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태양 전지 및 그 제조 방법

  • 기술번호 : KST2015063607
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요약 본 발명은 태양 전지 및 그 제조 방법에 관한 것이다.본 발명에 따른 태양 전지의 일례는 제 1 도전성 타입의 불순물이 도핑된 결정질 반도체 기판; 결정질 반도체 기판의 전면에 형성되며, 제 1 도전성 타입의 불순물이 결정질 반도체 기판보다 더 고농도로 도핑된 전면 전계부; 전면 전계부의 전면에 형성되는 반사 방지부; 결정질 반도체 기판의 후면에 형성되며, 제 1 도전성 타입과 반대인 제 2 도전성 타입의 불순물이 도핑되는 에미터부; 에미터부의 후면에 형성되는 제 1 전극; 결정질 반도체 기판의 후면에 형성되며, 제 1 도전성 타입의 불순물이 결정질 반도체 기판보다 더 고농도로 도핑되는 후면 전계부; 및 후면 전계부의 후면에 형성되는 제 2 전극;을 포함하며, 반사 방지부는 복수 개의 반사 방지 와이어가 전면 전계부의 표면으로부터 돌출되어 형성된다.
Int. CL H01L 31/0216 (2014.01) H01L 31/068 (2006.01) H01L 31/18 (2006.01) H01L 31/028 (2006.01)
CPC H01L 31/02168(2013.01) H01L 31/02168(2013.01) H01L 31/02168(2013.01) H01L 31/02168(2013.01) H01L 31/02168(2013.01)
출원번호/일자 1020100129125 (2010.12.16)
출원인 엘지전자 주식회사
등록번호/일자 10-1658677-0000 (2016.09.12)
공개번호/일자 10-2012-0067619 (2012.06.26) 문서열기
공고번호/일자 (20160921) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2015.07.08)
심사청구항수 18

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 엘지전자 주식회사 대한민국 서울특별시 영등포구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 양병기 대한민국 서울특별시 서초구
2 양현진 대한민국 서울특별시 서초구
3 이헌민 대한민국 서울특별시 서초구
4 이현 대한민국 서울특별시 서초구
5 이성은 대한민국 서울특별시 서초구
6 윤원기 대한민국 서울특별시 서초구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인로얄 대한민국 서울특별시 서초구 반포대로 ***, *층(서초동,서일빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 엘지전자 주식회사 대한민국 서울특별시 영등포구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2010.12.16 수리 (Accepted) 1-1-2010-0830653-11
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.05.22 수리 (Accepted) 4-1-2015-5068349-97
3 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2015.07.08 수리 (Accepted) 1-1-2015-0660215-22
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2015.12.08 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2016.02.05 수리 (Accepted) 9-1-2016-0008363-43
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2016.02.17 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0121678-86
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2016.03.15 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2016-0247014-65
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2016.03.15 수리 (Accepted) 1-1-2016-0247000-26
9 등록결정서
Decision to grant
2016.08.05 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0566542-45
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.05.28 수리 (Accepted) 4-1-2020-5118228-40
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
