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패드 드레서 및 패드를 드레싱하는 방법

  • 기술번호 : KST2015062798
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 패드 드레서 및 이를 이용하여 패드를 드레싱하는 방법이 개시된다. 패드 드레서는 플레이트; 및 상기 플레이트에 부착되는 절삭부를 포함하고, 상기 플레이트는 제 1 측면에 배치되는 제 1 기어; 및 제 2 측면에 배치되는 제 2 기어를 포함하고, 상기 절삭부는 상기 제 1 기어에 인접하는 제 1 절삭 영역; 및 상기 제 2 기어에 인접하고, 상기 제 1 절삭 영역보다 더 높은 절삭력을 가지는 제 2 절삭 영역을 포함한다.
Int. CL H01L 21/304 (2006.01) B24B 37/00 (2006.01)
CPC B24B 53/017(2013.01) B24B 53/017(2013.01) B24B 53/017(2013.01)
출원번호/일자 1020100101613 (2010.10.19)
출원인 주식회사 엘지실트론
등록번호/일자 10-1207654-0000 (2012.11.27)
공개번호/일자 10-2012-0040286 (2012.04.27) 문서열기
공고번호/일자 (20121203) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.10.19)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 에스케이실트론 주식회사 대한민국 경상북도 구미시

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박우식 대한민국 대구광역시 달서구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 서교준 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 **길**, **층 (역삼동, 케이앤아이타워)(특허사무소소담)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 에스케이실트론 주식회사 경상북도 구미시
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2010.10.19 수리 (Accepted) 1-1-2010-0672783-86
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.01.10 수리 (Accepted) 4-1-2011-5005193-13
3 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2011.09.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0534554-15
4 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2011.11.18 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0911416-75
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2011.11.18 수리 (Accepted) 1-1-2011-0911415-29
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2012.04.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0237329-50
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2012.06.22 수리 (Accepted) 1-1-2012-0497180-28
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2012.06.22 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-0497181-74
9 등록결정서
Decision to grant
2012.11.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0699202-74
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.05.28 수리 (Accepted) 4-1-2015-5070977-42
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.05.29 수리 (Accepted) 4-1-2015-5071326-18
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.08.31 수리 (Accepted) 4-1-2017-5140469-15
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.02.21 수리 (Accepted) 4-1-2018-5031039-07
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
삭제
2 2
사다리꼴 형상의 플레이트; 및상기 플레이트에 부착되는 절삭부를 포함하고,상기 플레이트는외곽 기어와 맞물리는 제 1 기어; 및선 기어와 맞물리는 제 2 기어를 포함하고,상기 절삭부는 절삭 유닛을 포함하며상기 절삭 유닛은 상기 제2 기어에서 상기 제1 기어 방향으로 더 많도록 형성되는 것을 특징으로 하는 패드 드레서
3 3
제 2항에 있어서,상기 절삭 유닛은 몸체부, 절삭입자, 코팅층을 포함하는 것을 특징으로 하는 패드 드레서
4 4
제 3항에 있어서, 상기 몸체부는 상기 절삭입자를 수용하기 위한 수용홈을 포함하며, 상기 수용홈에 두개 이상의 절삭입자가 수용될 수 있는 것을 특징으로 하는 패드 드레서
5 5
제 2항에 있어서,상기 플레이트는 적어도 하나 이상으로 형성되는 것을 특징으로 하는 패드 드레서
6 6
패드 상에 패드 드레서를 배치시키는 단계; 및상기 패드 드레서를 사용하여, 상기 패드를 드레싱하는 단계를 포함하고,상기 패드 드레서는사다리꼴 형상의 플레이트; 및상기 플레이트에 부착되는 절삭부를 포함하고,상기 플레이트는외곽 기어와 맞물리는 제 1 기어; 및선 기어와 맞물리는 제 2 기어를 포함하고,상기 절삭부는 절삭 유닛을 포함하며상기 절삭 유닛은 상기 제2 기어에서 상기 제1 기어 방향으로 더 많도록 형성되며,상기 패드 드레서는 상기 패드의 중앙에 배치되는 선 기어의 주위를 따라서 무자전하며 공전하는 패드를 드레싱하는 방법
7 7
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8 8
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9 9
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패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.