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노광장치 및 노광장치의 정렬 방법

  • 기술번호 : KST2015063719
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 광원; 상기 광원에서 제공된 광을 패턴으로 갖는 광으로 출사하는 디지털 마이크로미러 소자(Digital Micromirror Device, DMD); 상기 디지털 마이크로미러 소자의 틸트값을 측정하는 틸트 측정부; 상기 디지털 마이크로미러 소자에서 출사된 광을 확장시키는 빔 확장기; 상기 빔 확장기에서 출사된 광을 복수개의 광들로 분리하여 집광시키는 멀티 어레이 렌즈(Multi Array Lens, MAL); 상기 멀티 어레이 렌즈에서 집광된 광들의 해상도를 조정하여 투과시키는 프로젝션 렌즈; 및 상기 프로젝션 렌즈 하부에 배치되며, 기판을 안착하는 스테이지;를 포함하는 노광장치 및 노광장치의 정렬방법을 개시하여, 노광 정밀도를 향상시킬 수 있다.
Int. CL H01L 21/027 (2006.01) G03F 7/20 (2006.01) H01L 21/677 (2006.01) H01L 21/66 (2006.01)
CPC H01L 21/0274(2013.01) H01L 21/0274(2013.01) H01L 21/0274(2013.01) H01L 21/0274(2013.01) H01L 21/0274(2013.01) H01L 21/0274(2013.01) H01L 21/0274(2013.01) H01L 21/0274(2013.01)
출원번호/일자 1020100137057 (2010.12.28)
출원인 엘지디스플레이 주식회사, 엘지전자 주식회사
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2012-0075038 (2012.07.06) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2015.12.04)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 엘지디스플레이 주식회사 대한민국 서울특별시 영등포구
2 엘지전자 주식회사 대한민국 서울특별시 영등포구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김기준 대한민국 경기도 고양시 일산서구
2 김문환 대한민국 충청북도 청주시 흥덕구
3 문동희 대한민국 경기도 파주시 쇠재로 **
4 양남열 대한민국 서울특별시 영등포구
5 박명주 대한민국 서울특별시 영등포구
6 이창주 대한민국 서울특별시 영등포구
7 신영훈 대한민국 서울특별시 영등포구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인인벤싱크 대한민국 서울특별시 강남구 언주로 ***, *층 (역삼동, 아레나빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 엘지디스플레이 주식회사 서울특별시 영등포구
2 엘지전자 주식회사 서울특별시 영등포구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2010.12.28 수리 (Accepted) 1-1-2010-0869107-17
2 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2011.08.09 수리 (Accepted) 1-1-2011-0612980-13
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.10.04 수리 (Accepted) 4-1-2011-5199065-15
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.12.29 수리 (Accepted) 4-1-2011-5262372-95
5 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2012.09.04 반려 (Return) 1-1-2012-0714545-70
6 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2012.09.04 수리 (Accepted) 1-1-2012-0712137-19
7 일부반려안내문
Notification of Partial Return
2012.09.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2012-0117159-50
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.05.22 수리 (Accepted) 4-1-2015-5068349-97
9 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2015.06.08 수리 (Accepted) 1-1-2015-0551953-75
10 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2015.12.04 수리 (Accepted) 1-1-2015-1188112-13
11 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2016.07.08 수리 (Accepted) 1-1-2016-0664766-95
12 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2017.03.23 수리 (Accepted) 1-1-2017-0289646-18
13 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2017.05.12 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
14 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2017.10.11 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2017-0154783-47
15 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2017.10.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0740338-10
