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광활성 화합물 및 이를 포함하는 포지티브형 감광성 조성물

  • 기술번호 : KST2015062382
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 상기 화학식 1로 표시되는 광활성 화합물 및 이를 포함하는 포지티브형 감광성 조성물에 관한 것이다. 본 발명에 따르면 광활성 화합물의 중심부를 이루는 발라스트 구조 내에 자외선 조사에 의해 분해가 가능한 작용기를 추가로 포함함으로써 노광부의 용해속도를 더욱 증가시켜 고해상도용 감광성 조성물을 제공할 수 있게 된다.
Int. CL G03F 7/039 (2006.01) C07C 323/66 (2006.01) G03F 7/004 (2006.01)
CPC G03F 7/0392(2013.01) G03F 7/0392(2013.01) G03F 7/0392(2013.01) G03F 7/0392(2013.01) G03F 7/0392(2013.01) G03F 7/0392(2013.01)
출원번호/일자 1020100088524 (2010.09.09)
출원인 주식회사 엘지화학
등록번호/일자 10-1380969-0000 (2014.03.27)
공개번호/일자 10-2012-0026356 (2012.03.19) 문서열기
공고번호/일자 (20140404) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2013.03.27)
심사청구항수 11

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 주식회사 엘지화학 대한민국 서울특별시 영등포구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 오동현 대한민국 대전광역시 유성구
2 김경준 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인씨엔에스 대한민국 서울 강남구 언주로 **길 **, 대림아크로텔 *층(도곡동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 주식회사 엘지화학 서울특별시 영등포구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2010.09.09 수리 (Accepted) 1-1-2010-0587601-13
2 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)		 2012.09.26 수리 (Accepted) 1-1-2012-0785892-40
3 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)		 2013.03.27 수리 (Accepted) 1-1-2013-0265156-47
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2013.11.07 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2013.12.17 수리 (Accepted) 9-1-2013-0105833-95
6 등록결정서
Decision to grant		 2014.01.09 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0020643-28
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.01.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-5000389-31
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.12.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-5161532-51
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.11.12 수리 (Accepted) 4-1-2018-5227604-80
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.19 수리 (Accepted) 4-1-2018-5261818-30
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.08.19 수리 (Accepted) 4-1-2019-5164284-96
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
하기 화학식 1로 표시되는 광활성 화합물
2 2
(a) 스페이서 분자의 알데히드 또는 케톤의 옥심을 제조하는 단계,(b) DNQ 분자들이 연결된 벤젠고리의 카르복시산 또는 술폰산을 티오닐 클로라이드로 처리하는 단계, 및 (c) 스페이서의 옥심과 DNQ가 연결된 벤조산 클로라이드 또는 술포닐 클로라이드를 커플링하는 단계를 포함하는 화학식 1로 표시되는 광활성 화합물의 제조방법
3 3
제 1 항에 따른 광활성 화합물, 알칼리 가용성 수지, 및 유기용매를 포함하는 포지티브형 감광성 조성물
4 4
제 3 항에 있어서, 상기 감광성 조성물은 알칼리 가용성 수지 100중량부에 대하여 광활성 화합물 0
5 5
제 3 항에 있어서,상기 알칼리 가용성 수지는 노볼락 수지, 폴리이미드 수지, 또는 아크릴 수지인 것을 특징으로 하는 포지티브형 감광성 조성물
6 6
제 3 항에 있어서,상기 알칼리 가용성 수지의 중량평균분자량(Mw)은 3000 내지 100000 의 범위인 것을 특징으로 하는 포지티브형 감광성 조성물
7 7
제 3 항에 있어서,상기 유기용매는 케톤류, 글리콜에테르류, 및 아세테이트류로 이루어진 군으로부터 선택되는 1종 이상인 것을 특징으로 하는 포지티브형 감광성 조성물
8 8
제 3 항에 있어서,상기 감광성 조성물은 접착증진제 또는 계면활성제를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 포지티브형 감광성 조성물
9 9
제 8 항에 있어서,상기 접착증진제는 반응성 작용기를 갖는 실란 커플링제인 것을 특징으로 하는 포지티브형 감광성 조성물
10 10
제 8 항에 있어서,상기 계면활성제는 불소계 계면활성제, 실리콘계 계면활성제, 및 비이온계 계면활성제로 이루어진 군으로부터 선택되는 1종 이상인 것을 특징으로 하는 포지티브형 감광성 조성물
11 11
제 3 항에 있어서,상기 감광성 조성물은 기공크기 0
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.