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복수의 제1 개구부를 갖고 있는 제1 부분과 상기 제1 개구부와 다른 개구 형상을 갖는 복수의 제2 개구부를 갖고 있는 제2 부분을 포함하는 패턴 마스크를 제1 도전성 타입의 기판의 전면 위에 위치시킨 후, 상기 기판의 전면을 식각하여, 상기 제1 개구부에 의해 노출된 부분의 기판 전면에 위치하며 제1 종횡비를 갖는 복수의 제1 돌출부와 상기 제2 개구부에 의해 노출된 부분의 기판 전면에 위치하며 상기 제1 종횡비보다 큰 제2 종횡비를 갖는 복수의 제2 돌출부를 구비한 텍스처링 표면을 형성하는 단계,상기 기판의 전면에 불순물을 주입하여 상기 제1 도전성 타입과 반대인 제2 도전성 타입의 에미터부를 형성하는 단계, 그리고상기 에미터부와 연결되는 제1 전극과 상기 기판과 연결되는 제2 전극을 형성하는 단계를 포함하고,상기 텍스처링 표면을 형성하는 단계에서, 서로 다른 종횡비를 갖는 상기 복수의 제1 돌출부 및 상기 제2 돌출부를 1회의 건식 식각에 의해 동시에 형성하고,상기 에미터부를 형성하는 단계에서, 상기 복수의 제1 돌출부를 구비하는 제1 영역과 상기 복수의 제2 돌출부를 구비하며 상기 제1 영역의 도핑 깊이보다 큰 도핑 깊이를 가진 제2 영역을 동시에 형성하며,상기 제1 전극을 상기 에미터부의 상기 제2 영역과 연결하는 태양 전지의 제조 방법
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제1항에서,상기 복수의 제1 돌출부는 1 내지 1
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제1항 또는 제2항에서,상기 에미터부의 상기 제1 영역의 도핑 깊이를 상기 에미터부의 상기 제2 영역의 도핑 깊이보다 작게 형성하는 태양 전지의 제조 방법
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제1항에서,상기 패턴 마스크는 복수의 제1 개구부를 갖고 있는 제1 부분과 제2 개구부를 갖고 있는 제2 부분을 포함하고, 상기 제1 부분과 마주하는 상기 기판의 부분에는 상기 제1 종횡비를 갖는 복수의 돌출부가 형성되고, 상기 제2 부분과 마주하는 상기 기판의 부분에는 상기 제2 종횡비를 갖는 복수의 돌출부가 형성되는 태양 전지의 제조 방법
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제4항에서,상기 복수의 제1 개구부 각각은 원형, 다각형 및 타원형 중 적어도 하나의 형상을 갖는 태양 전지의 제조 방법
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제4항에서,상기 제2 개구부는 한 방향으로 길게 뻗어 있는 스트라이프 형상을 갖는 태양 전지의 제조 방법
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제1항에서,상기 건식 식각은 반응성 이온 식각법에 의하여 수행되는 태양 전지의 제조 방법
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제1항에서,상기 에미터부 위에 반사 방지부를 형성하는 단계를 더 포함하는 태양 전지의 제조 방법
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제8항에서,상기 제1 전극 및 제2 전극 형성 단계는,상기 에미터부의 제2 영역 위에 위치하는 상기 반사 방지부의 부분 위에 제1 전극용 페이스트(paste)를 도포한 후 제1 온도로 열처리하는 단계,상기 반사 방지부의 반대쪽에 위치하는 상기 기판 위에 제2 전극용 페이스트를 도포한 후 제2 온도로 열처리하는 단계, 그리고상기 제1 전극용 페이스트와 상기 제2 전극용 페이스트를 구비한 상기 기판을 제3 온도로 열처리하는 단계를 포함하는 태양 전지의 제조 방법
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제9항에서,상기 제1 온도와 상기 제2 온도는 동일한 태양 전지의 제조 방법
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제9항 또는 제10항에서,상기 제3 온도는 상기 제1 온도와 상기 제2 온도보다 높은 태양 전지의 제조 방법
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제9항에서,상기 제1 전극용 페이스트는 은(Ag)을 함유하고 있는 태양 전지의 제조 방법
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제11항에서,상기 제1 전극용 페이스트는 납(Pb)을 더 함유하고 있는 태양 전지의 제조 방법
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제9항에서,상기 제2 전극용 페이스트는 알루미늄(Al)을 함유하는 태양 전지의 제조 방법
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