1 |
1
(a) 절연기재상에 제 1 금속 패턴층을 형성하는 단계; 및(b) 상기 제 1 금속 패턴층 상에 제 1 PR 패턴층을 형성한 후, 상기 제 1 금속 패턴층을 식각하는 단계;(c) 상기 식각된 제 1 금속 패턴층 상에 제 2 PR 패턴층을 형성한 후, 상기 제 2 PR 패턴층을 이용하여 상기 제 1 금속 패턴층 상부에 제 2 금속 패턴층을 형성하는 단계; 및(d) 상기 제 2 PR 패턴층을 제거하여 인쇄판 패턴을 형성하는 단계;를 포함하는 액정표시장치용 고정밀 인쇄판의 제조 방법
|
2 |
2
제 1 항에 있어서, 상기 고정밀 인쇄판의 제조 방법은:상기 절연기재상에 밀착층을 형성하는 액정표시장치용 고정밀 인쇄판의 제조 방법
|
3 |
3
제 2 항에 있어서, 상기 고정밀 인쇄판의 제조 방법은:상기 밀착층 상에 하지 패턴층을 형성한 후 상기 하지 패턴층 상에 상기 제 1 금속 패턴층을 형성하는 액정표시장치용 고정밀 인쇄판의 제조 방법
|
4 |
4
제 2 항에 있어서, 상기 밀착층은:스퍼터링(Sputtering) 공정 또는 이배퍼레이터(Evaporator)를 이용하여 형성하는 액정표시장치용 고정밀 인쇄판의 제조 방법
|
5 |
5
제 3 항에 있어서, 상기 하지 패턴층은:스퍼터링(Sputtering) 공정 또는 이배퍼레이터(Evaporator)를 이용하여 형성하는 액정표시장치용 고정밀 인쇄판의 제조 방법
|
6 |
6
제 1 항에 있어서, 상기 제 1 금속 패턴층은:전해 또는 무전해 도금 공정으로 도금하여 형성되는 액정표시장치용 고정밀 인쇄판의 제조 방법
|
7 |
7
삭제
|
8 |
8
제 1 항에 있어서, 상기 제 1 및 제 2 PR 패턴층은:화학약품을 사용한 습식 박리(Strip) 또는 플라즈마를 이용한 건식 에싱(Ashing)을 이용하여 제거하는 액정표시장치용 고정밀 인쇄판의 제조 방법
|
9 |
9
제 3 항에 있어서, 상기 고정밀 인쇄판의 제조 방법은:상기 제 1 금속 패턴층과 상기 하지 패턴층이 동일한 재료로 형성된 경우 상기 제 1 금속 패턴층을 식각할 때 상기 하지 패턴층까지 함께 식각하는 액정표시장치용 고정밀 인쇄판의 제조 방법
|
10 |
10
제 1 항에 있어서, 상기 제 1 금속 패턴층의 식각은:화학약품을 사용한 습식 또는 플라즈마를 이용한 건식 공정을 사용하여 식각하는 액정표시장치용 고정밀 인쇄판의 제조 방법
|
11 |
11
제 1 항에 있어서, 상기 제 2 금속 패턴층은:전해 또는 무전해 도금 공정으로 도금하여 형성되는 액정표시장치용 고정밀 인쇄판의 제조 방법
|
12 |
12
절연기재상에 형성된 제 1 금속 패턴층; 및상기 제1 금속 패턴층 상에 형성된 제 2 금속 패턴층;을 포함하는 액정표시장치용 고정밀 인쇄판
|
13 |
13
제 12 항에 있어서, 상기 고정밀 인쇄판은:상기 절연기재상에 형성된 밀착층과 하지 패턴층이 순차적으로 형성되고, 상기 하지 패턴층 상에 상기 제 1 금속 패턴층이 형성된 액정표시장치용 고정밀 인쇄판
|
14 |
14
제 13 항에 있어서, 상기 하지 패턴층은:Cu, Ag, Ni, Al, Cr, Ru, Re, Pb, Cr, Sn, In, Zn을 포함하는 군으로부터 선택되는 적어도 1종의 금속 또는 이들 금속을 포함하는 합금으로 형성되는 액정표시장치용 고정밀 인쇄판
|
15 |
15
제 12 항에 있어서, 상기 제 1 금속 패턴층은 상부에 제 1 PR 패턴층을 형성한 후 식각하여 형성되고, 상기 제 2 금속 패턴층은 상기 제 1 금속 패턴층 상에 제 2 PR 패턴층을 형성하여 도금으로 형성되는 액정표시장치용 고정밀 인쇄판
|
16 |
16
제 13 항에 있어서, 상기 하지 패턴층은:Cu, Ag, Ni, Al, Cr, Ru, Re, Pb, Cr, Sn, In, Zn을 포함하는 군으로부터 선택되는 적어도 1종의 금속 또는 이들 금속을 포함하는 합금으로 형성되는 액정표시장치용 고정밀 인쇄판
|
17 |
17
제 13 항에 있어서, 상기 밀착층은:상기 절연기재와 상기 하지 패턴층의 밀착을 위해, Cu, Ag, Ni, Al, Cr, Ru, Re, Pb, Cr, Sn, In, Zn을 포함하는 군으로부터 선택되는 적어도 1종의 금속 또는 이들 금속을 포함하는 합금으로 형성되는 액정표시장치용 고정밀 인쇄판
|
18 |
18
제 12 항 또는 제 13 항에 있어서, 상기 절연기재는:글래스(Glass), PC(Polycarbonate) 및 PET(polyethylene terephthalate resin) 중 어느 하나의 재료로 구성되는 액정표시장치용 고정밀 인쇄판
|
19 |
19
제 12 항에 있어서, 상기 제 1 금속 패턴층은 Cu, Ag, Ni, Au, Al, Cr, Ru, Re, Pb, Cr, Sn, In, Zn을 포함하는 전기전도도를 가지는 군으로부터 선택되는 적어도 1종의 금속을 도금하여 형성되는 액정표시장치용 고정밀 인쇄판
|
20 |
20
제 12 항에 있어서, 상기 제 2 금속 패턴층은:Cu, Ag, Ni, Au, Al, Cr, Ru, Re, Pb, Cr, Sn, In, Zn을 포함하는 전기전도도를 가지는 군으로부터 선택되는 적어도 1종의 금속을 도금하여 형성되는 액정표시장치용 고정밀 인쇄판
|