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플로우 방식이 개선된 웨이퍼 세정 방법 및 이를 위한 웨이퍼 세정조

  • 기술번호 : KST2015059585
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명에 따르면, 세정 대상 웨이퍼가 투입되는 내부공간을 구비한 세정조 본체; 상기 세정조 본체의 측면에 설치되어 상기 세정조 본체 내부의 가로방향으로 세정액을 공급하는 공급관; 및 세정에 사용된 세정액을 외부로 방출하도록 상기 세정조 본체에 설치된 배출관;을 포함하는 웨이퍼 세정조가 개시된다. 웨이퍼, 세정조, 공급관, 배출관, 오버 플로우
Int. CL H01L 21/302 (2006.01)
CPC H01L 21/67057(2013.01)
출원번호/일자 1020090118430 (2009.12.02)
출원인 주식회사 엘지실트론
등록번호/일자 10-1063039-0000 (2011.08.31)
공개번호/일자 10-2011-0061891 (2011.06.10) 문서열기
공고번호/일자 (20110907) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2009.12.02)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 에스케이실트론 주식회사 대한민국 경상북도 구미시

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김선배 대한민국 경상북도 구미시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인필앤온지 대한민국 서울특별시 서초구 서초중앙로 **, *층(서초동, 준영빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 에스케이실트론 주식회사 대한민국 경상북도 구미시
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2009.12.02 수리 (Accepted) 1-1-2009-0744524-76
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.01.10 수리 (Accepted) 4-1-2011-5005193-13
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2011.04.14 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2011.05.17 수리 (Accepted) 9-1-2011-0042090-98
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2011.05.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0266503-33
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2011.07.12 수리 (Accepted) 1-1-2011-0533501-92
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2011.07.12 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0533503-83
8 등록결정서
Decision to grant
2011.08.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0475531-58
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.05.28 수리 (Accepted) 4-1-2015-5070977-42
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.05.29 수리 (Accepted) 4-1-2015-5071326-18
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.08.31 수리 (Accepted) 4-1-2017-5140469-15
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.02.21 수리 (Accepted) 4-1-2018-5031039-07
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
세정조 내부의 가로방향으로 세정액을 공급하여 웨이퍼를 세정하는 방법에 있어서, 상기 세정조의 어느 한쪽 측면으로부터 반대쪽 측면을 향하는 단방향으로 세정액을 공급하고, 상기 반대쪽 측면의 상부로만 세정액을 오버 플로우시키는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 세정 방법
2 2
삭제
3 3
삭제
4 4
제1항에 있어서, 웨이퍼면과 나란한 방향으로 플로우가 이루어지도록 상기 세정액을 공급하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 세정 방법
5 5
세정 대상 웨이퍼가 투입되는 내부공간을 구비한 세정조 본체와, 상기 세정조 본체의 한쪽 측면에 설치되어 상기 세정조 본체 내부의 가로방향으로 세정액을 공급하는 공급관과, 세정에 사용된 세정액을 외부로 방출하도록 상기 공급관이 위치한 면의 반대쪽 측면에 설치된 배출관을 구비한 웨이퍼 세정조에 있어서, 상기 세정조 본체는 상기 세정 대상 웨이퍼가 투입되는 내부공간을 가진 내조와, 상기 배출관이 위치한 측면의 상부에 설치된 외조를 포함하고, 상기 공급관과 배출관의 유량 분배는 세정액의 일부를 상기 내조로부터 외조로 오버 플로우시키도록 결정되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 세정조
6 6
제5항에 있어서, 상기 공급관은 복수개가 구비되어 상기 세정조 본체의 한쪽 측면에 분산 배치된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 세정조
7 7
제6항에 있어서, 상기 배출관은 복수개가 구비되어 상기 세정조 본체의 측면 하단부에 일렬로 배치된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 세정조
8 8
제7항에 있어서, 상기 배출관은 복수개의 공급관 중 최하단에 위치한 공급관에 비해 상대적으로 낮은 지점에 위치하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 세정조
9 9
삭제
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.