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노광장치

  • 기술번호 : KST2015063029
  • 담당센터 :
  • 전화번호 :
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명의 실시예는, 광을 출사하는 광원부; 광원부로부터 출사된 광을 제어신호에 따라 제1반사방향과 제2반사방향으로 반사시키며 노광할 이미지가 포함된 미러소자부; 미러소자부의 구동에 의해 제1반사방향으로 반사되는 제1반사광을 변조하여 노광할 목표 기판으로 유도하는 광변조부; 및 미러소자부의 비구동에 의해 제2반사방향으로 반사되는 제2반사광을 측정하는 조도측정부를 포함하는 노광장치를 제공한다.
Int. CL H01L 21/027 (2006.01) G03F 7/20 (2006.01)
CPC H01L 21/0275(2013.01) H01L 21/0275(2013.01) H01L 21/0275(2013.01) H01L 21/0275(2013.01)
출원번호/일자 1020100109840 (2010.11.05)
출원인 엘지디스플레이 주식회사, 엘지전자 주식회사
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2012-0048286 (2012.05.15) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2015.11.02)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 엘지디스플레이 주식회사 대한민국 서울특별시 영등포구
2 엘지전자 주식회사 대한민국 서울특별시 영등포구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 문동희 대한민국 경기도 파주시 쇠재로 **
2 김문환 대한민국 충청북도 청주시 흥덕구
3 김기준 대한민국 경기 고양시 일산서구
4 양남열 대한민국 서울시 영등포구
5 김건수 대한민국 서울시 영등포구
6 박명주 대한민국 서울시 영등포구
7 이창주 대한민국 서울시 영등포구
8 신영훈 대한민국 서울시 영등포구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인로얄 대한민국 서울특별시 서초구 반포대로 ***, *층(서초동,서일빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2010.11.05 수리 (Accepted) 1-1-2010-0723945-61
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2010.12.21 수리 (Accepted) 4-1-2010-5241074-12
3 [출원인변경]권리관계변경신고서
[Change of Applicant] Report on Change of Proprietary Status
2011.09.21 수리 (Accepted) 1-1-2011-0735092-91
4 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2011.09.23 수리 (Accepted) 1-1-2011-0744397-11
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.10.04 수리 (Accepted) 4-1-2011-5199065-15
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.12.29 수리 (Accepted) 4-1-2011-5262372-95
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.05.22 수리 (Accepted) 4-1-2015-5068349-97
8 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2015.11.02 수리 (Accepted) 1-1-2015-1065462-71
9 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2015.11.03 불수리 (Non-acceptance) 1-1-2015-1070718-82
10 서류반려이유통지서
Notice of Reason for Return of Document
2015.11.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2015-0172858-94
11 [반려요청]서류반려요청(반환신청)서
[Request for Return] Request for Return of Document
2015.11.16 수리 (Accepted) 1-1-2015-1111328-85
12 서류반려통지서
Notice for Return of Document
2015.11.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2015-0175046-52
13 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2016.06.21 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
14 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2016.09.06 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2016-0113553-13
15 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2016.09.09 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0652275-00
16 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2016.11.03 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2016-1076720-48
17 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2016.11.03 수리 (Accepted) 1-1-2016-1076719-02
18 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2017.03.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0218042-45
19 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2017.04.26 수리 (Accepted) 1-1-2017-0409954-47
20 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2017.04.26 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2017-0409955-93
21 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2017.05.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0361815-42
22 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.05.28 수리 (Accepted) 4-1-2020-5118228-40
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
광을 출사하는 광원부;상기 광원부로부터 출사된 광을 제어신호에 따라 제1반사방향과 제2반사방향으로 반사시키며 노광할 이미지가 포함된 미러소자부;상기 미러소자부의 구동에 의해 상기 제1반사방향으로 반사되는 제1반사광을 변조하여 노광할 목표 기판으로 유도하는 광변조부; 및상기 미러소자부의 비구동에 의해 상기 제2반사방향으로 반사되는 제2반사광을 측정하는 조도측정부를 포함하는 노광장치
2 2
제1항에 있어서,상기 조도측정부는,상기 제2반사광을 이용하여 상기 광원부의 조도량을 실시간으로 측정하고 측정된 조도량이 작업기준에 맞는지 여부를 판단함과 아울러 이를 데이터화한 자료를 마련하는 것을 특징으로 하는 노광장치
3 3
제2항에 있어서,상기 조도측정부는,상기 조도량에 따라 상기 광원부로부터 출사되는 광량과 그 세기를 조절하는 것을 특징으로 하는 노광장치
4 4
제2항에 있어서,상기 조도측정부는,상기 조도량에 따라 상기 광원부의 교체 시기를 알리는 기능을 갖는 것을 특징으로 하는 노광장치
5 5
제2항에 있어서,상기 조도측정부는,상기 조도량에 따라 상기 목표 기판에 투영할 조도 시간을 조절하는 것을 특징으로 하는 노광장치
6 6
제2항에 있어서,상기 목표 기판이 안착되는 스테이지를 포함하며,상기 스테이지는 상기 노광할 이미지에 대응하여 구동영역 내를 이동하는 것을 특징으로 하는 노광장치
7 7
제6항에 있어서,상기 조도측정부는,상기 조도량에 따라 상기 목표 기판의 이동 조건을 조절하는 것을 특징으로 하는 노광장치
8 8
제2항에 있어서,상기 노광장치는,상기 조도측정부에 의해 측정된 조도량에 따라 상기 노광장치에 포함된 장치들을 제어하는 구동부를 포함하는 노광장치
9 9
제8항에 있어서,상기 구동부는,상기 조도측정부와 연동하여상기 조도량에 따라 상기 광원부로부터 출사되는 광량과 그 세기를 조절하고,상기 조도량에 따라 상기 광원부의 교체 시기를 알리고,상기 조도량에 따라 상기 목표 기판에 투영할 조도 시간을 조절하고,상기 조도량에 따라 상기 목표 기판의 이동 조건을 조절하는 것을 특징으로 하는 노광장치
10 10
제1항에 있어서,상기 광변조부는,상기 제1반사광을 확대하는 빔 익스펜더와,상기 빔 익스펜더를 통해 출사된 상기 제1반사광의 스팟을 전환하는 필터와,상기 필터를 통해 출사된 상기 제1반사광을 상기 목표 기판에 전사하는 프로젝션 렌즈를 포함하는 노광장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.