| 1 |
1
탄화규소 재질의 상, 하판;상기 상, 하판에 형성된 홀에 삽입된 잉곳 (ingot);일면이 상기 잉곳과 접하도록 상기 홀에 삽입되고, 타면에 오목부가 형성된 펠트 (felt); 및 상기 펠트의 오목부에 결합되어, 상기 상, 하판을 조립하는 로드 (Rod)를 포함하되,상기 상, 하판, 잉곳, 펠트, 로드가 서로 접하는 계면은 탄화규소 재질인 고순도 탄화규소 웨이퍼 캐리어
|
| 2 |
2
제 1항에 있어서,상기 펠트 중 상기 상, 하판에 형성된 홀에 삽입되는 외면의 형태는 상기 홀의 형태와 부합하는 고순도 탄화규소 웨이퍼 캐리어
|
| 3 |
3
제 2항에 있어서,상기 동일한 형태는 역사다리꼴 형태인 고순도 탄화규소 웨이퍼 캐리어
|
| 4 |
4
제 1항에 있어서,상기 잉곳의 무게는 상기 펠트 무게의 70% 내지 150%인 고순도 탄화규소 웨이퍼 캐리어
|
| 5 |
5
제 1항에 있어서,상기 펠트의 두께는 상기 홀의 깊이 이하인 고순도 탄화규소 웨이퍼 캐리어
|
| 6 |
6
(a) 탄화규소 분체를 성형하여 홀이 형성된 상, 하판을 형성하는 단계;(b) 상기 홀 형태와 매칭하는 형태이며 일면에 오목부가 형성된 흑연 재질의 펠트 (felt) 내부에 형성된 다수의 홀에 탄화규소 입자를 충진하는 단계;(c) 상기 상, 하판의 홀에 실리콘 재질의 잉곳 (ingot)을 삽입하는 단계;(d) 상기 탄화규소 입자가 충진된 펠트의 타면을 상기 잉곳과 접하도록 상기 상, 하판의 홀에 삽입하는 단계;(e) 탄화규소 재질의 로드 (rod)를 상기 탄화규소 입자가 충진된 펠트의 오목부에 결합하여, 상기 상, 하판을 조립하는 단계;(f) 상기 잉곳, 탄화규소 입자가 충진된 펠트, 및 로드로 조립된 상, 하판과 반응용 실리콘을 도가니에 투입한 후, 진공 분위기에서 가열하는 단계를 포함하는 고순도 탄화규소 웨이퍼 캐리어 제조 방법
|
| 7 |
7
제 6항에 있어서상기 (a) 단계의 성형은 탄화규소 분체를 탄소 분말과 혼합하여 성형하는 고순도 탄화규소 웨이퍼 캐리어 제조 방법
|
| 8 |
8
제 6항에 있어서,상기 (b) 단계의 충진은,상기 펠트를 탄화규소 입자를 함유하는 용액에 함침 및 건조하여 상기 다수의 홀에 탄화규소 입자를 충진하는 고순도 탄화규소 웨이퍼 캐리어 제조 방법
|
| 9 |
9
상기 8항에 있어서,상기 펠트의 두께는 상기 홀의 깊이 이하인 고순도 탄화규소 웨이퍼 캐리어 제조 방법
|
| 10 |
10
상기 6항에 있어서,상기 (c) 단계의 잉곳의 무게는 상기 펠트의 무게의 70% 내지 150%인 고순도 탄화규소 웨이퍼 캐리어 제조 방법
|
| 11 |
11
제 6항 내지 제 10항 중 어느 한 항에 있어서,상기 (f) 단계의 가열은 1600℃의 온도에서 가열하는 고순도 탄화규소 웨이퍼 캐리어 제조 방법
|
