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노광장치

  • 기술번호 : KST2015063751
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  • 전화번호 :
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 노광 대상인 기판을 안착하는 스테이지; 상기 노광 공정을 위한 광을 발생하는 광원; 상기 스테이지 상에 배치되며, 상기 광원에서 형성된 광을 상기 스테이지 상의 기판으로 제공하는 다수의 광학부재 및 상기 다수의 광학부재를 내부에 고정하는 하우징을 포함하는 광학 어셈블리; 및 상기 하우징에 연결되어 상기 광학 어셈블리를 위치를 조정하는 얼라인 수단;을 포함하여, 광학부재의 얼라인을 간소화할 수 있는 노광장치를 개시한다.
Int. CL H01L 21/027 (2006.01) G03F 7/20 (2006.01)
CPC H01L 21/0274(2013.01) H01L 21/0274(2013.01) H01L 21/0274(2013.01) H01L 21/0274(2013.01) H01L 21/0274(2013.01)
출원번호/일자 1020100137058 (2010.12.28)
출원인 엘지디스플레이 주식회사, 엘지전자 주식회사
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2012-0075039 (2012.07.06) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2015.12.04)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 엘지디스플레이 주식회사 대한민국 서울특별시 영등포구
2 엘지전자 주식회사 대한민국 서울특별시 영등포구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김기준 대한민국 경기도 고양시 일산서구
2 전덕찬 대한민국 경상북도 구미시
3 양남열 대한민국 서울특별시 영등포구
4 김건수 대한민국 서울특별시 영등포구
5 박명주 대한민국 서울특별시 영등포구
6 이창주 대한민국 서울특별시 영등포구
7 신영훈 대한민국 서울특별시 영등포구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인(유한) 대아 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로 ***, 한양빌딩*층(역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 엘지디스플레이 주식회사 서울특별시 영등포구
2 엘지전자 주식회사 서울특별시 영등포구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2010.12.28 수리 (Accepted) 1-1-2010-0869108-52
2 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2011.08.09 수리 (Accepted) 1-1-2011-0612981-69
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.10.04 수리 (Accepted) 4-1-2011-5199065-15
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.12.29 수리 (Accepted) 4-1-2011-5262372-95
5 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2012.09.04 반려 (Return) 1-1-2012-0714329-14
6 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2012.09.04 수리 (Accepted) 1-1-2012-0712137-19
7 일부반려안내문
Notification of Partial Return
2012.09.10 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2012-0113442-84
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.05.22 수리 (Accepted) 4-1-2015-5068349-97
9 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2015.06.08 수리 (Accepted) 1-1-2015-0551953-75
10 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2015.12.04 수리 (Accepted) 1-1-2015-1188587-75
11 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2016.07.08 수리 (Accepted) 1-1-2016-0662674-46
12 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2017.05.12 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
13 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2017.10.11 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2017-0154905-21
14 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2017.10.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0741233-93
15 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2017.12.26 수리 (Accepted) 1-1-2017-1291820-83
