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몸체;상기 몸체에 형성되며, 도전성 볼이 안착되는 복수의 볼 헤드; 및상기 복수의 볼 헤드 내의 진공을 조절하는 진공원을 포함하며,상기 복수의 볼 헤드는,상기 몸체의 중앙 부분에 배치되며, 상기 진공원에 의해 선택적으로 진공 상태 및 진공 해제 상태로 전환되어 상기 도전성 볼을 낙하 또는 흡입하는 제 1 볼 헤드와,상기 몸체의 외측에 배치되며, 상기 진공원에 의해 진공 상태만을 유지하여 상기 도전성 볼의 흡입 동작을 수행하는 제 2 볼 헤드를 포함하는 솔더 범프 형성 장치
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제 1항에 있어서,상기 도전성 볼의 탑재 지점에 대응되게 관통 구멍이 형성된 마스크가 더 포함되는 솔더 범프 형성 장치
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제 1항에 있어서,상기 복수의 볼 헤드 내에 포함되며, 상기 복수의 볼 헤드의 진공 상태에 의해 하면에 상기 도전성 볼을 유지시키는 볼 유지부가 더 포함되는 솔더 범프 형성 장치
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제 3항에 있어서,상기 볼 유지부에는 상기 도전성 볼의 직경보다 작은 관통 구멍이 형성되는 솔더 범프 형성 장치
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제 3항에 있어서,상기 볼 유지부는 상기 볼 헤드를 상부 공간과 하부 공간으로 구분하고,상기 볼 헤드의 상부 공간과 상기 진공원을 연결하는 흡인 통로가 더 포함되는 솔더 범프 형성 장치
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제 1항에 있어서,상기 볼 헤드의 일 측에 형성되어 상기 볼 헤드 내로 상기 도전성 볼을 공급하는 볼 공급부가 더 포함되는 솔더 범프 형성 장치
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제 1항에 있어서,상기 진공원은상기 제 1 볼 헤드의 진공을 조절하여, 상기 제 1 볼 헤드가 진공 상태 또는 진공 해제 상태로 전환되도록 하는 제 1 진공원과,상기 제 2 볼 헤드의 진공을 조절하여, 상기 제 2 볼 헤드가 진공 상태만을 유지하도록 하는 제 2 진공원을 포함하는 솔더 범프 형성 장치
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기판을 준비하는 단계;도전성 볼의 탑재 영역에 대응된 위치에 관통 구멍이 형성된 마스크를 상기 기판 위에 위치시키는 단계; 및복수의 볼 헤드를 이용하여 상기 마스크 위로 도전성 볼을 낙하시키거나, 상기 낙하된 도전성 볼을 흡입하는 단계를 포함하여 이루어지며,상기 도전성 볼을 낙하시키거나, 상기 낙하된 도전성 볼을 흡입하는 단계는,몸체의 중앙 부분에 배치되며, 선택적으로 진공 상태 및 진공 해제 상태로 전환되는 제 1 볼 헤드를 이용하여 상기 도전성 볼을 낙하시키는 단계와,상기 몸체의 외측에 배치되며, 진공 상태만을 유지하는 제 2 볼 헤드 및 상기 제 1 볼 헤드를 이용하여 상기 낙하된 도전성 볼을 흡입하는 단계를 포함하는 솔더 범프 형성 방법
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제 13항에 있어서,상기 도전성 볼의 탑재 영역에 대응되는 기판 위에 플럭스를 도포하는 단계가 더 포함되는 솔더 범프 형성 방법
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제 14항에 있어서,상기 도포된 플럭스에 의해 상기 탑재 영역으로 낙하된 도전성 볼은 상기 기판 위에 안착되며,상기 플럭스가 도포되지 않은 영역으로 낙하된 도전성 볼은 상기 제 1 및 2 볼 헤드에 의해 흡입되는 솔더 범프 형성 방법
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