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기판 상에 투명전극층을 형성하는 단계를 포함하고, 상기 투명전극층을 형성하는 단계는,상기 기판 상에 시드층을 증착하는 단계; 및상기 시드층 상에 벌크막을 증착하는 단계를 포함하고,상기 시드층은 아르곤(Ar)과 산소(O2)의 혼합 분위기 하에서 증착하고, 상기 벌크막은 아르곤(Ar) 분위기 하에서 증착하는 태양 전지 모듈 제조 방법
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제1항에 있어서,상기 시드층을 증착하는 단계는, 상기 아르곤(Ar)과 상기 산소(O2)의 분압비가 24:1 내지 9:1인 태양 전지 모듈 제조방법
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제1항에 있어서,상기 시드층을 증착하는 단계는, 상기 시드층을 50 내지 150nm로 증착하는 태양 전지 모듈 제조방법
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제1항에 있어서,상기 형성된 투명전극층을 에칭하는 단계를 포함하는 태양 전지 모듈 제조방법
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제4항에 있어서,상기 에칭된 벌크막 상에 광전변환층을 형성하는 단계를 포함하는 태양 전지 모듈 제조방법
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제1항에 있어서,상기 투명전도층은 산화아연(ZnO)계 물질에 알루미늄(Al), 갈륨(Ga), 불소(F), 게르마늄(Ge), 마그네슘(Mg), 보론(B), 인듐(In), 주석(Sn), 리튬(Li) 중에서 선택된 적어도 어느 하나 이상의 물질이 도핑된 것을 특징으로 하는 태양 전지 모듈 제조 방법
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제1항에 있어서,상기 투명전도층은 스퍼터링에 의해 형성되는 태양 전지 모듈 제조 방법
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기판; 및 상기 기판 상의 투명전극층을 포함하고,상기 투명전극층은, 상기 기판 상의 시드층 및 상기 시드층 상의 벌크막을 포함하며,상기 시드층의 결정도가 상기 벌크막의 결정도보다 큰 태양 전지 모듈
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제8항에 있어서, 상기 시드층의 산소 함유량은 상기 벌크막의 산소 함유량보다 높은 태양 전지 모듈
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제8항에 있어서, 상기 시드층의 비저항은 상기 벌크막의 비저항보다 높은 태양 전지 모듈
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제8항에 있어서,상기 시드층의 두께는 50 내지 150nm인 태양 전지 모듈
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제8항에 있어서, 상기 투명전도층은, 산화아연(ZnO)계 물질에 알루미늄(Al), 갈륨(Ga), 불소(F), 게르마늄(Ge), 마그네슘(Mg), 보론(B), 인듐(In), 주석(Sn), 리튬(Li) 중에서 선택된 적어도 어느 하나 이상의 물질이 도핑된 태양 전지 모듈
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제8항에 있어서,상기 투명전극층의 표면은 요철 구조를 이루는 태양 전지 모듈
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제8항에 있어서,상기 투명전극층 상에 순차적으로 위치한 광전변환층, 후면 전극층, 밀봉필름 및 후면 기판을 포함하는 태양 전지 모듈
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