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일체형 단열-히터를 구비한 태양전지용 다결정 실리콘 잉곳 제조장치

  • 기술번호 : KST2015061033
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 일체형 단열-히터를 구비한 태양전지용 다결정 실리콘 잉곳 제조장치에 관한 것으로, 해결하고자 하는 기술적 과제는 고상의 실리콘 원료를 측면 또는 상부에서 가열함과 동시에 하부에서 추가 가열하여 공정시간을 줄일 수 있고, 용해된 실리콘 원료의 응고열을 도가니 하부 방향으로만 효과적으로 제거시켜 실리콘 결정을 하부에서 상부 방향으로 균일하게 성장시킴으로써 대면적, 대용량의 고품질 실리콘 잉곳을 제조할 수 있는 일체형 단열-히터를 구비한 태양전지용 다결정 실리콘 잉곳 제조장치를 제공하는데 있다.이를 위해 본 발명에 따른 일체형 단열-히터를 구비한 태양전지용 다결정 실리콘 잉곳 제조장치는 실리콘 원료를 충진하는 도가니, 상기 도가니의 외부에 설치되어 도가니를 커버하는 써셉터, 상기 도가니 및 써셉터의 하부에 설치되어 도가니 및 써셉터를 지지하는 지지대, 상기 써셉터의 외부에 설치되어 상기 도가니 내의 실리콘 원료를 용해시키는 메인 히터 및 상기 메인 히터의 외부에 설치되어 열을 차단하는 단열재로 이루어지는 메인 히터부, 상기 지지대의 하부에 상기 지지대와 서로 이격공간을 가지며 설치되어 상기 도가니 내의 실리콘 원료를 용해시키는 한 쌍의 서브 히터와 상기 서브 히터의 하부에 설치되어 열을 차단하는 한 쌍의 단열판과 상기 서브 히터와 단열판 사이에 설치되되 상기 서브 히터와 단열판을 일체로 연결시키는 한 쌍의 절연판 및 상기 서브 히터를 관통하며 설치되되 자체 회전으로 상기 서브 히터를 개별적으로 회전시키는 한 쌍의 회전 전극이 구비된 서브 히터부 및 상기 서브 히터부의 하측에 설치되되 상기 도가니에 접근하여 용해된 실리콘 원료의 응고열을 제거하는 냉각부를 포함하되, 상기 서브 히터는 상기 회전 전극의 회전으로 하부로 대응하게 회전하여 상기 지지대 하부에 개방부를 형성하고, 상기 냉각부는 상부로 이동하되 상기 개방부를 지나 상기 도가니에 접근하여 용해된 실리콘 원료를 응고시켜 실리콘 잉곳을 제조하는 것을 특징으로 한다.
Int. CL H01L 31/18 (2014.01) H01L 31/04 (2014.01)
CPC H01L 31/182(2013.01) H01L 31/182(2013.01) H01L 31/182(2013.01) H01L 31/182(2013.01)
출원번호/일자 1020100049509 (2010.05.27)
출원인 한국화학연구원
등록번호/일자 10-1116235-0000 (2012.02.07)
공개번호/일자 10-2011-0130067 (2011.12.05) 문서열기
공고번호/일자 (20120309) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.05.27)
심사청구항수 11

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국화학연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 문상진 대한민국 대전광역시 유성구
2 소원욱 대한민국 대전광역시 유성구
3 구명회 대한민국 대전광역시 서구
4 박동순 대한민국 대전광역시 서구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이원희 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, 성지하이츠빌딩*차 ***호 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국화학연구원 대전광역시 유성구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2010.05.27 수리 (Accepted) 1-1-2010-0339883-76
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2011.05.12 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2011.06.17 수리 (Accepted) 9-1-2011-0052983-23
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2011.10.04 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0570071-19
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2011.10.18 수리 (Accepted) 1-1-2011-0813511-38
