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다수의 디지털 노광 패턴 데이터들을 저장하기 위한 다수의 저장 유닛들;상기 저장 유닛으로부터 로딩된 디지털 노광 패턴 데이터에 따라 온/오프 제어되어 광이 변조되도록 하는 마이크로 미러를 포함하는 디지털 미러 디바이스 유닛; 및상기 저장 유닛들로부터 상기 디지털 노광 패턴 데이터를 로딩하여 상기 디지털 미러 디바이스 유닛으로 제공하는 제어 유닛; 및상기 저장 유닛으로부터 로딩된 디지털 노광 패턴 데이터와, 상기 제어 유닛으로부터 상기 디지털 미러 디바이스 유닛으로 제공되는 디지털 노광 패턴 데이터를 도트 단위로 비교하는 비교 유닛을 포함하는 마스크리스 노광 장치
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제1항에 있어서, 노광 패턴 데이터를 생성하는 노광 패턴 데이터 생성 유닛; 및상기 노광 패턴 데이터를 도트 단위로 상기 디지털 노광 패턴 데이터로 변환하는 데이터 변환 유닛을 더 포함하는 마스크리스 노광 장치
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제2항에 있어서, 상기 노광 패턴 데이터 생성 유닛은 상기 노광 패턴 데이터가 생성되도록 도와주는 어플리케이션이 저장되는 마스크리스 노광 장치
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제3항에 있어서, 상기 어플리케이션은 캐드 어플리케이션 또는 GDSII 어플리케이션을 포함하는 마스크리스 노광 장치
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제2항에 있어서, 상기 디지털 노광 패턴 데이터는 상기 노광 패턴 데이터로부터 비트맵 방식으로 변환되는 마스크리스 노광 장치
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제1항에 있어서, 상기 저장 유닛들은 노광할 기판의 사이즈별로 특정되는 마스크리스 노광 장치
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제6항에 있어서, 상기 특정된 저장 유닛들 각각에는 다수의 노광 공정 수들에 상응하는 디지털 노광 패턴 데이터들이 저장되는 마스크리스 노광 장치
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제1항에 있어서, 상기 저장 유닛들은 노광할 기판의 노광 공정 수별로 특정되는 마스크리스 노광 장치
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제8항에 있어서, 상기 특정된 저장 유닛들 각각에는 다수의 기판의 사이즈들에 상응하는 디지털 노광 패턴 데이터들이 저장되는 마스크리스 노광 장치
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제1항에 있어서, 상기 제어 유닛은 상기 저장 유닛들로부터 노광할 기판의 사이즈와 노광 공정 수에 상응하는 디지털 노광 패턴 데이터를 로딩하는 마스크리스 노광 장치
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다수의 디지털 노광 패턴 데이터들을 다수의 저장 유닛들에 저장하는 단계;상기 저장 유닛들로부터 노광할 기판의 사이즈와 노광 공정 수에 상응하는 디지털 노광 패턴 데이터를 로딩하는 단계;상기 로딩된 디지털 노광 패턴 데이터에 따라 마이크로 미러를 온/오프 제어하여 광을 변조하는 단계;상기 변조된 광을 상기 노광할 기판에 조사하는 단계; 및상기 저장 유닛으로부터 로딩된 디지털 노광 패턴 데이터와, 제어 유닛으로부터 디지털 미러 디바이스 유닛으로 제공되는 디지털 노광 패턴 데이터를 도트 단위로 비교하는 단계를 포함하는 마스크리스 노광 장치의 노광 방법
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제11항에 있어서, 어플리케이션을 이용하여 노광 패턴 데이터를 생성하는 단계; 및상기 노광 패턴 데이터를 도트 단위로 상기 디지털 노광 패턴 데이터로 비트맵 변환하는 단계를 더 포함하는 마스크리스 노광 장치의 노광 방법
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제11항에 있어서, 상기 저장 유닛들은 노광할 기판의 사이즈별로 특정되고, 상기 특정된 저장 유닛들 각각에는 다수의 노광 공정 수들에 상응하는 디지털 노광 패턴 데이터들이 저장되는 마스크리스 노광 장치의 노광 방법
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제11항에 있어서, 상기 저장 유닛들은 노광할 기판의 노광 공정 수별로 특정되고, 상기 특정된 저장 유닛들 각각에는 다수의 기판의 사이즈들에 상응하는 디지털 노광 패턴 데이터들이 저장되는 마스크리스 노광 장치의 노광 방법
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다수의 디지털 노광 패턴 데이터들을 저장하기 위한 다수의 저장 유닛들;상기 저장 유닛들로부터 노광할 기판의 사이즈와 노광 공정 수에 상응하는 디지털 노광 패턴 데이터를 로딩하는 제어 유닛;상기 로딩된 디지털 노광 패턴 데이터를 전송하는 전송 유닛;상기 전송된 디지털 노광 패턴 데이터를 수신하는 수신 유닛;상기 수신된 디지털 노광 패턴 데이터에 따라 온/오프 제어되어 광이 변조되도록 하는 마이크로 미러를 포함하는 디지털 미러 디바이스 유닛; 및상기 수신 유닛을 경유한 디지털 노광 패턴 데이터와 상기 로딩된 디지털 노광 패턴 데이터를 도트 단위로 비교하는 비교 유닛을 포함하고, 상기 제어 유닛은 상기 수신 유닛을 경유한 디지털 노광 패턴 데이터가 상기 로딩된 디지털 노광 패턴 데이터와 도트 단위로 일치하지 않는 경우, 상기 디지털 미러 디바이스 유닛의 동작을 중지시키는 마스크리스 노광 장치
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제15항에 있어서, 상기 비교 유닛에 의한 비교 동작은 주기적으로 또는 랜덤하게 수행되는 마스크리스 노광 장치
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다수의 디지털 노광 패턴 데이터들을 다수의 저장 유닛들에 저장하는 단계;상기 저장 유닛들로부터 노광할 기판의 사이즈와 노광 공정 수에 상응하는 디지털 노광 패턴 데이터를 로딩하는 단계;상기 로딩된 디지털 노광 패턴 데이터를 전송하는 단계;상기 전송된 디지털 노광 패턴 데이터를 수신하는 단계;상기 수신된 노광 패턴 데이터에 따라 마이크로 미러를 온/오프 제어하여 광을 변조하는 단계; 상기 변조된 광을 상기 노광할 기판에 조사하는 단계;상기 수신된 디지털 노광 패턴 데이터와 상기 로딩된 디지털 노광 패턴 데이터를 도트 단위로 비교하는 단계; 및수신 유닛을 경유한 디지털 노광 패턴 데이터가 상기 로딩된 디지털 노광 패턴 데이터와 도트 단위로 일치하지 않는 경우, 마이크로 미러가 구비된 디지털 미러 디바이스 유닛의 동작을 중지시키는 단계를 포함하는 마스크리스 노광 장치의 노광 방법
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