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폴리 실리콘의 처리 장치 및 방법

  • 기술번호 : KST2015060596
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요약 본 발명은 폴리 실리콘 내에 포함된 금속 불순물을 검출하는 장치 및 방법에 관한 것이다. 본 발명은, 폴리 실리콘을 촉매를 사용하여 분리하는 단계; 상기 분리된 폴리 실리콘을 280 도(℃) 이상의 온도로 가열하는 단계; 및 상기 폴리 실리콘 내에 함유된 금속 불순물을 검출하는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 폴리 실리콘의 처리 방법을 제공한다. 따라서,폴리 실리콘을 처리하여 금속 불순물의 검출함에 있어서, 검출 정확도가 모든 원소에서 개선되고, 최종 마감 용액을 종래의 1/5을 사용하며 측정 장비에는 전혀 영향을 주지 않고 측정하여, 검출 하한을 기존의 5배 이상 개선하였다.
Int. CL G01N 31/00 (2006.01) B01J 27/12 (2006.01) B01J 27/25 (2006.01) H01L 21/66 (2006.01)
CPC G01N 33/442(2013.01) G01N 33/442(2013.01) G01N 33/442(2013.01) G01N 33/442(2013.01)
출원번호/일자 1020100020628 (2010.03.09)
출원인 주식회사 엘지실트론
등록번호/일자 10-1064657-0000 (2011.09.06)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20110915) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.03.09)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 에스케이실트론 주식회사 대한민국 경상북도 구미시

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이성욱 대한민국 경상북도 구미시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김용인 대한민국 서울특별시 송파구 올림픽로 ** (잠실현대빌딩 *층)(특허법인(유한)케이비케이)
2 박영복 대한민국 서울특별시 강남구 논현로**길 **, *층(역삼동, 삼화빌딩)(특허법인 두성)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 에스케이실트론 주식회사 대한민국 경상북도 구미시
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2010.03.09 수리 (Accepted) 1-1-2010-0147718-58
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.01.10 수리 (Accepted) 4-1-2011-5005193-13
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2011.05.16 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2011.06.17 수리 (Accepted) 9-1-2011-0052434-80
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2011.06.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0362392-81
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2011.08.24 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0656910-58
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2011.08.24 수리 (Accepted) 1-1-2011-0656909-12
8 등록결정서
Decision to grant
2011.08.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0494476-24
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.05.28 수리 (Accepted) 4-1-2015-5070977-42
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.05.29 수리 (Accepted) 4-1-2015-5071326-18
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.08.31 수리 (Accepted) 4-1-2017-5140469-15
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.02.21 수리 (Accepted) 4-1-2018-5031039-07
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
폴리 실리콘을 촉매를 사용하여 분리하는 단계;상기 분리된 폴리 실리콘을 280 도(℃) 이상의 온도로 가열하는 단계; 및상기 폴리 실리콘 내에 함유된 금속 불순물을 검출하는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 폴리 실리콘의 처리 방법
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 폴리 실리콘을 분리하는 단계는,HF(불산)과 HNO3(질산)을 촉매로 사용하는 것을 특징으로 하는 폴리 실리콘의 처리 방법
3 3
제 1 항에 있어서,상기 폴리 실리콘은 (NH4)2SiF6로 잔존하고, 상기 잔존하는 (NH4)2SiF6는 상기 가열 단계에서 열분해되는 것을 특징으로 하는 폴리 실리콘의 처리 방법
4 4
제 1 항 또는 제 3 항에 있어서, 상기 가열 단계는,PTFE 재질의 용기 내에서, 상기 폴리 실리콘의 분리 후 잔존물을 가열하는 것을 특징으로 하는 폴리 실리콘의 처리 방법
5 5
제 1 항에 있어서, 상기 검출 단계는,AAS 또는 ICP-MS를 사용하여 상기 폴리 실리콘 내의 금속 불순물을 측정하는 것을 특징으로 하는 폴리 실리콘의 처리 방법
6 6
PTFE 재질로 이루어지는 용기;상기 용기 내부를 280 도(℃) 이상으로 가열할 수 있는 가열부; 및AAS 또는 ICP-MS를 포함하고, 상기 용기 내부의 금속을 검출하는 검출부를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 폴리 실리콘의 처리 장치
7 7
제 6 항에 있어서,상기 용기 내에 HF(불산)과 HNO3(질산)을 제공하는 촉매 제공부를 더 포함하는 폴리 실리콘의 처리 장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.