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기판;상기 기판 상에 배치되는 이면전극층;상기 이면전극층 상에 배치되는 광 흡수층;상기 광 흡수층 상에 배치되는 윈도우층을 포함하고,상기 윈도우층은상기 광 흡수층에 인접하여 배치되는 제 1 영역; 및상기 제 1 영역 상에 배치되는 제 2 영역을 포함하고,상기 제 1 영역은 상기 제 2 영역보다 더 높은 농도로 도전성 도펀트를 포함하는 태양광 발전장치
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제 1 항에 있어서, 상기 도전성 도펀트의 농도는 상기 광 흡수층에 가까워질수록 더 증가하는 태양광 발전장치
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제 1 항에 있어서, 상기 도전성 도펀트는 알루미늄(Al), 알루미나(Al2O3), 마그네슘(Mg) 및 갈륨(Ga)으로 구성되는 그룹으로부터 선택되는 태양광 발전장치
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제 1 항에 있어서, 상기 제 1 영역에서 상기 도전성 도펀트의 농도는 상기 광 흡수층에 가까워짐에 따라서 증가하고,상기 제 2 영역에서 상기 도전성 도펀트의 농도는 상기 광 흡수층에 가까워짐에 따라서 증가하는 태양광 발전장치
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제 4 항에 있어서, 상기 제 1 영역에서의 상기 광 흡수층과의 거리에 대한 상기 도전성 도펀트 농도의 제 1 기울기는 상기 제 2 영역에서의 상기 광 흡수층과의 거리에 대한 상기 도전성 도펀트 농도의 제 2 기울기와 동일한 태양광 발전장치
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제 4 항에 있어서, 상기 제 1 영역에서의 상기 광 흡수층과의 거리에 대한 상기 도전성 도펀트 농도의 제 1 기울기는 상기 제 2 영역에서의 상기 광 흡수층과의 거리에 대한 상기 도전성 도펀트 농도의 제 2 기울기보다 더 큰 태양광 발전장치
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제 4 항에 있어서, 상기 제 1 영역에서의 상기 광 흡수층과의 거리에 대한 상기 도전성 도펀트 농도의 제 1 기울기는 상기 제 2 영역에서의 상기 광 흡수층과의 거리에 대한 상기 도전성 도펀트 농도의 제 2 기울기보다 더 작은 태양광 발전장치
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제 1 항에 있어서, 상기 광 흡수층에는 관통홈이 형성되고,상기 윈도우층과 일체로 형성되며, 상기 이면전극층에 접속되는 접속부를 포함하고,상기 접속부는 상기 이면전극층과 직접 접촉하는 하부 영역 및 상기 하부 영역상에 배치되는 상부 영역을 포함하고,상기 하부 영역은 상기 상부 영역보다 더 높은 농도로 상기 도전성 도펀트를 포함하는 태양광 발전장치
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삭제
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기판 상에 이면전극층을 형성하는 단계;상기 이면전극층 상에 광 흡수층을 형성하는 단계; 및상기 광 흡수층 상에 윈도우층을 형성하는 단계;를 포함하며,상기 윈도우층은상기 광 흡수층에 인접하여 배치되는 제 1 영역; 및상기 제 1 영역 상에 배치되는 제 2 영역을 포함하고,상기 제 1 영역은 상기 제 2 영역보다 더 높은 농도로 도전성 도펀트를 포함하는 태양광 발전장치
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제 10 항에 있어서, 상기 윈도우층을 형성하는 단계는 상기 광 흡수층 상에 투명한 도전물질 및 상기 도전성 도펀트를 동시에 증착하는 단계를 포함하며,상기 증착되는 도전성 도펀트의 양은 시간이 지남에 따라서 감소되는 태양광 발전장치
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제 11 항에 있어서, 상기 윈도우층을 형성하는 단계에서, 상기 투명한 도전 물질을 포함하는 제 1 타겟 및 상기 도전성 도펀트를 포함하는 제 2 타겟을 사용하며,상기 제 2 타겟에 인가되는 전력은 시간이 지남에 따라서 감소되는 태양광 발전장치
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제 10 항에 있어서, 상기 윈도우층을 형성하는 단계에서 서로 다른 농도로 상기 도전성 도펀트를 포함하는 다수 개의 타겟들을 사용하는 태양광 발전장치
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