16 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2017.12.04 수리 (Accepted) 1-1-2017-1207517-50
17 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2017.12.04 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2017-1207529-08
18 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2018.04.05 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0237122-24
19 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2018.06.05 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2018-0552705-41
20 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2018.06.05 수리 (Accepted) 1-1-2018-0552700-13
21 등록결정서
Decision to grant
2018.10.05 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0680846-30
22 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.05.28 수리 (Accepted) 4-1-2020-5118228-40
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
광원;상기 광원에서 제공된 광을 패턴으로 갖는 광으로 출사하는 디지털 마이크로미러 소자(Digital Micromirror Device, DMD);상기 디지털 마이크로미러 소자의 틸트값을 측정하는 틸트 측정부;상기 디지털 마이크로미러 소자에서 출사된 광을 확장시키는 빔 확장기;상기 빔 확장기에서 출사된 광을 복수개의 광들로 분리하여 집광시키는 멀티 어레이 렌즈(Multi Array Lens, MAL);상기 멀티 어레이 렌즈에서 집광된 광들의 해상도를 조정하여 투과시키는 프로젝션 렌즈; 및상기 프로젝션 렌즈 하부에 배치되며, 기판을 안착하는 스테이지; 를 포함하며,상기 틸트 측정부는, 상기 디지털 마이크로미러 소자에서 출사된 광의 간섭으로 간섭 무늬를 형성하는 간섭계;상기 간섭계로부터 형성된 간섭 무늬를 결상하는 리시버 렌즈; 상기 리시버 렌즈에 결상된 간섭 무늬를 감지하는 디텍터; 및상기 디지털 마이크로미러 소자에서 출사된 광의 간섭없이 상기 간섭계 자체의 간섭 현상으로 형성되는 간섭 무늬의 데이터인 기준값과 상기 디텍터에서 제공된 간섭 무늬의 데이터를 비교하여 상기 디지털 마이크로미러 소자의 틸트값을 산출하는 신호처리부를 포함하며,상기 간섭계는,레이저 빔을 발생하는 레이저 발생부;상기 레이저 빔을 분할하여 투과시키는 빔 스플릿터; 및상기 빔 스플릿터에서 분할하여 투과된 광을 반사시켜 상기 빔 스플릿터로 입사시키는 반사수단을 포함하며,상기 빔 스플릿터에서 분할하여 투과되는 광은 상기 빔 스플릿터와 상기 반사수단 사이의 통과점에서 교차되어 상기 반사수단에 입사되며,상기 빔 스플릿터에서 분할하여 투과되는 광과 상기 반사수단으로부터 반사되어 상기 빔 스플릿터로 입사되는 광은, 경로차에 의하여 상기 통과점에서 간섭되며,상기 간섭계로부터 형성된 간섭 무늬는, 상기 디지털 마이크로미러 소자에서 출사된 광이 상기 통과점을 지나며 형성된 무늬인, 노광장치
2 2
삭제
3 3
삭제
4 4
제 1 항에 있어서,상기 신호처리부에서 제공된 정보에 따라 상기 디지털 마이크로미러 소자의 위치를 제어하는 위치 제어부를 더 포함하는 노광장치
5 5
제 4 항에 있어서,상기 위치 제어부는 상기 신호 처리부의 정보에 따라 상기 디지털 마이크로미러 소자를 이동시키는 DMD 스테이지를 이동시키거나 또는 상기 기판을 안착하는 스테이지를 이동시키는 노광장치
6 6
광원에서 디지털 마이크로미러 소자로 광을 조명하는 단계;상기 디지털 마이크로미러 소자에서 상기 광을 상기 디지털 마이크로미러 소자의 틸트를 측정하는 틸트 측정부로 반사하는 단계;상기 틸트 측정부를 통해 상기 디지털 마이크로미러 소자의 틸트 값을 산출하는 단계; 및상기 디지털 마이크로미러 소자의 틸트 값에 따라 상기 디지털 마이크로미러 소자의 위치를 정렬하는 단계;를 포함하며,상기 디지털 마이크로미러 소자의 틸트 측정부에서 상기 디지털 마이크로미러 소자의 틸트 값을 산출하는 단계는,간섭계를 이용하여 상기 디지털 마이크로미러 소자에서 반사된 광의 간섭으로 간섭무늬를 형성하는 단계; 상기 간섭무늬를 디텍트하여 피드백하는 단계; 및상기 디지털 마이크로미러 소자에서 상기 틸트 측정부로 반사된 광의 간섭없이 형성되는 기준 간섭무늬와 상기 피드백된 간섭무늬를 비교 분석하여, 상기 디지털 마이크로미러 소자의 틸트 값을 산출하는 단계를 포함하며,상기 간섭계는, 레이저 빔을 발생하는 레이저 발생부;상기 레이저 빔을 분할하여 투과시키는 빔 스플릿터; 및상기 빔 스플릿터에서 분할하여 투과된 광을 반사시켜 상기 빔 스플릿터로 입사시키는 반사수단을 포함하며,상기 빔 스플릿터에서 분할하여 투과되는 광은 상기 빔 스플릿터와 상기 반사수단 사이의 통과점에서 교차되어 상기 반사수단에 입사되며,상기 빔 스플릿터에서 분할하여 투과되는 광과 상기 반사수단으로부터 반사되어 상기 빔 스플릿터로 입사되는 광은, 경로차에 의하여 상기 통과점에서 간섭되며,상기 간섭계를 이용하여 형성된 간섭 무늬는, 상기 디지털 마이크로미러 소자에서 출사된 광이 상기 통과점을 지나며 형성된 무늬인,노광장치의 정렬 방법
7 7
삭제
8 8
제 6 항에 있어서,상기 디지털 마이크로미러 소자의 틸트 값에 따라 상기 디지털 마이크로미러 소자의 위치를 정렬하는 단계는상기 디지털 마이크로미러 소자를 구동하는 DMD 스테이지의 위치를 변경시키거나 기판을 안착하는 스테이지를 변경시키는 노광장치의 정렬 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.