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웨이퍼 지지장치

  • 기술번호 : KST2015061550
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요약 웨이퍼 지지장치가 개시된다. 웨이퍼 지지장치는 제 1 방향으로 연장되고, 웨이퍼를 지지하고, 상기 웨이퍼가 일부 삽입되기 위한 슬롯이 형성되는 가이드부; 및 상기 가이드부를 지지하는 지지부을 포함하고, 상기 슬롯은 상기 제 1 방향에 대하여 수직한 제 2 방향에 대하여 제 1 각도로 경사지는 제 1 경사면; 및 상기 제 1 경사면으로부터 연장되며, 상기 제 2 방향에 대하여 제 2 각도로 경사지는 제 2 경사면을 포함한다.
Int. CL H01L 21/683 (2006.01) H01L 21/673 (2006.01)
CPC H01L 21/68785(2013.01) H01L 21/68785(2013.01)
출원번호/일자 1020100062497 (2010.06.30)
출원인 주식회사 엘지실트론
등록번호/일자 10-1169154-0000 (2012.07.20)
공개번호/일자 10-2012-0001889 (2012.01.05) 문서열기
공고번호/일자 (20120730) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.06.30)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 에스케이실트론 주식회사 대한민국 경상북도 구미시

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 최충효 대한민국 경상북도 구미시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 서교준 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 **길**, **층 (역삼동, 케이앤아이타워)(특허사무소소담)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 에스케이실트론 주식회사 경상북도 구미시
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2010.06.30 수리 (Accepted) 1-1-2010-0422003-51
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.01.10 수리 (Accepted) 4-1-2011-5005193-13
3 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2012.01.06 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0011523-78
4 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2012.03.05 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-0179680-75
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2012.03.05 수리 (Accepted) 1-1-2012-0179679-28
6 등록결정서
Decision to grant
2012.07.11 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0398617-81
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.05.28 수리 (Accepted) 4-1-2015-5070977-42
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.05.29 수리 (Accepted) 4-1-2015-5071326-18
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.08.31 수리 (Accepted) 4-1-2017-5140469-15
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.02.21 수리 (Accepted) 4-1-2018-5031039-07
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번호 청구항
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지지부;상기 지지부에 제 1 높이로 고정되고, 제 1 방향으로 연장되는 제 1 가이드 콤;상기 제 1 방향으로 연장되며, 상기 지지부에 상기 제 1 높이보다 더 낮은 제 2 높이로 고정되는 제 2 가이드 콤;상기 제 1 방향으로 연장되며, 상기 지지부에 상기 제 2 높이보다 더 낮은 제 3 높이로 고정되는 제 3 가이드 콤; 및상기 제 1 방향으로 연장되며, 상기 지지부에 상기 제 1 높이보다 더 높은 제 4 높이로 고정되는 제 4 가이드 콤를 포함하며,상기 제 2 가이드 콤 및 상기 제 3 가이드 콤 사이의 간격은 상기 제 1 가이드 콤 및 상기 제 2 가이드 콤 사이의 간격보다 더 큰 웨이퍼 지지장치
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제 8 항에 있어서, 상기 제 3 가이드 콤 및 상기 제 4 가이드 콤 사이의 간격은 상기 2 가이드 콤 및 상기 제 3 가이드 콤 사이의 간격보다 더 큰 웨이퍼 지지장치
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제 8 항에 있어서, 상기 제 1 내지 제 4 가이드 콤들은 다수 개의 슬롯들을 포함하는 웨이퍼 지지장치
11 11
제 10 항에 있어서, 상기 슬롯은상기 제 1 방향에 대하여 수직한 제 2 방향에 대하여 제 1 각도로 경사지는 제 1 경사면; 및상기 제 1 경사면으로부터 연장되며, 상기 제 2 방향에 대하여 제 2 각도로 경사지는 제 2 경사면을 포함하는 웨이퍼 지지장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.