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고분자 수지 화합물 및 이를 포함하는 감광성 수지 조성물

  • 기술번호 : KST2015062262
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요약 본 발명은 특정 구조의 반복 단위를 포함하는 고분자 수지 화합물 및 이를 포함하는 감광성 수지 조성물에 관한 것으로서, 이러한 고분자 수지 화합물을 이용하면 반도체 장치 또는 디스플레이 장치에 사용 되는 기판에 대하여 높은 밀착성을 구현하면서도 내열성 및 내약품성 등의 물성이 우수하고, 고해상도, 고감도, 우수한 필름 특성 및 향상된 기계적 물성을 나타낼 수 있다.
Int. CL G03F 7/004 (2006.01) C08G 73/14 (2006.01) C08G 73/06 (2006.01) C08G 73/18 (2006.01)
CPC G03F 7/0045(2013.01) G03F 7/0045(2013.01) G03F 7/0045(2013.01) G03F 7/0045(2013.01) G03F 7/0045(2013.01) G03F 7/0045(2013.01)
출원번호/일자 1020100078005 (2010.08.12)
출원인 주식회사 엘지화학
등록번호/일자 10-1217264-0000 (2012.12.24)
공개번호/일자 10-2011-0115944 (2011.10.24) 문서열기
공고번호/일자 (20121231) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보 대한민국  |   1020100035517   |   2010.04.16
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.08.12)
심사청구항수 14

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 주식회사 엘지화학 대한민국 서울특별시 영등포구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김상우 대한민국 대전광역시 유성구
2 정혜원 대한민국 대전광역시 서구
3 신세진 대한민국 대전광역시 유성구
4 김경준 대한민국 대전광역시 유성구
5 조정호 대한민국 경기도 안양시 동안구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 유미특허법인 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, 서림빌딩 **층 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 주식회사 엘지화학 서울특별시 영등포구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2010.08.12 수리 (Accepted) 1-1-2010-0520330-42
2 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2012.04.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0232062-04
3 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2012.06.21 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-0493957-04
4 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2012.06.21 수리 (Accepted) 1-1-2012-0493956-58
5 등록결정서
Decision to grant
2012.11.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0721186-93
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.01.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-5000389-31
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.12.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-5161532-51
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.11.12 수리 (Accepted) 4-1-2018-5227604-80
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.12.19 수리 (Accepted) 4-1-2018-5261818-30
