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챔버;상기 챔버 내에 위치한 단열 부재; 상기 단열 부재 내에 위치한 반응 용기; 상기 반응 용기와 상기 단열 부재 사이에서 위치하여 상기 반응 용기를 가열하며, 상기 단열 부재의 외부로 연장되는 연장부를 포함하는 가열 부재;상기 단열 부재로부터 외부로 연장되며, 상기 가열 부재의 연장부와 이격되도록 상기 가열 부재의 연장부를 감싸는 차단 부재; 및상기 차단 부재와 상기 가열 부재 사이에 위치하는 절연 부재를 포함하고,상기 절연 부재는, 상기 차단 부재와 상기 가열 부재 사이를 메워 상기 가열 부재의 연장부와 상기 차단 부재 사이를 밀봉하는 진공 열처리 장치
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제1항에 있어서, 상기 절연 부재는 상기 차단 부재의 단부에 위치하는 진공 열처리 장치
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제1항에 있어서
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제1항에 있어서, 상기 차단 부재가 흑연을 포함하는 진공 열처리 장치
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제1항에 있어서,상기 차단 부재와 상기 단열 부재가 일체로 이루어지는 진공 열처리 장치
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제1항에 있어서,상기 차단 부재가 실린더 형상으로 형성되는 진공 열처리 장치
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제1항에 있어서,상기 차단 부재에, 상기 단열 부재 내부로 가스를 주입하는 가스 주입구가 형성되는 진공 열처리 장치
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제9항에 있어서,상기 가스 주입구로 비활성 가스가 주입되는 진공 열처리 장치
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제1항에 있어서,상기 진공 열처리 장치가 탄화 규소의 제조에 이용되는 진공 열처리 장치
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