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제1 중심 입경을 가지는 제1 탄화 규소 분체와, 상기 제1 중심 입경보다 작은 제2 중심 입경을 가지는 제2 탄화 규소 분체를 혼합하는 원료 혼합 단계; 및상기 혼합된 원료를 열처리하여 탄화 규소 소결체를 형성하는 가열 단계를 포함하고,상기 제1 중심 입경은 1㎛ 내지 5㎛이고, 상기 제2 중심 입경은 30㎚ 이상, 1㎛ 미만인 탄화 규소 소결체의 제조 방법
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제1항에 있어서,상기 가열 단계에서 가압을 하여 성형하는 단계를 함께 수행하는 탄화 규소 소결체의 제조 방법
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제4항에 있어서, 상기 원료 혼합 단계에서, 상기 제2 탄화 규소 분체가 상기 제1 탄화 규소 분체와 동일하거나 상기 제1 탄화 규소 분체보다 더 많이 포함되는 탄화 규소 소결체의 제조 방법
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제1항에 있어서, 상기 원료 혼합 단계와 상기 가열 단계 사이에, 상기 혼합된 원료를 성형하는 성형 단계를 포함하고, 상기 가열 단계에서, 상기 성형된 혼합 원료에 실리콘을 첨가하여 가열하는 탄화 규소 소결체의 제조 방법
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제7항에 있어서, 상기 원료 혼합 단계에서, 상기 제2 탄화 규소 분체가 상기 제1 탄화 규소 분체와 동일하거나 상기 제1 탄화 규소 분체보다 더 적게 포함되는 탄화 규소 소결체의 제조 방법
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제7항에 있어서,상기 성형 단계와 상기 열처리 단계 사이에 가공 단계를 더 포함하는 탄화 규소 소결체의 제조 방법
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제1항, 제4항, 제 5항, 제 7항, 제8항 및 제10항 중 어느 한 항에 따른 탄화 규소 소결체의 제조 방법에 의하여 제조된 탄화 규소 소결체를 포함하는 서셉터
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