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검사 대상체에 전원을 공급하는 복수의 프루브를 포함하는 프루브 어레이,고정된 상기 대상체의 광학 검사를 위한 목표 위치에 상기 프루브 어레이를 이송하여 근접시키는 제2 스테이지부,상기 복수의 프루브 중 프루브 하나씩 순차적으로 구동시키기 위한 신호를 제공하는 신호처리 및 제어부, 그리고상기 대상체로부터 수광된 출력광에 대한 광 특성을 분석하고 상기 프루브에서 출력되는 전원에 대한 특성을 분석하는 광/전기 분석부를 포함하며,상기 프루브 어레이는,선택 전원이 인가되는 복수개의 선택선,상기 복수의 선택선에 수직 교차되며 동작 전원이 인가되는 복수개의 전원선,상기 복수의 선택선과 상기 복수의 전원선의 각 교차 지점에 각각 형성되어 있으며, 일단이 상기 복수의 전원선에 연결되고 상기 선택 전원에 의해 턴 온/오프 동작하는 복수의 동작 스위치와,상기 동작 스위치에 연결되어 있으며, 연결된 상기 동작 스위치의 턴 온시에 상기 동작 전원을 인가받아 동작하는 상기 복수의 프루브를 포함하는 것을 특징으로 하는 프루브 어레이를 이용한 전기광학 검사장치
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제1항에 있어서,상기 프루브 어레이는,상기 복수의 선택선에 연결되어 있으며, 상기 복수의 선택선 중 선택선 하나씩 순차적으로 상기 선택 전원을 인가하는 프루브 선택부와,상기 프루브 선택부의 동작에 동기하여 상기 복수의 전원선으로 상기 동작 전원을 인가하는 전원 인가부를 더 포함하되,상기 복수의 동작 스위치는 상기 프루브 선택부에서 상기 선택 전원을 인가하고 상기 복수의 전원선으로 상기 동작 전원이 인가되는 중에, 순차적으로 하나의 동작 스위치가 설정 시간동안 턴 온 후에 턴 오프하는 것을 특징으로 하는 프루브 어레이를 이용한 전기광학 검사장치
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제3항에 있어서,상기 프루브 어레이의 각 프루브는,선형의 도전성 와이어와 상기 도전성 와이어의 외주면에 광섬유 어레이가 다발형태로 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 프루브 어레이를 이용한 전기광학 검사장치
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제4항에 있어서, 상기 각 프루브는,상기 광섬유 어레이의 각 광섬유 끝단에 반구형의 집광렌즈가 각각 부착되어 있는 것을 특징으로 하는 프루브 어레이를 이용한 전기광학 검사장치
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제5항에 있어서,상기 각 프루브는,상기 광섬유 어레이와 상기 도전성 와이어를 외부 충격으로부터 보호하고 배열이 일정하게 유지되도록 감싸는 피복부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 프루브 어레이를 이용한 전기광학 검사장치
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제4항에 있어서,상기 광/전기 분석부는,상기 도전성 와이어를 통해 상기 목표 위치에 인가되는 전압 또는 전류를 발생하는 전압/전류 발생부,상기 프루브에 인가되는 상기 전압 또는 전류를 측정하는 전류/전압 측정부,상기 출력광을 분석하여 광 파워를 측정하는 광파워 분석기와,상기 출력광을 분석하여 광 파장을 측정하는 광파장 분석기를 포함하는 것을 특징으로 하는 프루브 어레이를 이용한 전기광학 검사장치
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제6항에 있어서,상기 신호처리 및 제어부의 제어에 따라 상기 대상체가 안착되는 척과 상기 대상체를 복수의 방향으로 이동시키는 제1 스테이지부를 더 포함하는 프루브 어레이를 이용한 전기광학 검사장치
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검사 대상체에 전원을 공급하는 복수의 프루브를 포함하는 프루브 어레이,고정된 상기 대상체의 광학 검사를 위한 목표 위치에 상기 프루브 어레이를 이송하여 근접시키는 제2 스테이지부,상기 복수의 프루브 중 프루브 하나씩 순차적으로 구동시키기 위한 신호를 제공하는 신호처리 및 제어부, 상기 대상체의 칩로부터 수광된 출력광을 수광하는 적분구, 그리고상기 적분구를 통해 상기 출력광을 수광하여 상기 출력광에 대한 광 특성을 분석하고 상기 프루브에서 출력되는 전원에 대한 특성을 분석하는 광/전기 분석부를 포함하며,상기 프루브 어레이는,선택 전원이 인가되는 복수개의 선택선,상기 복수의 선택선에 수직 교차되며 동작 전원이 인가되는 복수개의 전원선,상기 복수의 선택선과 상기 복수의 전원선의 각 교차 지점에 각각 형성되어 있으며, 일단이 상기 복수의 전원선에 연결되고 상기 선택 전원에 의해 턴 온/오프 동작하는 복수의 동작 스위치와,상기 동작 스위치에 각각 연결되어 있으며, 연결된 상기 동작 스위치의 턴 온시에 상기 동작 전원을 인가받아 동작하는 상기 복수의 프루브를 포함하는 것을 특징으로 하는 프루브 어레이를 이용한 전기광학 검사장치
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제9항에 있어서,상기 프루브 어레이는,상기 복수의 선택선에 연결되어 있으며, 상기 복수의 선택선 중 선택선 하나씩 순차적으로 상기 선택 전원을 인가하는 프루브 선택부와,상기 프루브 선택부의 동작에 동기하여 상기 복수의 전원선으로 상기 동작 전원을 인가하는 전원 인가부를 더 포함하되,상기 복수의 동작 스위치는 상기 프루브 선택부에서 상기 선택 전원을 인가하고 상기 복수의 전원선으로 상기 동작 전원이 인가되는 중에, 순차적으로 하나의 동작 스위치가 설정 시간동안 턴 온 후에 턴 오프하는 것을 특징으로 하는 프루브 어레이를 이용한 전기광학 검사장치
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제11항에 있어서,상기 신호처리 및 제어부의 제어에 따라 상기 대상체가 안착되는 척과 상기 대상체를 복수의 방향으로 이동시키는 제1 스테이지부를 더 포함하는 프루브 어레이를 이용한 전기광학 검사장치
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