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2011.10.18 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0813512-84
7 등록결정서
Decision to grant		 2012.02.03 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0067835-53
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.09.14 수리 (Accepted) 4-1-2017-5149265-52
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.09.14 수리 (Accepted) 4-1-2017-5149242-13
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
실리콘 원료가 주입되는 도가니;상기 도가니의 외부에 설치되어 도가니를 커버하는 써셉터;상기 도가니 및 써셉터의 하부에 설치되어 도가니 및 써셉터를 지지하는 지지대;상기 써셉터의 외부에 설치되어 상기 도가니 내의 실리콘 원료를 용해시키는 메인 히터 및 상기 메인 히터의 외부에 설치되어 열을 차단하는 단열재로 이루어지는 메인 히터부;상기 지지대의 하부에 상기 지지대와 서로 이격공간을 가지며 설치되어 상기 도가니 내의 실리콘 원료를 용해시키는 한 쌍의 서브 히터와, 상기 서브 히터의 하부에 설치되어 열을 차단하는 한 쌍의 단열판과, 상기 서브 히터와 단열판 사이에 설치되되 상기 서브 히터와 단열판을 일체로 연결시키는 한 쌍의 절연판 및 상기 서브 히터를 관통하며 설치되되 자체 회전으로 상기 서브 히터를 개별적으로 회전시키는 한 쌍의 회전 전극이 구비된 서브 히터부; 및상기 서브 히터부의 하측에 설치되되 상기 도가니에 접근하여 용해된 실리콘 원료의 응고열을 제거하는 냉각부를 포함하되,상기 서브 히터는 상기 회전 전극의 회전으로 하부로 대응하게 회전하여 상기 지지대 하부에 개방부를 형성하고,상기 냉각부는 상부로 이동하되 상기 개방부를 지나 상기 도가니에 접근하여 용해된 실리콘 원료를 응고시켜 실리콘 잉곳을 제조하는 것을 특징으로 하는 일체형 단열-히터를 구비한 태양전지용 다결정 실리콘 잉곳 제조장치
2 2
제 1항에 있어서,상기 서브 히터는 상기 회전 전극을 축으로 하부로 90°회전하여 상기 개방부를 형성하는 것을 특징으로 하는 일체형 단열-히터를 구비한 태양전지용 다결정 실리콘 잉곳 제조장치
3 3
제 1항에 있어서,상기 서브 히터는 상기 지지대 하부의 동일평면 상에 설치되는 것을 특징으로 하는 일체형 단열-히터를 구비한 태양전지용 다결정 실리콘 잉곳 제조장치
4 4
제 1항에 있어서,상기 서브 히터는 그래파이트(graphite) 재질로 이루어지는 것을 특징으로 하는 일체형 단열-히터를 구비한 태양전지용 다결정 실리콘 잉곳 제조장치
5 5
제 1항에 있어서,상기 절연판은 세라믹 재질로 이루어지는 것을 특징으로 하는 일체형 단열-히터를 구비한 태양전지용 다결정 실리콘 잉곳 제조장치
6 6
제 1항에 있어서,상기 단열판은 그래파이트(graphite) 재질로 이루어지는 것을 특징으로 하는 일체형 단열-히터를 구비한 태양전지용 다결정 실리콘 잉곳 제조장치
7 7
제 1항에 있어서,상기 회전 전극은 상기 서브 히터에 전원을 공급하는 것을 특징으로 하는 일체형 단열-히터를 구비한 태양전지용 다결정 실리콘 잉곳 제조장치
8 8
제 1항에 있어서,상기 실리콘 원료를 응고시키는 경우, 상기 회전 전극을 제어하여 상기 서브 히터를 하부로 회전시키는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 일체형 단열-히터를 구비한 태양전지용 다결정 실리콘 잉곳 제조장치
9 9
제 8항에 있어서,상기 제어부는 상기 냉각부의 상하이동을 제어하는 것을 특징으로 하는 일체형 단열-히터를 구비한 태양전지용 다결정 실리콘 잉곳 제조장치
10 10
제 1항에 있어서,상기 냉각판은 내부에 냉매가 유동하는 냉매유로가 구비된 것을 특징으로 하는 일체형 단열-히터를 구비한 태양전지용 다결정 실리콘 잉곳 제조장치
11 11
제 1항에 있어서,상기 메인 히터부는 상기 써셉터의 외측에 설치되어 상기 실리콘 원료를 측면에서 가열하는 것을 특징으로 하는 일체형 단열-히터를 구비한 태양전지용 다결정 실리콘 잉곳 제조장치
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업기술연구회 한국화학연구원 기관고유사업 태양전지 및 연료전지 기반 소재기술 개발