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산화세륨 나노분말의 제조방법

  • 기술번호 : KST2015060505
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요약 본 발명은 보다 용이하고 단순하게 균일한 입자 분포를 갖는 산화세륨 나노분말을 제조할 수 있는 산화세륨 나노분말의 제조 방법에 관한 것이다.이러한 제조 방법은 세륨 전구체를 소성하여, 60 내지 70nm의 결정 크기를 갖는 산화세륨 분말을 형성하는 단계; 및 수평 타입 밀링 장치의 회전부를 400 내지 1000 rpm (선속도 4 내지 10m/sec)으로 회전시키면서, 상기 산화세륨 분말을 밀링하는 단계를 포함한다. 본 발명에 의한 제조방법을 통하여, 밀링 공정 조건을 복잡하고, 세밀하게 조절할 필요없이, 입경이 100nm 이하인 산화세륨 입자가 부피비로 50% 이상으로 포함된 산화세륨 나노분말 또는 부피 평균 기준으로 평균입경이 100nm 이하인 산화세륨 입자로 이루어진 산화세륨 나노분말을 쉽고 단순한 방법을 통해 얻을 수 있다. 특히, 상기 산화세륨 나노분말은 보다 좁은 입도 범위, 즉, 균일한 입경 분포를 가짐에 따라, CMP 슬러리 등에 포함되어 우수한 연마 성능을 나타낼 수 있다.
Int. CL C09K 3/14 (2006.01) C01F 17/00 (2006.01) B82B 3/00 (2006.01)
CPC C01F 17/0043(2013.01) C01F 17/0043(2013.01) C01F 17/0043(2013.01) C01F 17/0043(2013.01) C01F 17/0043(2013.01) C01F 17/0043(2013.01) C01F 17/0043(2013.01)
출원번호/일자 1020100010532 (2010.02.04)
출원인 주식회사 엘지화학
등록번호/일자 10-1184734-0000 (2012.09.14)
공개번호/일자 10-2011-0030259 (2011.03.23) 문서열기
공고번호/일자 (20120920) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보 대한민국  |   1020090088029   |   2009.09.17
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.07.08)
심사청구항수 14

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 주식회사 엘지화학 대한민국 서울특별시 영등포구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 곽익순 대한민국 대전광역시 서구
2 조승범 대한민국 대전광역시 유성구
3 노준석 대한민국 대전광역시 유성구
4 하현철 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 유미특허법인 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, 서림빌딩 **층 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 주식회사 엘지화학 서울특별시 영등포구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2010.02.04 수리 (Accepted) 1-1-2010-0077895-45
2 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2010.07.08 수리 (Accepted) 1-1-2010-0442376-23
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2011.06.15 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2011.07.13 수리 (Accepted) 9-1-2011-0057664-35
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2011.12.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0746600-90
6 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2012.02.16 수리 (Accepted) 1-1-2012-0126354-75
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2012.03.16 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-0216196-91
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2012.03.16 수리 (Accepted) 1-1-2012-0216195-45
9 등록결정서
Decision to grant
2012.08.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0503442-29
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.01.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-5000389-31
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.12.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-5161532-51
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.11.12 수리 (Accepted) 4-1-2018-5227604-80
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.12.19 수리 (Accepted) 4-1-2018-5261818-30
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.08.19 수리 (Accepted) 4-1-2019-5164284-96
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
850 내지 950℃의 온도 하에 세륨 전구체를 4kg/hr 내지 8kg/hr의 속도로 회전식 소성로 투입하는 소성 과정을 통하여 60 내지 70nm의 결정 크기를 갖는 산화세륨 분말을 형성하는 단계; 및수평 타입 밀링 장치의 회전부를 400 내지 1000rpm (선속도 4 내지10m/sec)으로 회전시키면서, 상기 산화세륨 분말을 분쇄하는 단일의 밀링 단계를 포함하는, 100nm이하의 부피 평균 입경을 갖는 산화세륨 나노분말의 제조방법
2 2
삭제
3 3
제 1 항에 있어서, 상기 세륨 전구체의 소성은 회전식 소성로 내에서, 상기 회전식 소성로를 0
4 4
제 1 항에 있어서, 세륨 전구체를 소성하여 형성된 산화세륨 분말은 1 ㎛ 이상의 입경을 갖는 산화세륨 입자를 포함하고, 부피 평균 입경은 1 내지 10㎛인 산화세륨 나노분말의 제조방법
5 5
제 1 항에 있어서, 세륨 전구체를 소성하여 형성된 산화세륨 분말의 분산도(D75-D25)가 50nm 내지 800nm인 산화세륨 나노분말의 제조방법
6 6
제 1 항에 있어서, 상기 세륨 전구체는 탄산세륨, 세륨나이트레이트, 세륨하이드록사이드, 세륨설페이트 및 세륨포스페이트로 이루어지는 군에서 선택되는 하나 이상인 산화세륨 나노분말의 제조방법
7 7
삭제
8 8
제 1 항에 있어서, 상기 산화세륨 분말은 수용매 내에 분산된 슬러리 형태로 습식 밀링되는 산화세륨 나노분말의 제조방법
9 9
제 8항에 있어서, 상기 슬러리는 분산제 및 산화지르코늄 비드를 포함하는 산화세륨 나노분말의 제조방법
10 10
제 9항에 있어서, 상기 분산제는 폴리아크릴산, 폴리메타크릴릭산 및 폴리카르복실산 아민염에서 선택되는 하나 이상인 산화세륨 나노분말의 제조방법
11 11
제 9 항에 있어서, 상기 슬러리의 pH는 5 내지 10인 산화세륨 나노분말의 제조방법
12 12
삭제
13 13
제 1 항에 있어서, 상기 산화세륨 나노분말은 100nm이하의 입경을 가진 산화세륨 입자의 비율이 전체 산화세륨 입자에 대해 부피비로 50%이상인 산화세륨 나노분말의 제조방법
14 14
제 1 항에 있어서, 상기 산화세륨 나노분말은 100nm를 초과하는 입경을 가진 산화세륨 입자의 비율이 전체 산화세륨 입자에 대해 부피비로 25%이하인 산화세륨 나노분말의 제조방법
15 15
제 8 항에 있어서, 상기 밀링 단계 후 입경이 1 ㎛이상인 산화세륨 입자는 분쇄된 산화세륨 슬러리 5wt% 내에 200,000개/mL 이하인 산화세륨 나노분말의 제조방법
16 16
제 8 항에 있어서, 상기 밀링 단계 후 입경이 2 ㎛이상인 산화세륨 입자는 분쇄된 산화세륨 슬러리 5wt% 내에 20,000개/mL 이하인 산화세륨 나노분말의 제조방법
17 17
제 1 항에 있어서, 상기 산화세륨 나노분말은 분산도(D75-D25)가 5nm 내지 15nm인 산화세륨 나노분말의 제조방법
18 18
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19 19
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20 20
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21 21
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지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.