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액정표시장치용 고정밀 인쇄판 및 그의 제조 방법

  • 기술번호 : KST2015063683
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요약 본 발명은 액정표시장치용 고정밀 인쇄판 및 그의 제조 방법에 관한 것으로, 기존에 포토레지스트(PR)를 이용하여 패턴화하던 것을 금속과 도금을 이용하여 패턴화함으로써, 미세패턴 구현이 가능하고 그에 따라 패턴 해상도 및 전사 특성을 향상시킬 수 있고 인쇄판의 신뢰성과 수율을 향상시킴과 함께 인쇄판의 수명을 늘릴 수 있도록 구현하였다.본 발명에 의한 액정표시장치용 고정밀 인쇄판의 제조 방법은, (a) 절연기재상에 제 1 금속 패턴층을 형성하는 단계와 (b) 상기 제 1 금속 패턴층 상에 제 2 금속 패턴층을 형성하는 단계를 포함하고 있다.
Int. CL G02F 1/13 (2006.01) G03F 7/004 (2006.01) G02F 1/1333 (2006.01)
CPC G02F 1/133305(2013.01) G02F 1/133305(2013.01) G02F 1/133305(2013.01) G02F 1/133305(2013.01) G02F 1/133305(2013.01) G02F 1/133305(2013.01) G02F 1/133305(2013.01)
출원번호/일자 1020100134616 (2010.12.24)
출원인 엘지이노텍 주식회사
등록번호/일자 10-1250422-0000 (2013.03.28)
공개번호/일자 10-2012-0072736 (2012.07.04) 문서열기
공고번호/일자 (20130408) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.12.24)
심사청구항수 19

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 엘지이노텍 주식회사 대한민국 서울특별시 강서구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 신준식 대한민국 서울특별시 중구
2 구찬규 대한민국 서울특별시 중구
3 홍범선 대한민국 서울특별시 중구
4 이용인 대한민국 서울특별시 중구
5 강현욱 대한민국 서울특별시 중구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김희곤 대한민국 대전시 유성구 문지로 ***-*(문지동) *동(웰쳐국제특허법률사무소)
2 김인한 대한민국 서울특별시 서초구 사임당로 **, **층 (서초동, 신영빌딩)(특허법인세원)
3 박용순 대한민국 서울특별시 송파구 법원로*길 **, **층 D-****호(문정동)(주심국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 엘지이노텍 주식회사 서울특별시 중구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2010.12.24 수리 (Accepted) 1-1-2010-0857162-82
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2011.09.15 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2011.10.20 수리 (Accepted) 9-1-2011-0085248-56
4 협의요구서
Request for Consultation
2012.05.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0308935-52
5 협의요구서
Request for Consultation
2012.05.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0308934-17
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2012.05.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0308931-70
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2012.07.27 수리 (Accepted) 1-1-2012-0603612-61
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2012.07.27 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-0603609-23
9 등록결정서
Decision to grant
2012.12.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0799415-15
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.10.27 수리 (Accepted) 4-1-2014-0093826-77
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.03.08 수리 (Accepted) 4-1-2017-5035901-08
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.07.18 수리 (Accepted) 4-1-2018-5136723-03
