| 1 |
1
챔버; 상기 챔버 내에 위치하며, 원료가 충전되는 몰드 공간부를 구비하는 몰드 부재; 상기 몰드 부재 내에서 상기 원료를 가압 성형하며, 상기 원료가 위치하는 일면에 요철부를 구비하는 가압 부재; 및 상기 챔버 내를 가열하는 가열 부재를 포함하며,상기 가압 부재는 상기 몰드 공간부의 상부에 위치하는 상부 가압 부재 및 상기 몰드 공간부의 하부에 위치하는 하부 가압 부재를 포함하고,상기 하부 가압 부재에 상기 요철부가 형성되는 열간 가압 소결 장치
|
| 2 |
2
제1항에 있어서, 상기 가압 부재는, 제1 부재 및 상기 제1 부재 위에서 상기 원료에 인접하여 위치하는 제2 부재를 포함하고, 상기 제2 부재에 상기 요철부가 형성되는 열간 가압 소결 장치
|
| 3 |
3
제2항에 있어서, 상기 제2 부재가 흑연 및 카본 블랙 중 적어도 하나를 포함하는 열간 가압 소결 장치
|
| 4 |
4
제2항에 있어서,상기 제2 부재의 상대 밀도가 40 내지 85%인 열간 가압 소결 장치
|
| 5 |
5
제2항에 있어서,상기 제2 부재의 순도가 상기 제1 부재의 순도보다 높은 열간 가압 소결 장치
|
| 6 |
6
제2항에 있어서,상기 제2 부재가 판상 형태인 열간 가압 소결 장치
|
| 7 |
7
제2항에 있어서, 상기 제1 부재가 흑연을 포함하고, 상기 제2 부재가 흑연 및 카본 블랙 중 적어도 하나를 포함하며, 상기 제2 부재의 순도가 상기 제1 부재의 순도보다 높은 열간 가압 소결 장치
|
| 8 |
8
삭제
|
| 9 |
9
제1항에 있어서, 상기 하부 가압 부재는, 제1 부재 및 상기 제1 부재 위에서 상기 원료에 인접하여 위치하는 제2 부재를 포함하고, 상기 제2 부재에 상기 요철부가 형성되는 열간 가압 소결 장치
|
| 10 |
10
제1항에 있어서, 상기 요철부가 오목부로 이루어지는 열간 가압 소결 장치
|
| 11 |
11
챔버; 상기 챔버 내에 위치하며, 원료가 충전되는 몰드 공간부를 구비하는 몰드 부재; 상기 몰드 부재 내에서 상기 원료를 가압 성형하며 상기 원료가 위치하며, 상기 몰드 공간부의 상부에 위치하는 상부 가압 부재 및 상기 몰드 공간부의 하부에 위치하고, 요철부를 가지는 하부 가압 부재를 포함하는 가압부재; 및 상기 챔버 내를 가열하는 가열 부재를 포함하는 열간 가압 소결 장치를 이용하는 서셉터 제조 방법에 있어서,상기 원료를 상기 몰드 공간부에 충전하고 상기 가압 부재에 의하여 가압하면서 상기 가열 부재에 의하여 가열하여, 상기 요철부에 대응하는 형상을 구비한 서셉터를 제조하는 서셉터 제조 방법
|
| 12 |
12
제11항에 있어서, 상기 원료는 분말 형태 또는 상기 요철부에 대응하는 형상을 구비한 성형체 형태를 가지는 서셉터 제조 방법
|
| 13 |
13
제11항에 있어서, 상기 원료가 탄화 규소를 포함하는 서셉터 제조 방법
|
