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제1 탄화 규소 분말을 준비하는 단계;상기 제1 탄화 규소 분말을 분쇄하여 제2 탄화 규소 분말을 형성하는 단계; 상기 제2 탄화 규소 분말에 소결 조제를 혼합한 다음 과립화된 원료를 형성하는 단계; 및상기 과립화된 원료를 소결하는 단계 를 포함하고,상기 제2 탄화 규소 분말을 형성하는 단계에서는, 용기 내부가 비금속층으로 코팅된 분쇄 장치를 사용하는 탄화 규소의 소결 방법
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제1항에 있어서, 상기 제2 탄화 규소 분말을 형성하는 단계에서는, 볼 밀 장치 또는 어트리션 밀 장치에 의해 상기 제1 탄화 규소 분말을 분쇄하는 탄화 규소의 소결 방법
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제1항에 있어서, 상기 비금속층이 폴리테트라플루오르에틸렌(polytetrafluoroethylene, PTFE), 탄화규소, 우레탄 및 나일론으로 이루어진 군에서 선택된 물질을 적어도 하나를 포함하는 탄화 규소의 소결 방법
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제1항에 있어서, 상기 제2 탄화 규소 분말을 형성하는 단계에서는, 비금속층이 코팅된 분쇄 부재를 사용하는 탄화 규소의 소결 방법
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제5항에 있어서, 상기 비금속층이 폴리테트라플루오르에틸렌(polytetrafluoroethylene, PTFE), 탄화규소, 우레탄 및 나일론으로 이루어진 군에서 선택된 물질을 적어도 하나를 포함하는 탄화 규소의 소결 방법
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제1항에 있어서,상기 제2 탄화 규소 분말을 형성하는 단계와 상기 과립화된 원료를 형성하는 단계 사이에, 상기 제2 탄화 규소 분말을 세정하는 단계를 포함하는 탄화 규소의 소결 방법
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제7항에 있어서,상기 제2 탄화 규소 분말을 세정하는 단계는 산성 용액을 이용하여 상기 제2 탄화 규소 분말을 세정하는 탄화 규소의 소결 방법
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제1항에 있어서,상기 제1 탄화 규소 분말의 중심 입경이 2~5㎛이고, 상기 제2 탄화 규소 분말의 중심 입경이 0
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제1항에 있어서,상기 과립화된 원료의 중심 입경이 50~250㎛인 탄화 규소의 소결 방법
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제1항에 있어서, 상기 소결 조제가 비금속 소결 조제를 포함하는 탄화 규소의 소결 방법
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제11항에 있어서, 상기 비금속 소결 조제가 탄소를 포함하는 탄화 규소의 소결 방법
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제1항에 있어서,상기 소결 조제가 전체에 대하여 1~5 중량% 포함되는 탄화 규소의 소결 방법
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