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.08.19 수리 (Accepted) 4-1-2019-5164284-96
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
하기 화학식1의 반복 단위 및 화학식 2의 반복 단위로 이루어진 군에서 선택된 하나 이상의 반복 단위를 포함하며, 기판에 대한 금속접착력이 우수한 고분자 수지 화합물: [화학식1][화학식2]상기 화학식1,2에서, X1, X2, X3 및 X4는 각각 4가의 유기기이고, Y1 및 Y3은 각각 하기 화학식 31의 페놀성 히드록실기를 갖는 2가의 유기기이고, Y2 및 Y4는 디티오디아닐린으로부터 유래되는 2가의 유기기를 포함하며,R1, R2, R3 및 R4는 각각 수소 또는 탄소수 1 내지 10의 알킬기 또는 실릴알킬기이다
2 2
제1항에 있어서,상기 X1, X2, X3 및 X4는 각각 탄소수 4 내지 40의 지환족(Alicyclic) 고리 또는 방향족(aromatic) 고리를 포함하는 4가의 유기기; 또는 탄소수 4 내지 20의 4가 지방족(Aliphatic) 유기기인 고분자 수지 화합물
3 3
제1항에 있어서,상기 X1, X2, X3 및 X4는 각각 하기 화학식 5 내지 23의 유기기들로 이루어진 군에서 선택된 하나를 포함하는 고분자 수지 화합물
4 4
삭제
5 5
삭제
6 6
제1항에 있어서, 알카리 가용성인 고분자 수지 화합물
7 7
제1항에 있어서, 1,000 내지 500,000의 중량평균분자량을 갖는 고분자 수지 화합물
8 8
제1항에 있어서, 하기 화학식 3의 반복 단위 및 화학식 4의 반복 단위로 이루어진 군에서 선택된 하나 이상의 반복 단위를 더 포함하는 고분자 수지 화합물:[화학식3][화학식4]상기 화학식3,4에서, X5 및 X6는 각각 각각 탄소수 4 내지 40의 지환족(Alicyclic) 고리 또는 방향족(aromatic) 고리를 포함하는 4가의 유기기; 또는 탄소수 4 내지 20의 4가의 지방족(Aliphatic) 유기기이고,Y5 및 Y6은 각각 하기 화학식 35 내지 52의 2가의 유기기로 이루어진 군에서 선택되고,R5 및 R6는 각각 수소 또는 탄소수 1 내지 10의 알킬기 또는 실릴알킬기이고,[화학식35] [화학식36] [화학식37] [화학식38][화학식39][화학식40]*[화학식41][화학식42][화학식43][화학식44][화학식45]*[화학식46][화학식47][화학식48][화학식49][화학식50][화학식51]상기 화학식51에서, R1은 탄소수 2 내지 8의 알킬렌 또는 아릴렌이고, R2는 탄소수 2 내지 8의 알킬렌이고, a,b는 각각 0 또는 1이고, c는 1 내지 21의 정수이고,[화학식52]상기 화학식52에서, d는 1 내지 12의 정수이다
9 9
제1항 내지 제3항, 제6 내지 제8항 중 어느 한 항의 고분자 수지 화합물;광활성 화합물(Photo-active compound); 및유기 용매를 포함하고,폴리스티렌 환산 중량평균분자량이 2,500 내지 15,000인 노볼락 수지를 더 포함하는 감광성 수지 조성물
10 10
제9항에 있어서,상기 광활성 화합물은 디아조나프토퀴논계 화합물을 포함하는 감광성 수지 조성물
11 11
제9항에 있어서,상기 광활성 화합물은 하기 화학식 53 내지 60의 다이아조나프토퀴논계 화합물들에서 선택된 1종 이상을 포함하는 감광성 수지 조성물
12 12
제9항에 있어서,상기 유기 용매는 N-메틸-2-피롤리돈, γ-부티로락톤, N, N-디메틸아세트아미드, 디메틸설폭사이드, 디에틸렌글리콜디메틸에테르, 디에틸렌 글리콜디에틸에테르, 디에틸렌글리콜디부틸에테르, 프로필렌글리콜모노메틸에테르, 디프로필렌글리콜모노메틸에테르, 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트, 락트산 메틸, 락트산에틸, 락트산부틸, 메틸-1,3-부틸렌글리콜아세테이트, 1,3-부틸렌글리콜-3-모노메틸에테르, 피루브산메틸, 피루브산에틸 및 메틸-3-메톡시 프로피오네이트로 이루어진 군에서 선택된 1종 이상을 포함하는 감광성 수지 조성물
13 13
삭제
14 14
제9항에 있어서,상기 고분자 수지 100중량부에 대하여, 상기 광활성 화합물 1내지 50 중량부; 및상기 유기 용매 20 내지 2000 중량부를 포함하는 감광성 수지 조성물
15 15
제9항에 있어서,노광부가 현상 되는 포지티브형인 감광성 수지 조성물
16 16
제9항의 감광성 수지 조성물로부터 형성된 유기 절연막 또는 감광성 패턴을 포함하는 전자 소자
17 17
제16항에 있어서,상기 유기 절연막은 층간 절연막, 표면보호막, 전극보호층 버퍼 코트막 또는 패시베이션막을 포함하고, 상기 전자 소자는 반도체 장치 또는 디스플레이 장치의 부품을 포함하는 전자 소자
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.