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웨이퍼 건조 장치

  • 기술번호 : KST2015062783
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요약 웨이퍼 건조 장치가 개시된다. 웨이퍼 건조 장치는 배스; 상기 배스 내측에 배치되고 다수 개의 웨이퍼들을 지지하는 웨이퍼 가이드; 및 상기 웨이퍼들 사이에 각각 배치되는 다수 개의 발열부들을 포함한다. 웨이퍼 건조 장치는 웨이퍼들 사이에 발열부들을 배치시키기 때문에, 웨이퍼들을 균일하게 건조시킬 수 있다.
Int. CL H01L 21/302 (2006.01)
CPC H01L 21/67034(2013.01) H01L 21/67034(2013.01)
출원번호/일자 1020100101612 (2010.10.19)
출원인 주식회사 엘지실트론
등록번호/일자 10-1169166-0000 (2012.07.20)
공개번호/일자 10-2012-0040285 (2012.04.27) 문서열기
공고번호/일자 (20120730) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.10.19)
심사청구항수 8

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 에스케이실트론 주식회사 대한민국 경상북도 구미시

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 강필구 대한민국 경상북도 구미시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 서교준 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 **길**, **층 (역삼동, 케이앤아이타워)(특허사무소소담)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 에스케이실트론 주식회사 경상북도 구미시
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2010.10.19 수리 (Accepted) 1-1-2010-0672775-10
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.01.10 수리 (Accepted) 4-1-2011-5005193-13
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2011.09.09 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2011.10.18 수리 (Accepted) 9-1-2011-0082350-91
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2011.12.15 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0740949-78
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2012.02.14 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-0117096-89
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2012.02.14 수리 (Accepted) 1-1-2012-0117095-33
8 등록결정서
Decision to grant
2012.07.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0401449-89
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.05.28 수리 (Accepted) 4-1-2015-5070977-42
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.05.29 수리 (Accepted) 4-1-2015-5071326-18
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.08.31 수리 (Accepted) 4-1-2017-5140469-15
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.02.21 수리 (Accepted) 4-1-2018-5031039-07
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
배스;상기 배스 내측에 배치되고 다수 개의 웨이퍼들을 지지하는 웨이퍼 가이드; 및상기 웨이퍼들 사이에 각각 배치되는 다수 개의 발열부들을 포함하고,상기 발열부들은 상기 웨이퍼들의 직경 방향으로 연장되는 형상을 가지는 웨이퍼 건조장치
2 2
배스;상기 배스 내측에 배치되고 다수 개의 웨이퍼들을 지지하는 웨이퍼 가이드; 및상기 웨이퍼들 사이에 각각 배치되는 다수 개의 발열부들을 포함하고,상기 발열부들은 막대 형상을 가지는 웨이퍼 건조장치
3 3
제 1 항에 있어서, 상기 발열부들은 적외선을 발생시키는 램프인 웨이퍼 건조장치
4 4
배스;상기 배스 내측에 배치되고 다수 개의 웨이퍼들을 지지하는 웨이퍼 가이드; 및상기 웨이퍼들 사이에 각각 배치되는 다수 개의 발열부들을 포함하고,상기 발열부들을 상기 웨이퍼들의 직경 방향으로 상기 웨이퍼들에 대하여 상대 이송시키는 이송부를 포함하는 웨이퍼 건조장치
5 5
배스;상기 배스 내측에 배치되고 다수 개의 웨이퍼들을 지지하는 웨이퍼 가이드; 및상기 웨이퍼들 사이에 각각 배치되는 다수 개의 발열부들을 포함하고,상기 웨이퍼 가이드들은 상기 웨이퍼들의 에지에 각각 대응하는 슬롯들을 포함하는 웨이퍼 건조장치
6 6
제 5 항에 있어서, 상기 발열부들 및 상기 웨이퍼들 사이의 거리는 2㎜ 내지 4㎜인 웨이퍼 건조장치
7 7
삭제
8 8
삭제
9 9
배스;상기 배스 내측에 배치되고, 다수 개의 슬롯들을 포함하는 웨이퍼 가이드; 및상기 슬롯들 사이의 영역에 각각 배치되는 다수 개의 발열부들을 포함하고,상기 발열부들을 왕복 이송시키기 위한 이송부를 포함하는 웨이퍼 건조장치
10 10
배스;상기 배스 내측에 배치되고, 다수 개의 슬롯들을 포함하는 웨이퍼 가이드; 및상기 슬롯들 사이의 영역에 각각 배치되는 다수 개의 발열부들을 포함하고,상기 발열부들은 일 방향으로 연장되는 램프들이고,상기 램프들은 서로 나란히 배치되는 웨이퍼 건조장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.