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클로로실란의 저장방법

  • 기술번호 : KST2015060013
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요약 본 발명은 클로로실란의 저장 용기에 헬륨 기체; 또는 헬륨, 아르곤 및 질소로 이루어진 군으로부터 선택되는 불활성 기체와 수소를 포함하는 혼합 기체;를 밀봉 기체로 주입하는 것을 특징으로 하는 클로로실란의 저장 방법을 제공한다. 본 발명에서 사용하는 불활성 기체를 포함하는 밀봉 기체는 수소만을 사용하였을 때보다 수소의 농도를 낮춤으로써 폭발위험성으로부터 안전을 향상시킬 수 있고 클로로실란에 대한 밀봉가스의 용해도가 낮은 헬륨 및 혼합가스를 사용함으로써 후속 공정에서 사용되는 수소 스트림을 교환하지 않고, 장시간 사용할 수 있도록 하였다. 클로로실란, 저장, 밀봉
Int. CL C01B 33/033 (2006.01) C01B 33/107 (2006.01) B65D 81/20 (2006.01)
CPC B65D 81/2038(2013.01) B65D 81/2038(2013.01) B65D 81/2038(2013.01)
출원번호/일자 1020090131918 (2009.12.28)
출원인 주식회사 엘지화학
등록번호/일자 10-1238674-0000 (2013.02.25)
공개번호/일자 10-2011-0075463 (2011.07.06) 문서열기
공고번호/일자 (20130304) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.12.24)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 주식회사 엘지화학 대한민국 서울특별시 영등포구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 최철환 대한민국 대전광역시 유성구
2 최광욱 대한민국 대전광역시 유성구
3 류창석 대한민국 대전광역시 서구
4 김균중 대한민국 충청북도 청주시 흥덕구
5 박은용 대한민국 충청북도 청주시 상당구
6 강성훈 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인씨엔에스 대한민국 서울 강남구 언주로 **길 **, 대림아크로텔 *층(도곡동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 주식회사 엘지화학 서울특별시 영등포구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2009.12.28 수리 (Accepted) 1-1-2009-0807731-21
2 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2010.12.24 수리 (Accepted) 1-1-2010-0854615-48
3 선행기술조사의뢰서(내부)
Request for Prior Art Search (Inside)
2011.08.01 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2011.08.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2011-0013106-22
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2012.07.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0431513-51
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2012.09.25 수리 (Accepted) 1-1-2012-0778606-45
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2012.09.25 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-0778605-00
8 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2013.01.14 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0025556-81
9 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2013.02.14 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2013-0133505-72
10 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2013.02.14 수리 (Accepted) 1-1-2013-0133504-26
11 등록결정서
Decision to Grant Registration
2013.02.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0112647-56
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.01.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-5000389-31
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.12.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-5161532-51
14 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2018.06.12 수리 (Accepted) 1-1-2018-0576207-77
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.11.12 수리 (Accepted) 4-1-2018-5227604-80
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.12.19 수리 (Accepted) 4-1-2018-5261818-30
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.08.19 수리 (Accepted) 4-1-2019-5164284-96
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
클로로실란의 저장 용기에 수소와 질소의 혼합 기체를 밀봉 기체로 주입하며, 상기 혼합 기체 내에서의 수소 대 질소의 비율은 90몰%:10몰% 내지 40몰%:60몰%인 것을 특징으로 하는 클로로실란의 저장 방법
2 2
삭제
3 3
삭제
4 4
삭제
5 5
삭제
6 6
제1항에 있어서,상기 클로로실란의 저장 용기 내의 압력은 1 내지 2기압인 것을 특징으로 하는 클로로실란의 저장 방법
7 7
제1항에 있어서,상기 클로로실란은 트리클로로실란 또는 테트라클로로실란인 것을 특징으로 하는 클로로실란의 저장 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.