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소자가 매립된 임베디드 인쇄회로기판에 있어서,상기 소자가 매립되고 그 위에 회로가 형성된 절연층;상기 소자와 상기 회로와의 연결을 위해 형성된 제1 비아(Via);상기 소자와 상기 회로 사이에 위치하며 상기 제1 비아의 형성 위치에 대응하여 제2 비아를 갖는 비아 펌프; 및상기 제1 비아 내에 전기적 연결을 위해 형성된 도금층을 포함하는 것을 특징으로 하는 임베디드 인쇄회로기판
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청구항 1에 있어서,상기 비아 범프는,중앙에 홀이 형성된 도넛 형태의 원통형인 것을 특징으로 하는 임베디드 인쇄회로기판
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청구항 1에 있어서,상기 비아 범프는,전체적으로 중앙에 홀이 형성된 도넛 형태의 원통형이되 다수의 조각으로 분할되어 이격된 형태인 것을 특징으로 하는 임베디드 인쇄회로기판
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청구항 1에 있어서,상기 비아 범프는,상기 중앙에 형성된 비아의 폭이 30 내지 40μm인 것을 특징으로 하는 임베디드 인쇄회로기판
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청구항 2 또는 청구항 3에 있어서,상기 비아 범프는,상기 중앙에 형성된 홀과 외측 원과의 최단 거리가 40 내지 50μm인 것을 특징으로 하는 임베디드 인쇄회로기판
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6
청구항 1에 있어서,상기 비아 범프는,구리(Cu), 니켈(Ni), 금(Au), 은(Ag) 또는 팔라듐(Pd) 중 적어도 어느 하나로 1층 이상의 구조로 형성되는 것을 특징으로 하는 임베디드 인쇄회로기판
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소자가 매립된 임베디드 인쇄회로기판의 제조방법에 있어서,(a) 캐리어인 동박적층판상에 회로를 위한 Cu층과 금속층을 순차적으로 형성하는 단계;(b) 상기 금속층을 패터닝함으로써, 상기 소자와 상기 회로와의 연결을 위한 제1 비아의 형성 위치에 대응하여 제2 비아(Via)를 갖는 비아 범프를 형성하는 단계;(c) 상기 비아 범프상에 소자를 접착하기 위하여 접착층을 형성하는 단계;(d) 상기 접착층을 통해 소자를 실장하고 상기 소자를 매립하는 내층 회로를 적층하는 단계;(e) 상기 캐리어인 동박적층판을 제거하고 상기 Cu층을 패터닝하여 회로를 형성 하는 단계;(f) 상기 비아 범프를 이용하여 레이저 가공을 통해 상기 제1 비아를 형성하는 단계; 및(g) 상기 제1 비아를 도금하여 상기 소자와 회로를 전기적으로 연결시키는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 소자가 매립된 임베디드 인쇄회로기판의 제조 방법
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청구항 7에 있어서,상기 (b)단계는,중앙에 홀이 형성된 도넛 형태의 원통형인 비아 범프를 형성하는 단계인 것을 특징으로 하는 소자가 매립된 임베디드 인쇄회로기판의 제조 방법
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청구항 7에 있어서,상기 (b)단계는,전체적으로 중앙에 홀이 형성된 도넛 형태의 원통형이되 다수의 조각으로 분할되어 이격된 형태의 비아 범프를 형성하는 단계인 것을 특징으로 하는 소자가 매립된 임베디드 인쇄회로기판의 제조 방법
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10
청구항 8 또는 청구항 9에 있어서,상기 (b)단계는,상기 비아 범프의 중앙에 형성된 홀의 지름이 30 내지 40μm 가 되도록 상기 비아 범프를 형성하는 단계인 것을 특징으로 하는 소자가 매립된 임베디드 인쇄회로기판의 제조 방법
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11
청구항 8 또는 청구항 9에 있어서,상기 (b)단계는,상기 비아 범프의 중앙에 형성된 홀과 외측 원의 최단 거리가 40 내지 50μm 가 되도록 상기 비아 범프를 형성하는 단계인 것을 특징으로 하는 소자가 매립된 임베디드 인쇄회로기판의 제조 방법
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청구항 8 또는 청구항 9에 있어서,상기 (b)단계는,구리(Cu), 니켈(Ni), 금(Au), 은(Ag) 또는 팔라듐(Pd) 중 적어도 어느 하나로 1층 이상의 비아 범프를 형성하는 단계인 것을 특징으로 하는 소자가 매립된 임베디드 인쇄회로기판의 제조 방법
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