16 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2018.01.25 수리 (Accepted) 1-1-2018-0089448-73
17 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2018.01.25 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2018-0089449-18
18 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2018.05.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0331558-00
19 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2018.06.15 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2018-0586590-17
20 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2018.06.15 수리 (Accepted) 1-1-2018-0586591-63
21 등록결정서
Decision to Grant Registration
2018.07.02 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0450627-65
22 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.05.28 수리 (Accepted) 4-1-2020-5118228-40
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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노광 대상인 기판을 안착하는 스테이지;노광 공정을 위한 광을 발생하는 광원;상기 스테이지 상에 배치되는 하우징;상기 하우징의 내부에 설정된 위치에 결합을 통해 일체를 이루도록 고정되고, 상기 광원에서 형성된 광을 상기 하우징의 내부에서 노광 패턴을 갖는 광으로 마련하여, 상기 스테이지 상에 안착되는 상기 기판으로 제공하는 다수의 광학부재; 및,상기 하우징의 일측에 연결되는 얼라인 수단; 을 포함하되,상기 얼라인 수단은,상기 하우징의 회전, 직선이동 및 틸트 위치를 조정함으로써, 상기 노광 패턴을 갖는 광이 출사되도록 상기 다수의 광학 부재를 동시에 얼라인시키고,상기 하우징에는 상기 다수의 광학부재들이 수용되는 관통공이 마련되고,상기 하우징은, 상기 다수의 광학부재의 상면과 하면을 각각 노출하는 개구를 구비하고,상기 얼라인 수단은 상기 하우징의 상측에 배치된 제 1 얼라인 수단과 상기 하우징의 하측에 배치된 제 2 얼라인 수단을 포함하고,상기 제 1 및 제 2 얼라인 수단 각각은 상기 상기 다수의 광학 부재를 회전시키는 회전수단, 상기 다수의 광학 부재를 X축 방향으로 직선 이동시키는 X축 이동수단 및 상기 다수의 광학 부재를 Y축 방향으로 직선 이동시키는 Y축 이동수단을 포함하고,상기 제 1 및 제 2 얼라인 수단은,상기 하우징의 일측에 결합된 메인 바디를 통해 상기 하우징과 결합되고,상기 제 1 및 제 2 얼라인 수단은 상기 메인 바디 상부 및 하부에 각각 결합되고,상기 메인 바디는 설정된 평탄도를 유지하여 상기 하우징에 고정되되,상기 회전수단은 상기 하우징에 연결되는 제 1 프렉셔 힌지 및 상기 제 1 프렉셔 힌지와 연결되며, 인가된 전압에 따라 변위를 발생하여 상기 제 1 프렉셔 힌지를 이동시키는 제 1 피에조 엑츄에이터를 포함하고,상기 제 1 프렉셔 힌지는 알루미늄 합금으로 형성되고,상기 제 1 프렉셔 힌지는 탄성 변형을 일으킬 수 있도록 탄성력을 형성하고,상기 제 1 프렉셔 힌지는 상기 제 1 피에조 엑츄에이터를 통해 연결되는 제 1 회전암과 제 2 회전암을 구비하고,상기 X축 이동수단은 제 2 프렉셔 힌지와 제 2 피에조 엑츄에이터와, 상기 제 2 피에조 엑츄에이터의 양측에 각각 구비되는 제 2탄성 부재를 포함하고,상기 제 2 프렉셔 힌지는 상기 하우징과 연결된 제 1 X축 이동암과, 상기 제 1 X축 이동암과 마주하며 이격된 제 2 X축 이동암을 구비하고,상기 제 2 피에조 엑츄에이터는 상기 제 2 X축 이동암의 지렛부의 하단부와 연결되고,상기 Y축 이동수단은 제 3 프렉셔 힌지와, 제 3 피에조 엑츄에이터와, 상기 제 3 피에조 엑츄에이터의 양측에 각각 구비되는 제 3탄성 부재를 포함하고,상기 제 3 프렉셔 힌지는 상기 하우징과 연결된 제 1 Y축 이동암과, 상기 제 1 Y축 이동암과 마주하며 이격된 제 2Y축 이동암을 구비하고,상기 제 2 Y축 이동암은 상부에서 하부로 분기된 제 1 및 제 2 분기부들을 구비하고,상기 제 3 피에조 엑츄에이터는 상기 제 2 Y축 이동암의 제 1 및 제 2 분기부들을 서로 연결하는,노광장치
2 2
제 1 항에 있어서,상기 다수의 광학부재는 상기 광원에서 제공된 광을 상기 노광 패턴을 갖는 광으로 출사하는 디지털 마이크로미러 소자(Digital Micromirror Device, DMD); 상기 디지털 마이크로미러 소자에서 출사된 광을 확장시키는 빔 확장기; 상기 빔 확장기에서 출사된 광을 복수개의 광들로 분리하여 집광시키는 멀티 어레이 렌즈(Multi Array Lens, MAL); 상기 멀티 어레이 렌즈에서 집광된 광들의 해상도를 조정하여 투과시키는 프로젝션 렌즈;를 포함하는 노광장치
3 3
삭제
4 4
삭제
5 5
제 1 항에 있어서,상기 제 1 및 제 2 얼라인 수단의 구동으로 상기 다수의 광학 부재의 틸트를 조정하는 노광장치
6 6
삭제
7 7
삭제
8 8
삭제
9 9
제 1항에 있어서,상기 회전수단과, 상기 X축 이동수단 및 상기 Y축 이동수단은
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.