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탄소 구조체를 준비하는 단계; 및상기 탄소 구조체를 규소 함유 가스와 반응시켜 탄화 규소를 포함하는 서셉터를 형성하는 단계를 포함하고,상기 규소 함유 가스는 탄소원과 규소원을 이용한 열화학 환원 반응(carbothermal reaction)에 의하여 형성되고,상기 서셉터를 형성하는 단계에서는, 상기 탄소 구조체, 상기 탄소원 및 상기 규소원을 열처리 장치에서 함께 가열하는 것에 의하여 상기 서셉터를 형성하며,상기 규소원에 포함된 규소에 대한 상기 탄소원에 포함된 탄소의 몰(mole)비가 1
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제1항에 있어서,상기 탄소 구조체의 상대 밀도가 40~80%인 서셉터의 제조 방법
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제2항에 있어서,상기 탄소 구조체의 상대 밀도가 50~70%인 서셉터의 제조 방법
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제1항에 있어서, 상기 탄소 구조체가 흑연을 포함하는 서셉터의 제조 방법
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제1항에 있어서, 상기 탄소 구조체는 밀링 머신, 연마 장치 또는 프레스 장치에 의하여 형성되는 서셉터의 제조 방법
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제1항에 있어서, 상기 규소 함유 가스는 일산화규소(SiO)을 포함하는 서세터의 제조 방법
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제1항에 있어서,상기 서셉터를 형성하는 단계의 온도가 1300℃ 이상인 서셉터의 제조 방법
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제1항에 있어서,상기 규소원에 포함된 규소에 대한 상기 탄소원에 포함된 탄소의 몰비가 1
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제1항에 있어서,상기 탄소원이 고체 탄소원 및 유기 탄소 화합물로 이루어진 군에서 선택된 물질을 적어도 하나 포함하는 서셉터의 제조 방법
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제12항에 있어서, 상기 탄소원이 흑연(graphite), 카본 블랙(carbon black), 카본 나노 튜브(carbon nano tube, CNT), 풀러렌(fullerene, C60), 페놀(penol), 프랑(franc), 자일렌(xylene), 폴리이미드(polyimide), 폴리우레탄(polyunrethane), 폴리비닐알콜(polyvinyl alcohol), 폴리아크릴로니트릴(polyacrylonitrile) 및 폴리비닐아세테이트(poly (vinyl acetate)), 셀룰로오스(cellulose), 제당, 피치(pitch) 및 타르(tar)로 이루어진 군에서 선택된 물질을 적어도 하나 포함하는 서셉터의 제조 방법
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제1항에 있어서, 상기 규소원이 실리카(silica) 분말, 실리카 솔(silica sol), 실리카 겔(silica gel) 및 석영 분말로 이루어진 군에서 선택된 적어도 어느 하나를 포함하는 서셉터의 제조 방법
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제1항 내지 제6항, 제9항 및 제11항 내지 제14항 중 어느 한 항에 의한 서셉터의 제조 방법에 의하여 제조된 서셉터로써, 규소원 및 탄소원의 반응에 의한 탄화규소를 포함하고, 상기 규소원에 포함된 규소에 대한 상기 탄소원에 포함된 탄소의 몰(mole)비가 1
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