맞춤기술찾기

이전대상기술

폴리실리콘 제조용 CVD 반응기의 노즐 겸용 척 및 이를 포함하는 폴리실리콘 제조용 CVD 반응기

  • 기술번호 : KST2015062445
  • 담당센터 :
  • 전화번호 :
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 일측면으로서, 슬림 로드(slim rod)가 통과하는 중공부를 포함하는 캡(cap)부; 상기 캡부의 내부에 삽입되며, 상기 슬림 로드를 고정하는 슬림 로드 홀더(holder); 및 상기 슬림 로드 홀더의 하단과 결합되고, 내부에 반응가스 통로가 구비된 척 바디(chuck body)를 포함하는 것을 특징으로 하는 폴리실리콘 제조용 CVD 반응기의 노즐(nozzle) 겸용 척(chuck) 및 이를 포함하는 폴리실리콘 제조용 CVD 반응기을 제공함으로써, 상기 반응기의 공간활용을 극대화할 수 있고, 반응가스와 슬림 로드의 접촉율을 향상시킬 수 있고, 이에 따라 저비용으로 더욱 효과적인 폴리실리콘 제조가 가능해져 전자산업의 발전 및 경제성장에 기여할 수 있다.
Int. CL C23C 16/455 (2006.01) H01L 21/205 (2006.01) C23C 16/24 (2006.01)
CPC C23C 16/46(2013.01) C23C 16/46(2013.01)
출원번호/일자 1020100084868 (2010.08.31)
출원인 주식회사 엘지화학
등록번호/일자 10-1439326-0000 (2014.09.02)
공개번호/일자 10-2012-0020928 (2012.03.08) 문서열기
공고번호/일자 (20140911) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2013.03.27)
심사청구항수 8

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 주식회사 엘지화학 대한민국 서울특별시 영등포구

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 류창석 대한민국 대전광역시 서구
2 최철환 대한민국 대전광역시 유성구
3 김균중 대한민국 충청북도 청주시 흥덕구
4 최광욱 대한민국 대전광역시 유성구
5 강성훈 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 특허법인씨엔에스 대한민국 서울 강남구 언주로 **길 **, 대림아크로텔 *층(도곡동)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 주식회사 엘지화학 서울특별시 영등포구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2010.08.31 수리 (Accepted) 1-1-2010-0564914-15
2 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2013.03.27 수리 (Accepted) 1-1-2013-0265154-56
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2013.11.14 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2013.12.17 수리 (Accepted) 9-1-2013-0103991-43
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2014.03.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0191816-96
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2014.04.02 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-0316514-10
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2014.04.02 수리 (Accepted) 1-1-2014-0316513-64
8 등록결정서
Decision to grant
2014.08.14 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0554897-32
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.01.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-5000389-31
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.12.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-5161532-51
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.11.12 수리 (Accepted) 4-1-2018-5227604-80
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.12.19 수리 (Accepted) 4-1-2018-5261818-30
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.08.19 수리 (Accepted) 4-1-2019-5164284-96
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
슬림 로드(slim rod)가 통과하는 중공부를 포함하는 캡(cap)부; 상기 캡부의 중공부에 삽입되며, 상기 슬림 로드를 고정하는 슬림 로드 홀더(holder); 및 상기 슬림 로드 홀더의 하단과 결합되고, 내부에 반응가스 통로가 구비된 척 바디(chuck body)를 포함하는 것을 특징으로 하는 폴리실리콘 제조용 CVD 반응기의 노즐 겸용 척
2 2
청구항 1에 있어서,상기 슬림 로드 홀더는 상기 홀더의 외주면을 따라 하단으로부터 상단으로 연결되는 홈이 형성된 것을 특징으로 하는 폴리실리콘 제조용 CVD 반응기의 노즐 겸용 척
3 3
청구항 2에 있어서,상기 슬림 로드 홀더는 상기 슬림 로드를 감싸는 형태로 복수개의 부품(part)이 결합된 것을 특징으로 하는 폴리실리콘 제조용 CVD 반응기의 노즐 겸용 척
4 4
청구항 1 내지 3 중 어느 한 항에 있어서,상기 캡부는 상기 캡부의 상면에 상기 반응가스가 통과하는 유입홀이 구비된 것을 특징으로 하는 폴리실리콘 제조용 CVD 반응기의 노즐 겸용 척
5 5
슬림 로드(slim rod)가 통과하는 중공부를 포함하는 캡(cap)부; 상기 캡부의 중공부에 삽입되며, 상기 슬림 로드를 고정하는 슬림 로드 홀더(holder); 및 상기 슬림 로드 홀더의 하단과 결합되고, 내부에 반응가스 통로가 구비된 척 바디(chuck body)를 포함하는 노즐 겸용 척을 포함하는 것을 특징으로 하는 폴리실리콘 제조용 CVD 반응기
6 6
청구항 5에 있어서,상기 슬림 로드 홀더는 상기 홀더의 외주면을 따라 하단으로부터 상단으로 연결되는 홈이 형성된 것을 특징으로 하는 폴리실리콘 제조용 CVD 반응기
7 7
청구항 6에 있어서,상기 슬림 로드 홀더는 상기 슬림 로드를 감싸는 형태로 복수개의 부품(part)이 결합된 것을 특징으로 하는 폴리실리콘 제조용 CVD 반응기
8 8
청구항 5 내지 7 중 어느 한 항에 있어서,상기 캡부는 상기 캡부의 상면에 상기 반응가스가 통과하는 유입홀이 구비된 것을 특징으로 하는 폴리실리콘 제조용 CVD 반응기
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.