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규소원과 탄소원을 혼합하는 원료 혼합 단계; 및 상기 혼합된 원료를 가열하여 탄화 규소를 형성하는 가열 단계를 포함하고,상기 가열 단계는 1MPa 내지 10 MPa의 불활성 기체 분위기에서 수행되는 탄화 규소의 제조 방법
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제3항에 있어서,상기 불활성 기체가 아르곤 기체를 포함하는 탄화 규소의 제조 방법
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제4항에 있어서,상기 아르곤 기체의 순도가 5N 이상인 탄화 규소의 제조 방법
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제3항에 있어서,상기 가열 단계는 가스 가압 소결로(gas pressure sintering furnace) 또는 열간 등방압 프레스(hot isotatic pressure, HIP) 장치에서 수행되는 탄화 규소의 제조 방법
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제3항에 있어서,상기 탄화 규소가 베타상을 가지는 탄화 규소의 제조 방법
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제7항에 있어서,상기 가열 단계의 온도가 1400~1800℃인 탄화 규소의 제조 방법
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제3항에 있어서,상기 탄소원이 고체 탄소원 및 유기 탄소 화합물 중 적어도 하나를 포함하는 탄화 규소의 제조 방법
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제9항에 있어서, 상기 고체 탄소원이 흑연(graphite), 카본 블랙(carbon black), 카본 나노 튜브(carbon nano tube, CNT) 및 풀러렌(fullerene, C60)으로 이루어진 군에서 선택된 물질을 적어도 하나 포함하는 탄화 규소의 제조 방법
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제9항에 있어서, 상기 유기 탄소 화합물이 페놀(penol), 프랑(franc), 자일렌(xylene), 폴리이미드(polyimide), 폴리우레탄(polyunrethane), 폴리비닐알콜(polyvinyl alcohol), 폴리아크릴로니트릴(polyacrylonitrile) 및 폴리비닐아세테이트(poly (vinyl acetate))으로 이루어진 군에서 선택된 물질을 적어도 하나 포함하는 탄화 규소의 제조 방법
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제3항에 있어서, 상기 규소원이 실리카(silica) 분말, 실리카 솔(silica sol), 실리카 겔(silica gel) 및 석영 분말로 이루어진 군에서 선택된 적어도 어느 하나를 포함하는 탄화 규소의 제조 방법
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제3항 내지 제12항 중 어느 한 항에 따른 탄화 규소의 제조 방법에 의해 제조된 탄화 규소
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