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웨이퍼 얼라인 장치

  • 기술번호 : KST2015063059
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 웨이퍼 얼라인 장치가 개시된다. 웨이퍼 얼라인 장치는 하부척; 상기 하부척 상에 배치되고, 상기 하부척에 대하여 독립적으로 회전가능한 상부척; 상기 상부척의 외주면에 배치되어 웨이퍼를 지지하는 다수 개의 그립바들을 포함하고, 상기 상부척은 상방으로 물을 분출하는 워터 분사부를 포함하며, 상기 상부척은 상기 워터 분사부가 형성된 제 1 상면; 상기 제 1 상면보다 더 높은 제 2 상면; 및 상기 제 2 상면보다 더 높은 제 3 상면을 포함한다.
Int. CL H01L 21/683 (2006.01) H01L 21/68 (2006.01) B65G 49/07 (2006.01)
CPC H01L 21/68(2013.01) H01L 21/68(2013.01) H01L 21/68(2013.01) H01L 21/68(2013.01)
출원번호/일자 1020100108124 (2010.11.02)
출원인 주식회사 엘지실트론
등록번호/일자 10-1220591-0000 (2013.01.03)
공개번호/일자 10-2012-0046460 (2012.05.10) 문서열기
공고번호/일자 (20130121) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.11.02)
심사청구항수 8

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 에스케이실트론 주식회사 대한민국 경상북도 구미시

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 장준영 대한민국 대구광역시 달성군 논공읍

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 서교준 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 **길**, **층 (역삼동, 케이앤아이타워)(특허사무소소담)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 에스케이실트론 주식회사 경상북도 구미시
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2010.11.02 수리 (Accepted) 1-1-2010-0714469-28
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.01.10 수리 (Accepted) 4-1-2011-5005193-13
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2012.05.08 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2012.06.01 수리 (Accepted) 9-1-2012-0043860-40
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2012.07.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0422025-71
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2012.09.14 수리 (Accepted) 1-1-2012-0746903-17
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2012.09.14 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-0746902-61
8 등록결정서
Decision to grant
2012.12.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0791388-83
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.05.28 수리 (Accepted) 4-1-2015-5070977-42
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.05.29 수리 (Accepted) 4-1-2015-5071326-18
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.08.31 수리 (Accepted) 4-1-2017-5140469-15
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.02.21 수리 (Accepted) 4-1-2018-5031039-07
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
하부척;상기 하부척 상에 배치되고, 상기 하부척에 대하여 독립적으로 회전가능한 상부척;상기 상부척의 외주면에 배치되어 웨이퍼를 지지하는 다수 개의 그립바들을 포함하고,상기 상부척은 상방으로 물을 분출하는 워터 분사부를 포함하며,상기 상부척은상기 워터 분사부가 형성된 제 1 상면;상기 제 1 상면보다 더 높은 제 2 상면; 및상기 제 2 상면보다 더 높은 제 3 상면을 포함하는 웨이퍼 얼라인 장치
2 2
삭제
3 3
삭제
4 4
제 1 항에 있어서, 상기 제 2 상면은 상기 워터 분사부의 주위를 둘러싸고,상기 제 3 상면은 상기 제 2 상면의 주위를 둘러싸는 웨이퍼 얼라인 장치
5 5
제 1 항에 있어서, 상기 제 1 상면 및 상기 제 2 상면의 높이차는 1
6 6
제 1 항에 있어서, 상기 그립바들은웨이퍼의 하면을 지지하는 제 1 지지부; 및상기 웨이퍼의 측면을 지지하는 제 2 지지부를 포함하는 웨이퍼 얼라인 장치
7 7
제 6 항에 있어서, 상기 제 2 지지부는 상기 상부척의 상면에 대하여 경사지는 경사면을 포함하는 웨이퍼 얼라인 장치
8 8
제 7 항에 있어서, 상기 경사면은 상기 상부척의 상면에 대하여, 40° 내지 50°의 각도로 경사지는 웨이퍼 얼라인 장치
9 9
제 1 항에 있어서, 상기 워터 분사부는 다수 개의 분사홀들을 포함하고,상기 분사홀들의 직경은 4
10 10
제 1 항에 있어서, 상기 상부척 상에 배치되고, 상기 상부척에 안착된 웨이퍼의 노치를 검출하는 센서부를 포함하는 웨이퍼 얼라인 장치
11 11
삭제
12 12
삭제
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.