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단결정 성장장치용 흑연 도가니

  • 기술번호 : KST2015060221
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 쵸크랄스키(Cz) 공정에 사용되는 단결정 성장장치용 석영 도가니를 지지하는 흑연 도가니에 관한 것이다. 본 발명에 따르면, 상면이 개방되고 석영 도가니를 수용하기 위한 내부공간이 형성되며, 분할된 몸체를 갖는 도가니 본체; 및 상기 도가니 본체의 분할 부위에 장착되는 식각방지용 보호막;을 포함하는 것을 특징으로 하는 단결정 성장장치용 흑연 도가니가 제공된다.
Int. CL C30B 15/10 (2006.01)
CPC C30B 15/10(2013.01) C30B 15/10(2013.01)
출원번호/일자 1020100006876 (2010.01.26)
출원인 주식회사 엘지실트론
등록번호/일자 10-1483687-0000 (2015.01.12)
공개번호/일자 10-2011-0087453 (2011.08.03) 문서열기
공고번호/일자 (20150119) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2013.04.30)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 에스케이실트론 주식회사 대한민국 경상북도 구미시

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 안병우 대한민국 경상북도 구미시
2 조희돈 대한민국 경상북도 구미시
3 조민철 대한민국 대구광역시 북구
4 김동혁 대한민국 경상북도 구미시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인필앤온지 대한민국 서울특별시 서초구 서초중앙로 **, *층(서초동, 준영빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 에스케이실트론 주식회사 경상북도 구미시
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2010.01.26 수리 (Accepted) 1-1-2010-0052617-40
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.01.10 수리 (Accepted) 4-1-2011-5005193-13
3 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2013.04.30 수리 (Accepted) 1-1-2013-0380136-54
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2014.01.08 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2014.02.11 수리 (Accepted) 9-1-2014-0009568-05
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2014.06.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0435806-96
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2014.08.25 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-0805682-08
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2014.08.25 수리 (Accepted) 1-1-2014-0805683-43
9 등록결정서
Decision to grant
2014.11.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0791631-53
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.05.28 수리 (Accepted) 4-1-2015-5070977-42
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.05.29 수리 (Accepted) 4-1-2015-5071326-18
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.08.31 수리 (Accepted) 4-1-2017-5140469-15
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.02.21 수리 (Accepted) 4-1-2018-5031039-07
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
쵸크랄스키(Cz) 공정에 사용되는 단결정 성장장치용 석영 도가니를 지지하는 흑연 도가니에 있어서,상면이 개방되고 석영 도가니를 수용하기 위한 내부공간이 형성되며, 분할된 몸체를 갖는 도가니 본체; 및상기 도가니 본체의 분할 부위에 장착되는 식각방지용 보호막;을 포함하고,상기 식각방지용 보호막의 폭이 4~6cm이고,상기 식각방지용 보호막은, 상단이 상기 석영 도가니에 수용되는 멜트 표면의 높이 이하까지 설치된 것을 특징으로 하는 단결정 성장장치용 흑연 도가니
2 2
제1항에 있어서,상기 식각방지용 보호막은 고순도 흑연막인 것을 특징으로 하는 단결정 성장장치용 흑연 도가니
3 3
삭제
4 4
삭제
5 5
제1항에 있어서,상기 식각방지용 보호막은 상기 도가니 본체의 내부면에 장착된 것을 특징으로 하는 단결정 성장장치용 흑연 도가니
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.