| 1 |
1
내부에 수용공간이 형성되며, 상기 수용공간과 외부와의 공기 유동을 위한 다수의 연통공이 형성되는 반응 챔버와;상기 반응 챔버의 수용공간에 수용되되, 내부에 시료를 수용하여 다중으로 밀봉시키는 시료 수용 유닛과;상기 시료 수용 유닛의 외부를 감싸도록 설치되어 시료 수용 유닛을 가열시키는 가열부와;상기 반응 챔버의 내부 수용공간에 충진되는 단열재를 포함하는 것을 특징으로 하는 미세중력환경에서의 결정성장장비
|
| 2 |
2
제1항에 있어서,상기 시료 수용 유닛은,시료를 수용하여 밀봉시키는 유리관과;내부공간이 형성되어 상기 유리관을 수용하는 하부 튜브와, 상기 내부공간을 밀봉시키는 상부 튜브로 이루어진 밀봉 튜브와;내부에 다수의 수용공간이 형성되어 각 수용공간에 상기 밀봉 튜브가 수용되는 하부 챔버와, 상기 다수의 수용공간을 밀봉시키는 상부 챔버로 이루어진 시료 챔버를 포함하는 것을 특징으로 하는 미세중력환경에서의 결정성장장비
|
| 3 |
3
제2항에 있어서,상기 반응 챔버, 밀봉 튜브 및 시료 챔버는 알루미늄으로 제작되는 것을 특징으로 하는 미세중력환경에서의 결정성장장비
|
| 4 |
4
제2항에 있어서,상기 하부 튜브와 상부 튜브의 사이 및 하부 챔버와 상부 챔버의 사이에 형성되는 씰링 부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 미세중력환경에서의 결정성장장비
|
| 5 |
5
제4항에 있어서,상기 씰링 부재는 Kalrez 재질로 형성된 링인 것을 특징으로 하는 미세중력환경에서의 결정성장장비
|
| 6 |
6
제1항에 있어서,상기 가열부는 캡톤 필름(Kapton Film) 히터인 것을 특징으로 하는 미세중력환경에서의 결정성장장비
|
| 7 |
7
제1항에 있어서,상기 반응 챔버에 설치되어 반응 챔버의 온도를 감지하는 제1 온도 감지 센서와;상기 시료 수용 유닛에 설치되어 시료 수용 유닛의 온도를 감지하는 제2 온도 감지 센서와;상기 제1 온도 감지 센서 및 제2 온도 감지 센서의 감지 결과를 인가받아 기 설정된 온도 이상이 감지될 경우 상기 가열부의 가열을 중지시키는 제어부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 미세중력환경에서의 결정성장장비
|
