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웨이퍼 세정장비용 카세트 지그 및 이를 구비한 카세트 어셈블리

  • 기술번호 : KST2015060291
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 웨이퍼 세정장비에 사용되는 카세트에 관한 것이다. 본 발명은 제1 웨이퍼의 투입이 가능한 내부공간이 형성된 지그 본체; 및 상기 지그 본체 내에 장착되어, 상기 제1 웨이퍼에 비해 상대적으로 직경이 작은 제2 웨이퍼의 투입이 가능한 내부공간이 형성된 카세트의 안착을 가이드하는 가이드 부재;를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 세정장비용 카세트 지그를 개시한다.
Int. CL H01L 21/00 (2006.01) H01L 21/67 (2006.01) H01L 21/302 (2006.01)
CPC
출원번호/일자 1020100006096 (2010.01.22)
출원인 주식회사 엘지실트론
등록번호/일자 10-1150850-0000 (2012.05.22)
공개번호/일자 10-2011-0086386 (2011.07.28) 문서열기
공고번호/일자 (20120613) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.01.22)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 에스케이실트론 주식회사 대한민국 경상북도 구미시

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박재현 대한민국 경상북도 구미시
2 최충효 대한민국 경상북도 구미시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인필앤온지 대한민국 서울특별시 서초구 서초중앙로 **, *층(서초동, 준영빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 에스케이실트론 주식회사 경상북도 구미시
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2010.01.22 수리 (Accepted) 1-1-2010-0045456-21
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.01.10 수리 (Accepted) 4-1-2011-5005193-13
3 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2011.10.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0599395-19
4 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2011.12.19 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-1009120-21
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2011.12.19 수리 (Accepted) 1-1-2011-1009121-77
6 등록결정서
Decision to grant
2012.05.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0289731-54
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.05.28 수리 (Accepted) 4-1-2015-5070977-42
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.05.29 수리 (Accepted) 4-1-2015-5071326-18
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.08.31 수리 (Accepted) 4-1-2017-5140469-15
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.02.21 수리 (Accepted) 4-1-2018-5031039-07
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번호 청구항
1 1
웨이퍼 세정장비에 사용되는 카세트에 있어서,제1 웨이퍼의 투입이 가능한 내부공간이 형성된 지그 본체; 및상기 지그 본체 내에 장착되어, 상기 제1 웨이퍼에 비해 상대적으로 직경이 작은 제2 웨이퍼의 투입이 가능한 내부공간이 형성된 카세트의 안착을 가이드하는 가이드 부재;를 포함하고,상기 가이드 부재는, 상기 지그 본체의 한쪽단에서 상기 지그 본체의 폭방향으로 상호 대향하는 안쪽 코너부에 장착된 테프론 블럭이고, 상기 코너부에 대응하여 꺽인 형태의 몸체와, 상기 카세트의 바깥쪽 코너부의 삽입을 가이드하는 가이드 홈을 구비한 것을 특징으로 하는 웨이퍼 세정장비용 카세트 지그
2 2
삭제
3 3
삭제
4 4
제1항에 있어서,하중 감소를 위하여 상기 지그 본체의 측면에는 적어도 하나 이상의 절개공이 형성된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 세정장비용 카세트 지그
5 5
웨이퍼 세정장비에 사용되는 카세트에 있어서,제1 웨이퍼의 투입이 가능한 내부공간이 형성된 지그 본체; 및 상기 지그 본체의 한쪽단에서 상기 지그 본체의 폭방향으로 상호 대향하는 안쪽 코너부에 장착된 한 쌍의 가이드 부재;를 포함하는 카세트 지그와,상기 제1 웨이퍼에 비해 상대적으로 직경이 작은 제2 웨이퍼의 투입이 가능한 내부공간이 형성되고, 상기 가이드 부재에 의해 가이드되어 상기 카세트 지그 내에 안착되는 카세트 유닛을 포함하고,상기 가이드 부재는, 상기 지그 본체의 한쪽단에서 상기 지그 본체의 폭방향으로 상호 대향하는 안쪽 코너부에 장착된 테프론 블럭이고, 상기 코너부에 대응하여 꺽인 형태의 몸체와, 상기 카세트 유닛의 바깥쪽 코너부의 삽입을 가이드하는 가이드 홈을 구비한 것 특징으로 하는 웨이퍼 세정장비용 카세트 어셈블리
6 6
삭제
7 7
삭제
8 8
제5항에 있어서,상기 지그 본체 및 카세트 유닛 중 적어도 어느 하나에는 하중 감소를 위하여 측면에 적어도 하나 이상의 절개공이 형성된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 세정장비용 카세트 어셈블리
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1 CN102834908 CN 중국 FAMILY
2 EP02526564 EP 유럽특허청(EPO) FAMILY
3 JP05675847 JP 일본 FAMILY
4 JP25518404 JP 일본 FAMILY
5 US20130001846 US 미국 FAMILY
6 WO2011090242 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 CN102834908 CN 중국 DOCDBFAMILY
2 CN102834908 CN 중국 DOCDBFAMILY
3 EP2526564 EP 유럽특허청(EPO) DOCDBFAMILY
4 EP2526564 EP 유럽특허청(EPO) DOCDBFAMILY
5 JP2013518404 JP 일본 DOCDBFAMILY
6 JP5675847 JP 일본 DOCDBFAMILY
7 US2013001846 US 미국 DOCDBFAMILY
8 WO2011090242 WO 세계지적재산권기구(WIPO) DOCDBFAMILY
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