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.01.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5011221-01
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
(a) 절연기재상에 제 1 금속 패턴층을 형성하는 단계; 및(b) 상기 제 1 금속 패턴층 상에 제 1 PR 패턴층을 형성한 후, 상기 제 1 금속 패턴층을 식각하는 단계;(c) 상기 식각된 제 1 금속 패턴층 상에 제 2 PR 패턴층을 형성한 후, 상기 제 2 PR 패턴층을 이용하여 상기 제 1 금속 패턴층 상부에 제 2 금속 패턴층을 형성하는 단계; 및(d) 상기 제 2 PR 패턴층을 제거하여 인쇄판 패턴을 형성하는 단계;를 포함하는 액정표시장치용 고정밀 인쇄판의 제조 방법
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 고정밀 인쇄판의 제조 방법은:상기 절연기재상에 밀착층을 형성하는 액정표시장치용 고정밀 인쇄판의 제조 방법
3 3
제 2 항에 있어서, 상기 고정밀 인쇄판의 제조 방법은:상기 밀착층 상에 하지 패턴층을 형성한 후 상기 하지 패턴층 상에 상기 제 1 금속 패턴층을 형성하는 액정표시장치용 고정밀 인쇄판의 제조 방법
4 4
제 2 항에 있어서, 상기 밀착층은:스퍼터링(Sputtering) 공정 또는 이배퍼레이터(Evaporator)를 이용하여 형성하는 액정표시장치용 고정밀 인쇄판의 제조 방법
5 5
제 3 항에 있어서, 상기 하지 패턴층은:스퍼터링(Sputtering) 공정 또는 이배퍼레이터(Evaporator)를 이용하여 형성하는 액정표시장치용 고정밀 인쇄판의 제조 방법
6 6
제 1 항에 있어서, 상기 제 1 금속 패턴층은:전해 또는 무전해 도금 공정으로 도금하여 형성되는 액정표시장치용 고정밀 인쇄판의 제조 방법
7 7
삭제
8 8
제 1 항에 있어서, 상기 제 1 및 제 2 PR 패턴층은:화학약품을 사용한 습식 박리(Strip) 또는 플라즈마를 이용한 건식 에싱(Ashing)을 이용하여 제거하는 액정표시장치용 고정밀 인쇄판의 제조 방법
9 9
제 3 항에 있어서, 상기 고정밀 인쇄판의 제조 방법은:상기 제 1 금속 패턴층과 상기 하지 패턴층이 동일한 재료로 형성된 경우 상기 제 1 금속 패턴층을 식각할 때 상기 하지 패턴층까지 함께 식각하는 액정표시장치용 고정밀 인쇄판의 제조 방법
10 10
제 1 항에 있어서, 상기 제 1 금속 패턴층의 식각은:화학약품을 사용한 습식 또는 플라즈마를 이용한 건식 공정을 사용하여 식각하는 액정표시장치용 고정밀 인쇄판의 제조 방법
11 11
제 1 항에 있어서, 상기 제 2 금속 패턴층은:전해 또는 무전해 도금 공정으로 도금하여 형성되는 액정표시장치용 고정밀 인쇄판의 제조 방법
12 12
절연기재상에 형성된 제 1 금속 패턴층; 및상기 제1 금속 패턴층 상에 형성된 제 2 금속 패턴층;을 포함하는 액정표시장치용 고정밀 인쇄판
13 13
제 12 항에 있어서, 상기 고정밀 인쇄판은:상기 절연기재상에 형성된 밀착층과 하지 패턴층이 순차적으로 형성되고, 상기 하지 패턴층 상에 상기 제 1 금속 패턴층이 형성된 액정표시장치용 고정밀 인쇄판
14 14
제 13 항에 있어서, 상기 하지 패턴층은:Cu, Ag, Ni, Al, Cr, Ru, Re, Pb, Cr, Sn, In, Zn을 포함하는 군으로부터 선택되는 적어도 1종의 금속 또는 이들 금속을 포함하는 합금으로 형성되는 액정표시장치용 고정밀 인쇄판
15 15
제 12 항에 있어서, 상기 제 1 금속 패턴층은 상부에 제 1 PR 패턴층을 형성한 후 식각하여 형성되고, 상기 제 2 금속 패턴층은 상기 제 1 금속 패턴층 상에 제 2 PR 패턴층을 형성하여 도금으로 형성되는 액정표시장치용 고정밀 인쇄판
16 16
제 13 항에 있어서, 상기 하지 패턴층은:Cu, Ag, Ni, Al, Cr, Ru, Re, Pb, Cr, Sn, In, Zn을 포함하는 군으로부터 선택되는 적어도 1종의 금속 또는 이들 금속을 포함하는 합금으로 형성되는 액정표시장치용 고정밀 인쇄판
17 17
제 13 항에 있어서, 상기 밀착층은:상기 절연기재와 상기 하지 패턴층의 밀착을 위해, Cu, Ag, Ni, Al, Cr, Ru, Re, Pb, Cr, Sn, In, Zn을 포함하는 군으로부터 선택되는 적어도 1종의 금속 또는 이들 금속을 포함하는 합금으로 형성되는 액정표시장치용 고정밀 인쇄판
18 18
제 12 항 또는 제 13 항에 있어서, 상기 절연기재는:글래스(Glass), PC(Polycarbonate) 및 PET(polyethylene terephthalate resin) 중 어느 하나의 재료로 구성되는 액정표시장치용 고정밀 인쇄판
19 19
제 12 항에 있어서, 상기 제 1 금속 패턴층은 Cu, Ag, Ni, Au, Al, Cr, Ru, Re, Pb, Cr, Sn, In, Zn을 포함하는 전기전도도를 가지는 군으로부터 선택되는 적어도 1종의 금속을 도금하여 형성되는 액정표시장치용 고정밀 인쇄판
20 20
제 12 항에 있어서, 상기 제 2 금속 패턴층은:Cu, Ag, Ni, Au, Al, Cr, Ru, Re, Pb, Cr, Sn, In, Zn을 포함하는 전기전도도를 가지는 군으로부터 선택되는 적어도 1종의 금속을 도금하여 형성되는 액정표시장치용 고정밀 인쇄판
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.