케이실트론 주식회사 대한민국 경상북도 구미시

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 구성민 대한민국 경상북도 구미시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인필앤온지 대한민국 서울특별시 서초구 서초중앙로 **, *층(서초동, 준영빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 에스케이실트론 주식회사 경상북도 구미시
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2009.11.27 수리 (Accepted) 1-1-2009-0731873-91
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.01.10 수리 (Accepted) 4-1-2011-5005193-13
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2011.02.11 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2011.03.21 수리 (Accepted) 9-1-2011-0026191-25
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2011.04.04 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0181628-15
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2011.05.31 수리 (Accepted) 1-1-2011-0408158-24
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2011.05.31 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0408159-70
8 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2011.12.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0767995-34
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2012.02.24 수리 (Accepted) 1-1-2012-0152214-46
10 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2012.02.24 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-0152215-92
11 등록결정서
Decision to grant
2012.05.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0294249-76
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.05.28 수리 (Accepted) 4-1-2015-5070977-42
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.05.29 수리 (Accepted) 4-1-2015-5071326-18
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.08.31 수리 (Accepted) 4-1-2017-5140469-15
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.02.21 수리 (Accepted) 4-1-2018-5031039-07
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
웨이퍼를 양면 연마하기 위해 웨이퍼를 장착하는 장착홀이 관통되어 형성된 웨이퍼 캐리어에 있어서,상기 장착홀의 단면은 상단으로부터 하단으로 갈수록 장착홀의 직경이 점차적으로 줄어들도록 형성되고,상기 장착홀의 하단의 직경은 상기 웨이퍼의 직경보다 크며,상기 장착홀의 상단의 직경은 상기 웨이퍼의 직경보다 1
2 2
삭제
3 3
상면에 연마패드가 부착된 하정반;하면에 연마패드가 부착되며 웨이퍼를 상부에서 회전 가압하는 상정반; 및상기 하정반과 상정반 사이에 개재되며, 웨이퍼를 수납하여 장착하는 장착홀이 형성된 웨이퍼 캐리어;를 포함하고,상기 장착홀의 단면은 상단으로부터 하단으로 갈수록 장착홀의 직경이 점차적으로 줄어들도록 형성되고, 상기 장착홀의 하단의 직경은 상기 웨이퍼의 직경보다 크며, 상기 장착홀의 상단의 직경은 상기 웨이퍼의 직경보다 1
4 4
삭제
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.