제 1 도전성 타입의 불순물이 도핑된 결정질 반도체 기판;상기 결정질 반도체 기판의 전면에 형성되며, 상기 제 1 도전성 타입의 불순물이 상기 결정질 반도체 기판보다 더 고농도로 도핑된 전면 전계부;상기 전면 전계부의 전면에 형성되는 반사 방지부;상기 결정질 반도체 기판의 후면에 위치하며, 상기 제 1 도전성 타입과 반대인 제 2 도전성 타입의 불순물이 도핑되는 에미터부;상기 에미터부 위에 위치하는 제 1 전극;상기 결정질 반도체 기판의 후면에 상기 에미터부와 나란하게 위치하며, 상기 제 1 도전성 타입의 불순물이 상기 결정질 반도체 기판보다 더 고농도로 도핑되는 후면 전계부; 및상기 후면 전계부 위에 위치하고, 상기 제1 전극과 나란하게 이격되어 위치하는 제 2 전극;을 포함하며,상기 반사 방지부는 상기 전면 전계부의 표면으로부터 돌출된 복수 개의 반사 방지 와이어를 포함하고, 상기 복수 개의 반사 방지 와이어는 상기 전면 전계부와 동일한 실리콘 재질로 형성되고, 전면 전계부와 동일한 상기 제1 도전성 타입의 불순물로 도핑된 것을 특징으로 하는 태양 전지
2 2
제 1 항에 있어서,상기 반사 방지 와이어의 각각의 길이가 3㎛ 이상 8㎛이하인 것을 특징으로 하는 태양 전지
3 3
제 1 항에 있어서,상기 반사 방지 와이어의 각각의 직경은 20nm 이상 200nm 이하인 것을 특징으로 하는 태양 전지
4 4
제 1 항에 있어서,상기 복수 개의 반사 방지 와이어는 상기 전면 전계부의 전면 표면에 수직 방향으로 형성된 것을 특징으로 하는 태양 전지
5 5
제 1 항에 있어서,상기 복수 개의 반사 방지 와이어에서 상기 전면 전계부로부터 돌출된 끝부분은 평탄면 없이 뾰족한 것을 특징으로 하는 태양 전지
6 6
제 1 항에 있어서,상기 반사 방지부는 상기 제 1 도전성 타입의 불순물이 상기 전면 전계부와 동일한 농도로 도핑된 것을 특징으로 하는 태양 전지
7 7
제 1 항에 있어서,상기 결정질 반도체 기판, 상기 반사 방지부 및 상기 전면 전계부는 단결정 실리콘(Si) 재질로 이루어진 것을 특징으로 하는 태양 전지
8 8
제 1 항에 있어서,상기 전면 전계부의 두께는 2㎛이상 8㎛이하인 것을 특징으로 하는 태양 전지
9 9
제 1 항에 있어서,상기 에미터부는 결정질 실리콘 재질 또는 비정질 실리콘 재질을 포함하는 것을 특징으로 하는 태양 전지
10 10
제 1 항에 있어서,상기 후면 전계부는 결정질 실리콘 재질 또는 비정질 실리콘 재질을 포함하는 것을 특징으로 하는 태양 전지
11 11
표면에 복수 개의 홀이 형성된 실리콘(porous Si) 웨이퍼의 상부 표면에 제 1 도전성 타입의 불순물이 도핑된 결정질 반도체 기판을 형성하는 단계;상기 결정질 반도체 기판의 전면에 상기 제 1 도전성 타입의 불순물이 상기 결정질 반도체 기판보다 더 고농도로 도핑된 전면 전계부를 형성하는 단계;상기 전면 전계부의 전면에 상기 제 1 도전성 타입의 불순물이 도핑된 복수 개의 반사 방지 와이어가 상기 전면 전계부의 표면으로부터 돌출되어 형성된 반사 방지부를 형성하는 단계; 및상기 반사 방지부를 형성한 이후, 상기 결정질 반도체 기판의 후면에서 상기 복수 개의 홀이 형성된 실리콘(porous Si) 웨이퍼를 제거하는 단계;를 포함하고,상기 반사 방지부를 형성하는 단계는 상기 전면 전계부의 표면으로부터 내부 방향으로 상기 전면 전계부를 에칭(etching)하여 상기 복수 개의 반사 방지 와이어를 형성하는 태양 전지의 제조 방법
12 12
제 11 항에 있어서,상기 결정질 반도체 기판을 형성하는 단계는 상기 복수 개의 홀이 형성된 실리콘 웨이퍼를 어닐링(annealing)하여 상기 복수 개의 홀의 입구를 봉쇄한 다음, 상기 복수 개의 홀의 입구가 봉쇄된 실리콘 웨이퍼의 표면에 단결정 실리콘층을 에피텍셜 성장(epitaxial growth)시켜 형성하는 것을 특징으로 하는 태양 전지의 제조 방법
13 13
제 12 항에 있어서,상기 결정질 반도체 기판을 형성하는 단계는 상기 단결정 실리콘층을 성장시키면서 동시에 상기 단결정 실리콘층에 상기 제 1 도전성 타입의 불순물을 도핑하는 것을 특징으로 하는 태양 전지의 제조 방법
14 14
제 12 항에 있어서,상기 전면 전계부를 형성하는 단계는 상기 결정질 반도체 기판의 전면에 상기 단결정 실리콘층을 연속적으로 에피텍셜 성장시키면서 동시에 상기 제 1 도전성 타입의 불순물을 상기 결정질 반도체 기판보다 고농도로 도핑하면서 형성하는 것을 특징으로 하는 태양 전지의 제조 방법
15 15
제 11 항에 있어서,상기 반사 방지부를 형성하는 단계는 상기 전면 전계부를 형성한 이후, 금속 나노 입자를 이용하여 상기 반사 방지부를 형성하는 것을 특징으로 하는 태양 전지의 제조 방법
16 16
제 15 항에 있어서,상기 금속 나노 입자는 은(Ag) 나노 입자인 것을 특징으로 하는 태양 전지의 제조 방법
17 17
제 11 항에 있어서,상기 태양 전지의 제조 방법은상기 복수 개의 홀이 형성된 실리콘(porous Si) 웨이퍼를 제거한 후, 상기 결정질 반도체 기판의 후면에 상기 제 1 도전성 타입과 반대인 제 2 도전성 타입의 불순물이 도핑되는 에미터부를 형성하는 단계; 및상기 결정질 반도체 기판의 후면에 상기 에미터부와 나란하게 상기 제 1 도전성 타입의 불순물이 상기 결정질 반도체 기판보다 고농도로 도핑되는 후면 전계부를 형성하는 단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 태양 전지의 제조 방법
18 18
제 17 항에 있어서,상기 태양 전지의 제조 방법은상기 에미터부의 후면에 제 1 전극을 형성하고, 상기 후면 전계부의 후면에 제 2 전극을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 태양 전지의 제조 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.