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1) 증착원의 증착 물질 수용부에 증착 물질을 채우는 단계,2) 상기 증착원을 기판에 근접 또는 밀착시키는 단계, 및3) 상기 증착원을 인덕션 방식으로 가열하여 상기 1) 단계에서 증착 물질 수용부에 채워진 증착 물질을 기판 상으로 증착하는 단계를 포함하고,상기 1) 단계의 증착원은 2 이상의 증착 물질 수용부를 포함하고, 상기 2 이상의 증착 물질 수용부는 격벽에 의하여 서로 분리되는 패턴 형성 방법
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청구항 1에 있어서, 상기 1) 단계의 증착원은 유리, 세라믹 또는 금속으로 형성된 증착물질 수용부와 철, 스테인리스 스틸을 포함한 철 합금, 니켈, 코발트 및 그 합금으로 이루어진 군으로부터 선택되는 인덕션 방식의 가열이 가능한 강자성체 (ferromagnetic) 재질의 가열부를 포함하는 것을 특징으로 하는 패턴 형성 방법
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청구항 1에 있어서, 상기 1) 단계의 증착 물질 수용부에 증착 물질을 채우는 방법은 디스펜서, 잉크젯, 스크린 프린팅, 롤(roll) 프린팅, 레이저(laser) 전사 및 가압식 전사로 이루어진 군으로부터 선택되는 방법을 이용하는 것을 특징으로 하는 패턴 형성 방법
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청구항 1에 있어서, 상기 1) 단계의 증착 물질은 인덕션 가열에 의해 증발하고 이동할 수 있는 물질인 것을 특징으로 하는 패턴 형성 방법
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청구항 1에 있어서, 상기 1) 단계의 증착 물질은 카바졸 유도체, 퀴놀린 유도체, 안트라센 유도체 및 피리딘 유도체로 이루어진 군으로부터 선택되는 1종 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 패턴 형성 방법
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삭제
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청구항 1에 있어서, 상기 2) 단계에서 상기 격벽은 기판과 밀착되는 것을 특징으로 하는 패턴 형성 방법
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청구항 1에 있어서, 상기 2) 단계의 기판의 재료는 유리, 고분자 판, 필름, 금속 판, 박판 및 이들의 복합 재료로 이루어진 군으로부터 선택되는 것을 특징으로 하는 패턴 형성 방법
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유리, 세라믹 또는 금속으로 형성되고, 상부에 격벽(7)으로 구획된 증착 물질 수용부(3)와 철, 스테인리스 스틸을 포함한 철 합금, 니켈, 코발트 및 그 합금으로 이루어진 군으로부터 선택되는 인덕션 방식의 가열이 가능한 강자성체 (ferromagnetic) 재질의 가열부를 포함하는 증착원(1); 및 상기 증착원의 하부에 접하여 구비되는 증착원 가열 기구(5)로 구성되는 것을 특징으로 하는 증착 장비
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